一种防磕碰晶舟单元制造技术

本发明专利技术公开了一种防磕碰晶舟单元，包括舟体，所述舟体上成型有左右方向设置的槽道，槽道的内壁上成型有多个线性均布的凸筋，凸筋的上端面上成型有两个对称设置的卡槽，每个凸筋上的两个卡槽内套接有隔板，隔板的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起；晶圆插套在相邻两个隔板的凸起之间；所述舟体的左侧壁上成型有两个连接芯轴；舟体的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴同轴心设置的连接孔，连接芯轴和连接孔过渡配合设置。本发明专利技术通过相邻两个隔板的凸起将晶圆夹持，可有效防止晶圆发生碰撞，且凸起与晶圆间通过点接触，可减少对晶圆表面的损伤；同时可以根据需要将该晶舟单元进行组合，组成不同槽数的晶舟。

【技术实现步骤摘要】
一种防磕碰晶舟单元
本专利技术涉及半导体生产
，具体涉及一种防磕碰晶舟单元。
技术介绍
现有的一种晶舟一般设置有多个平行排列的卡槽，晶圆插套在卡槽内。然而，这种晶圆的存放方式，在晶圆的传送或加工的过程中相邻两个晶圆件常常会发生碰撞现象，引发晶圆的边缘区域产生缺陷的问题。同时一般晶舟的长度及卡槽数量限定，不能根据需要增减卡槽。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种防磕碰晶舟单元，它通过相邻两个隔板的凸起将晶圆夹持，可有效防止晶圆发生碰撞，且凸起与晶圆间通过点接触，可减少对晶圆表面的损伤；同时可以根据需要将该晶舟单元进行组合，组成不同槽数的晶舟。本专利技术解决所述技术问题的方案是：一种防磕碰晶舟单元，包括舟体，所述舟体上成型有左右方向设置的槽道，槽道的内壁上成型有多个线性均布的凸筋，凸筋的上端面上成型有两个对称设置的卡槽，每个凸筋上的两个卡槽内套接有隔板，隔板的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起；晶圆插套在相邻两个隔板的凸起之间；所述舟体的左侧壁上成型有两个连接芯轴；舟体的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴同轴心设置的连接孔，连接芯轴和连接孔过渡配合设置。所述卡槽的上方设有挡条，挡条固定在舟体上。所述舟体的侧壁上成型有沉孔，沉孔的底面上成型有连通沉孔和对应的一个连接孔的螺纹孔，螺纹孔内螺接有螺钉，螺钉的螺纹端部伸入到连接孔内；所述连接芯轴的外壁上成型有与螺钉的螺纹端部相配合的限位孔。所述隔板的左侧壁和右侧壁上的凸起错开设置。所述凸起呈半球体。本专利技术的突出效果是：与现有技术相比，其通过相邻两个隔板的凸起将晶圆夹持，可有效防止晶圆发生碰撞，且凸起与晶圆间通过点接触，可减少对晶圆表面的损伤；同时可以根据需要将该晶舟单元进行组合，组成不同槽数的晶舟。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的俯视图；图3为图2沿A-A的剖视图；图4为图2沿B-B的剖视图。具体实施方式实施例，见如图1至图4所示，一种防磕碰晶舟单元，包括舟体1，所述舟体1上成型有左右方向设置的槽道11，槽道11的内壁上成型有多个线性均布的凸筋12，凸筋12的上端面上成型有两个对称设置的卡槽13，每个凸筋12上的两个卡槽13内套接有隔板2，隔板2的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起21；晶圆9插套在相邻两个隔板2的凸起21之间；所述舟体1的左侧壁上成型有两个连接芯轴14；舟体1的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴14同轴心设置的连接孔15，连接芯轴14和连接孔15过渡配合设置。更进一步的说，所述卡槽13的上方设有挡条3，挡条3固定在舟体1上。更进一步的说，所述舟体1的侧壁上成型有沉孔16，沉孔16的底面上成型有连通沉孔16和对应的一个连接孔15的螺纹孔17，螺纹孔17内螺接有螺钉4，螺钉4的螺纹端部伸入到连接孔15内；所述连接芯轴14的外壁上成型有与螺钉4的螺纹端部相配合的限位孔18。更进一步的说，所述隔板2的左侧壁和右侧壁上的凸起21错开设置。更进一步的说，所述凸起21呈半球体。工作原理：将晶圆插套在相邻两个隔板2之间，两个隔板2的两个相对面上的凸起21将晶圆的两侧面进行面定位，从而防止晶圆侧倒，从而避免相邻两个晶圆之间发生碰撞；由于凸起21为半球体状，凸起21与晶圆表面为点接触，可减少对晶圆表面的损害；当需要增加晶舟的长度时，可将一个晶舟单元的舟体1上的连接芯轴114插套在另一个晶舟单元的舟体1上的连接孔15，从而增加晶舟的长度，可更多的放置晶圆；然后旋入螺钉4，螺钉4的端部插套在连接芯轴114的限位孔18内，从而对两个晶圆进行固定，防止其发生窜动。最后，以上实施方式仅用于说明本专利技术，而并非对本专利技术的限制，有关
的普通技术人员，在不脱离本专利技术的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本专利技术的范畴，本专利技术的专利保护范围应由权利要求限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防磕碰晶舟单元，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)上成型有左右方向设置的槽道(11)，槽道(11)的内壁上成型有多个线性均布的凸筋(12)，凸筋(12)的上端面上成型有两个对称设置的卡槽(13)，每个凸筋(12)上的两个卡槽(13)内套接有隔板(2)，隔板(2)的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起(21)；晶圆(9)插套在相邻两个隔板(2)的凸起(21)之间；/n所述舟体(1)的左侧壁上成型有两个连接芯轴(14)；舟体(1)的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴(14)同轴心设置的连接孔(15)，连接芯轴(14)和连接孔(15)过渡配合设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种防磕碰晶舟单元，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)上成型有左右方向设置的槽道(11)，槽道(11)的内壁上成型有多个线性均布的凸筋(12)，凸筋(12)的上端面上成型有两个对称设置的卡槽(13)，每个凸筋(12)上的两个卡槽(13)内套接有隔板(2)，隔板(2)的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起(21)；晶圆(9)插套在相邻两个隔板(2)的凸起(21)之间；
所述舟体(1)的左侧壁上成型有两个连接芯轴(14)；舟体(1)的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴(14)同轴心设置的连接孔(15)，连接芯轴(14)和连接孔(15)过渡配合设置。


2.根据权利要求1所述的一种防磕碰晶舟单元，其特征在于：所述卡槽(13)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏运秀，
申请(专利权)人：赣州市业润自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36