一种硅片倒角机上的随行清洗槽制造技术

本发明专利技术公开了一种硅片倒角机上的随行清洗槽，包括矩形的水槽，水槽左侧壁的上端成型有进口，水槽内插设有若干纵向的滚轴，滚轴的两端插接固定在水槽上，滚轴由一组呈倾斜分布的进料滚轴和一组呈水平分布的承托滚轴组成，进料滚轴位于水槽的左侧；所述承托滚轴正前方的水槽前侧壁上成型有出口，承托滚轴之间的水槽上插接有两组推料架，推料架由若干竖直的升降杆组成，升降杆上端通过销轴铰接有导轮，滚轮插设在水槽内，滚轮的圆心分布在同一倾斜面内。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片倒角机上的随行清洗槽
本专利技术涉及倒角机的
，更具体地说涉及一种硅片倒角机上的随行清洗槽。
技术介绍
目前人们常说的半导体一般指硅片，硅片完成加工生产后的成品一般叫圆晶片。而硅片的来源来自于石英砂，其单晶硅片的生产过程为，单拉晶、磨外圈、切片、退火、倒角、磨削或研磨和CMP。单晶硅片需要进行倒角：将退火后的硅片进行修磨呈圆弧形，以防止硅片边缘破裂以及晶格缺陷产生，并增加磊晶层及光阻层的平面度。在倒角过程中，需要对刀具切割硅片外圈处进行喷乳化液，即能降温润滑，并可以冲去残渣；但倒角后的硅片还是会附带残渣，有些倒角机提升利用可竖直升降并呈循环的链带带动一个个可移动的水槽，完成倒角的放入链带上端的水槽内，然后移动到链带的下端，将水槽内的硅片取出，就可以实现硅片表面的清洗。但其水槽需要可机械化出料的装置。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种硅片倒角机上的随行清洗槽，其设计有能驱动水槽内硅片输出的装置，可以利用移动的水槽清洗倒角后的硅片。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种硅片倒角机上的随行清洗槽，包括矩形的水槽，水槽左侧壁的上端成型有进口，水槽内插设有若干纵向的滚轴，滚轴的两端插接固定在水槽上，滚轴由一组呈倾斜分布的进料滚轴和一组呈水平分布的承托滚轴组成，进料滚轴位于水槽的左侧；所述承托滚轴正前方的水槽前侧壁上成型有出口，承托滚轴之间的水槽上插接有两组推料架，推料架由若干竖直的升降杆组成，升降杆上端通过销轴铰接有导轮，滚轮插设在水槽内，滚轮的圆心分布在同一倾斜面内；所述升降杆下端伸出水槽固定在横向的连杆上，连杆上插接固定有纵向的驱动轴；所述水槽下侧的升降杆之间插设有两根横向的驱动杆，驱动杆上成型有横向的驱动槽，驱动轴插接在驱动杆的驱动槽内，驱动杆的左端通过铰接轴铰接在支座上，支座固定在水槽的下端面上，驱动杆的右端伸出水槽插接固定有支轴，支轴上插套有滚轮。优选的，所述的滚轴上插套有辊套，进料滚轴一侧左上端的辊套露出进口的下端面。优选的，所述推料架上升降杆伸入水槽的长度自水槽的前侧至水槽的后侧逐渐递减。优选的，所述升降杆顶端至水槽出口下端面的距离小于水槽下侧升降杆的长度。优选的，所述升降杆上端的导轮位于承托滚轴的下侧。优选的，所述靠近铰接轴的驱动杆上插接有纵向的定位轴，支座上插接有纵向的旋转轴，旋转轴上插接有限位螺栓，限位螺栓的末端螺接在定位轴上，所述的限位螺栓上插套有压簧，压簧的两端分别压靠在定位轴和旋转轴上。优选的，所述的驱动杆呈水平，驱动杆上的驱动槽槽宽等于驱动轴的直径。本专利技术的有益效果在于：其设计有能驱动水槽内硅片输出的装置，可以利用移动的水槽清洗倒角后的硅片。附图说明图1为本专利技术立体的结构示意图；图2为本专利技术正视的结构示意图；图3为本专利技术仰视的结构示意图；图4为本专利技术俯视的结构示意图；图5为图4中A-A处的剖视结构示意图。图中：1、水槽；11、进口；12、出口；2、滚轴；21、进料滚轴；22、承托滚轴；3、升降杆；4、导轮；5、连杆；6、驱动轴；7、驱动杆；71、驱动槽；8、支座；9、铰接轴；10、支轴；20、滚轮；30、压簧；40、旋转轴；50、限位螺栓；60、压簧。