一种烘干设备内的沥水防护罩制造技术

本发明专利技术公开了一种烘干设备内的沥水防护罩，包括筒形的防护罩，防护罩下端的外壁上成型有向下凸起的集水槽，防护罩的两端均固定有环形的挡水圈，挡水圈的下端成型有盖板，盖板覆盖固定在集水槽的两端；所述防护罩前端下侧的外壁上固定有若干导向套，防护罩后端的外壁上固定有连接支架，所述集水槽的一侧成型有排水孔，集水槽的下端面上固定有与排水孔相连通的排水管。

【技术实现步骤摘要】
一种烘干设备内的沥水防护罩
本专利技术涉及半导体烘干设备的
，更具体地说涉及一种烘干设备内的沥水防护罩。
技术介绍
目前人们常说的半导体一般指硅片，硅片完成加工生产后的成品一般叫圆晶片。硅片加工初期，需要先对硅片进行清洗，清洗去除硅片表面的污渍后，需要进行烘干，烘干后才能进行下一部生产工序，如离子注入。现有硅片用的烘干机一般直接通过加热升温方式去除硅片表面的水渍，但需要加热一段时间才能实现水渍蒸发，烘干效率慢，进而由提出利用将硅片装载在一个可旋转的支架上，利用支架旋转产生的离心力实现硅片甩水，同时烘干机的加热组件，能快速实现硅片烘干，但硅片甩出的水滴容易飞溅到烘干机的加热组件上，从需要设计一个即不影响旋转支架上硅片的装载，同时能有效收集硅片旋转过程中飞溅的水滴的防护罩结构。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种烘干设备内的沥水防护罩，其设计了一个可以移动的防护罩，利用防护罩套设在旋转支架上，可以有效收集硅片旋转过程中飞溅出的水滴。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种烘干设备内的沥水防护罩，包括筒形的防护罩，防护罩下端的外壁上成型有向下凸起的集水槽，防护罩的两端均固定有环形的挡水圈，挡水圈的下端成型有盖板，盖板覆盖固定在集水槽的两端；所述防护罩前端下侧的外壁上固定有若干导向套，防护罩后端的外壁上固定有连接支架，所述集水槽的一侧成型有排水孔，集水槽的下端面上固定有与排水孔相连通的排水管。优选的，所述防护罩的后侧设有横向的无杆气缸，连接支架通过螺栓组件和无杆气缸上的滑块相固接；无杆气缸的长度大于防护罩的长度。优选的，所述防护罩前侧所有的导向套的中心轴线在同一直线上，导向套内插接有横向的圆导轨，圆导轨和无杆气缸相平行，圆导轨的长度大于防护罩的长度。优选的，所述集水槽的一侧设有与排水管相对的排水阀组件，排水阀组件包括分布在排水管两侧的支座，支座的内侧壁上成型有导轨槽，所述排水管的下端抵靠有L型的阀板，阀板由水平部和竖直部组成，阀板水平部的两侧边插接在支座的导轨槽内；阀板的竖直部上插接有T型的导杆，导杆的末端插接固定有定位挡块，定位挡块固定在阀板竖直部和排水管之间的集水槽下端面上；所述的导杆上插套有压簧，压簧的两端分别压靠在阀板的竖直部和定位挡块上；压簧下侧的阀板水平部上成型有与排水管相对的排水槽。优选的，所述防护罩上端的外壁上成型有切槽，防护罩的上端固定有与切槽相连通的圆弧形上壳，圆弧形上壳的两侧设有密封板，密封板固定在切槽两侧的防护罩外壁上；所述的圆弧形上壳内插设有圆环形的海绵柱和圆形的压板，海绵柱的底端穿过切槽露出防护罩的内壁，所述的海绵柱上插接有导向轴，导向轴一端插设在圆弧形上壳一侧的密封板上，压板插套固定在导向轴上，导向轴的另一端穿过圆弧形上壳另一侧的密封板固定有第一永磁铁块，圆弧形上壳外侧的导向轴上插套有第二永磁铁块，第二永磁铁块和第一永磁铁块相斥，第二永磁铁块固定在圆弧形上壳上。优选的，所述导向轴的两端均伸出圆弧形上壳的密封板。优选的，所述压板的直径等于海绵柱外壁的直径，压板的直径等于圆弧形上壳内壁的直径。优选的，所述防护罩上的切槽位于防护罩的中部，切槽的长度小于防护罩的长度。本专利技术的有益效果在于：其设计了一个可以移动的防护罩，利用防护罩套设在旋转支架上，可以有效收集硅片旋转过程中飞溅出的水滴。附图说明图1为本专利技术立体的结构示意图；图2为本专利技术正视的结构示意图；图3为本专利技术半剖的结构示意图；图4为本专利技术侧视的结构示意图。图中：1、防护罩；11、集水槽；12、排水孔；13、切槽；2、挡水圈；21、盖板；3、导向套；4、连接支架；5、排水管；6、支座；61、导轨槽；7、阀板；71、排水槽；8、定位挡块；9、压簧；10、导杆；20、海绵柱；30、圆弧形上壳；40、压板；50、导向轴；60、第二永磁铁块；70、第一永磁铁块。具体实施方式实施例：见图1至4所示，一种烘干设备内的沥水防护罩，包括筒形的防护罩1，防护罩1下端的外壁上成型有向下凸起的集水槽11，防护罩1的两端均固定有环形的挡水圈2，挡水圈2的下端成型有盖板21，盖板21覆盖固定在集水槽11的两端；所述防护罩1前端下侧的外壁上固定有若干导向套3，防护罩1后端的外壁上固定有连接支架4，所述集水槽11的一侧成型有排水孔12，集水槽11的下端面上固定有与排水孔12相连通的排水管5。优选的，所述防护罩1的后侧设有横向的无杆气缸，连接支架4通过螺栓组件和无杆气缸上的滑块相固接；无杆气缸的长度大于防护罩1的长度。所述防护罩1前侧所有的导向套3的中心轴线在同一直线上，导向套3内插接有横向的圆导轨，圆导轨和无杆气缸相平行，圆导轨的长度大于防护罩1的长度。所述集水槽11的一侧设有与排水管5相对的排水阀组件，排水阀组件包括分布在排水管5两侧的支座6，支座6的内侧壁上成型有导轨槽61，所述排水管5的下端抵靠有L型的阀板7，阀板7由水平部和竖直部组成，阀板7水平部的两侧边插接在支座6的导轨槽61内；阀板7的竖直部上插接有T型的导杆10，导杆10的末端插接固定有定位挡块8，定位挡块8固定在阀板7竖直部和排水管5之间的集水槽11下端面上；所述的导杆10上插套有压簧9，压簧9的两端分别压靠在阀板7的竖直部和定位挡块8上；压簧9下侧的阀板7水平部上成型有与排水管5相对的排水槽71。所述防护罩1上端的外壁上成型有切槽13，防护罩1的上端固定有与切槽13相连通的圆弧形上壳30，圆弧形上壳30的两侧设有密封板，密封板固定在切槽13两侧的防护罩1外壁上；所述的圆弧形上壳30内插设有圆环形的海绵柱20和圆形的压板40，海绵柱20的底端穿过切槽13露出防护罩1的内壁，所述的海绵柱20上插接有导向轴50，导向轴50一端插设在圆弧形上壳30一侧的密封板上，压板40插套固定在导向轴50上，导向轴50的另一端穿过圆弧形上壳30另一侧的密封板固定有第一永磁铁块70，圆弧形上壳30外侧的导向轴50上插套有第二永磁铁块60，第二永磁铁块60和第一永磁铁块70相斥，第二永磁铁块60固定在圆弧形上壳30上。所述导向轴50的两端均伸出圆弧形上壳30的密封板。所述压板40的直径等于海绵柱20外壁的直径，压板40的直径等于圆弧形上壳30内壁的直径。所述防护罩1上的切槽13位于防护罩1的中部，切槽13的长度小于防护罩1的长度。工作原理：本专利技术为烘干设备内的沥水防护罩，本采用的防护罩1呈筒形，通过无杆气缸驱动，能实现横向移动，在旋转支架甩水时，可以将防护罩1移动套设到旋转支架上，而当需要取料或上料时，防护罩可以移开，不会影响上料和取料；同时防护罩设有排水阀组件，当防护罩1移动套设到旋转支架上，排水管5时关闭，而当移动到旋转支架另一侧时，通过在烘干机设置固定不动的挡块可以阻挡阀板7移动，进而阀板7上的排水槽71可以与排水管5相连通，实现排水；同时为防止旋转支架甩水过程中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种烘干设备内的沥水防护罩，包括筒形的防护罩(1)，其特征在于：防护罩(1)下端的外壁上成型有向下凸起的集水槽(11)，防护罩(1)的两端均固定有环形的挡水圈(2)，挡水圈(2)的下端成型有盖板(21)，盖板(21)覆盖固定在集水槽(11)的两端；所述防护罩(1)前端下侧的外壁上固定有若干导向套(3)，防护罩(1)后端的外壁上固定有连接支架(4)，所述集水槽(11)的一侧成型有排水孔(12)，集水槽(11)的下端面上固定有与排水孔(12)相连通的排水管(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种烘干设备内的沥水防护罩，包括筒形的防护罩(1)，其特征在于：防护罩(1)下端的外壁上成型有向下凸起的集水槽(11)，防护罩(1)的两端均固定有环形的挡水圈(2)，挡水圈(2)的下端成型有盖板(21)，盖板(21)覆盖固定在集水槽(11)的两端；所述防护罩(1)前端下侧的外壁上固定有若干导向套(3)，防护罩(1)后端的外壁上固定有连接支架(4)，所述集水槽(11)的一侧成型有排水孔(12)，集水槽(11)的下端面上固定有与排水孔(12)相连通的排水管(5)。


