基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置制造方法及图纸

一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置，包括有电极、和与电极相连接的固定梳齿和悬置梳齿；其特征在于：　　　　所述的固定梳齿（３）的侧壁（８）与连接交流电的电极（１）相连；所述的悬置梳齿（４）通过连接梁（５）及固定于基底的固定块（７）与接地电极（２）相连；所述的固定梳齿（３）与悬置梳齿（４）为交错对应设置；　　　　上述连接梁（５）的一端为与其成为一体的悬置梳齿（４）的连接臂的中点；其另一端为与其成为一体的侧臂（７）；连接梁（５）为疲劳试样。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术用于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)结构材料多晶硅疲劳特性的研究，属于微纳米技术基础研究领域。
技术介绍
MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。研究发现，在宏观状态下属于脆性材料的硅在微纳米尺度下会产生疲劳特性，对于发生这种变化的机理目前还不太明确。了解这种机理并测量硅在微米尺度下的疲劳特性参数对于MEMS可靠性设计及寿命预测有着重要的意义。传统宏观尺度下的疲劳试验一般由专用的材料疲劳试验机进行，主要有液压、电磁等驱动方式，标准试样用卡头装夹于其中。但这种方法并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁雷，尚德广，贾冠华，孙国芹，李浩群，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：实用新型
国别省市：