2.根据权利要求1所述的一种烘干设备内的沥水防护罩，其特征在于：所述防护罩(1)的后侧设有横向的无杆气缸，连接支架(4)通过螺栓组件和无杆气缸上的滑块相固接；无杆气缸的长度大于防护罩(1)的长度。


3.根据权利要求2所述的一种烘干设备内的沥水防护罩，其特征在于：所述防护罩(1)前侧所有的导向套(3)的中心轴线在同一直线上，导向套(3)内插接有横向的圆导轨，圆导轨和无杆气缸相平行，圆导轨的长度大于防护罩(1)的长度。


4.根据权利要求1所述的一种烘干设备内的沥水防护罩，其特征在于：所述集水槽(11)的一侧设有与排水管(5)相对的排水阀组件，排水阀组件包括分布在排水管(5)两侧的支座(6)，支座(6)的内侧壁上成型有导轨槽(61)，所述排水管(5)的下端抵靠有L型的阀板(7)，阀板(7)由水平部和竖直部组成，阀板(7)水平部的两侧边插接在支座(6)的导轨槽(61)内；阀板(7)的竖直部上插接有T型的导杆(10)，导杆(10)的末端插接固定有定位挡块(8)，定位挡块(8)固定在阀板(7)竖直部和排水管(5)之间的集水槽(11)下端面上；所述的导杆(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏运秀，
申请(专利权)人：赣州市业润自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36