具体实施方式实施例：见图1至5所示，一种硅片倒角机上的随行清洗槽，包括矩形的水槽1，水槽1左侧壁的上端成型有进口11，水槽1内插设有若干纵向的滚轴2，滚轴2的两端插接固定在水槽1上，滚轴2由一组呈倾斜分布的进料滚轴21和一组呈水平分布的承托滚轴22组成，进料滚轴21位于水槽1的左侧；所述承托滚轴22正前方的水槽1前侧壁上成型有出口12，承托滚轴22之间的水槽1上插接有两组推料架，推料架由若干竖直的升降杆3组成，升降杆3上端通过销轴铰接有导轮4，导轮4插设在水槽1内，滚轮4的圆心分布在同一倾斜面内；所述升降杆3下端伸出水槽1固定在横向的连杆5上，连杆5上插接固定有纵向的驱动轴6；所述水槽1下侧的升降杆3之间插设有两根横向的驱动杆7，驱动杆7上成型有横向的驱动槽71，驱动轴6插接在驱动杆7的驱动槽71内，驱动杆7的左端通过铰接轴9铰接在支座8上，支座8固定在水槽1的下端面上，驱动杆7的右端伸出水槽1插接固定有支轴10，支轴10上插套有滚轮20。所述的滚轴2上插套有辊套，进料滚轴21一侧左上端的辊套露出进口11的下端面。所述推料架上升降杆3伸入水槽1的长度自水槽1的前侧至水槽1的后侧逐渐递减。所述升降杆3顶端至水槽1出口12下端面的距离小于水槽1下侧升降杆3的长度。所述升降杆3上端的导轮4位于承托滚轴22的下侧。所述靠近铰接轴9的驱动杆7上插接有纵向的定位轴30，支座8上插接有纵向的旋转轴40，旋转轴40上插接有限位螺栓50，限位螺栓50的末端螺接在定位轴30上，所述的限位螺栓50上插套有压簧60，压簧60的两端分别压靠在定位轴30和旋转轴40上。所述的驱动杆7呈水平，驱动杆7上的驱动槽71槽宽等于驱动轴6的直径。工作原理：本专利技术为硅片倒角机上的随行清洗槽，其随行清洗槽通过支架可以安装立式的输送链带上，在输送链带上端时，可以从水槽1的进入输入硅片，硅片沿进料滚轴21下落，落在承托滚轴22，同时进入在水内，利用水去除硅片表面辅助的残渣；当移动到输送链带下端时，可以在输送链带下端设有固定的挡块，本水槽1的装置上的滚轮20抵靠在挡块上，能驱使驱动杆7绕铰接轴9向上转动，驱动杆7向上转动能实现升降杆3上移，升降杆3上端呈斜面分布的导轮4会顶起硅片，当硅片顶起后向下滑落，并从水槽1的出口输出；同时水槽1持续下移，滚轮20与挡块脱离，升降杆3复位。所述实施例用以例示性说明本专利技术，而非用于限制本专利技术。任何本领域技术人员均可在不违背本专利技术的精神及范畴下，对所述实施例进行修改，因此本专利技术的权利保护范围，应如本专利技术的权利要求所列。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片倒角机上的随行清洗槽，包括矩形的水槽(1)，水槽(1)左侧壁的上端成型有进口(11)，其特征在于：水槽(1)内插设有若干纵向的滚轴(2)，滚轴(2)的两端插接固定在水槽(1)上，滚轴(2)由一组呈倾斜分布的进料滚轴(21)和一组呈水平分布的承托滚轴(22)组成，进料滚轴(21)位于水槽(1)的左侧；所述承托滚轴(22)正前方的水槽(1)前侧壁上成型有出口(12)，承托滚轴(22)之间的水槽(1)上插接有两组推料架，推料架由若干竖直的升降杆(3)组成，升降杆(3)上端通过销轴铰接有导轮(4)，导轮(4)插设在水槽(1)内，滚轮(4)的圆心分布在同一倾斜面内；所述升降杆(3)下端伸出水槽(1)固定在横向的连杆(5)上，连杆(5)上插接固定有纵向的驱动轴(6)；所述水槽(1)下侧的升降杆(3)之间插设有两根横向的驱动杆(7)，驱动杆(7)上成型有横向的驱动槽(71)，驱动轴(6)插接在驱动杆(7)的驱动槽(71)内，驱动杆(7)的左端通过铰接轴(9)铰接在支座(8)上，支座(8)固定在水槽(1)的下端面上，驱动杆(7)的右端伸出水槽(1)插接固定有支轴(10)，支轴(10)上插套有滚轮(20)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅片倒角机上的随行清洗槽，包括矩形的水槽(1)，水槽(1)左侧壁的上端成型有进口(11)，其特征在于：水槽(1)内插设有若干纵向的滚轴(2)，滚轴(2)的两端插接固定在水槽(1)上，滚轴(2)由一组呈倾斜分布的进料滚轴(21)和一组呈水平分布的承托滚轴(22)组成，进料滚轴(21)位于水槽(1)的左侧；所述承托滚轴(22)正前方的水槽(1)前侧壁上成型有出口(12)，承托滚轴(22)之间的水槽(1)上插接有两组推料架，推料架由若干竖直的升降杆(3)组成，升降杆(3)上端通过销轴铰接有导轮(4)，导轮(4)插设在水槽(1)内，滚轮(4)的圆心分布在同一倾斜面内；所述升降杆(3)下端伸出水槽(1)固定在横向的连杆(5)上，连杆(5)上插接固定有纵向的驱动轴(6)；所述水槽(1)下侧的升降杆(3)之间插设有两根横向的驱动杆(7)，驱动杆(7)上成型有横向的驱动槽(71)，驱动轴(6)插接在驱动杆(7)的驱动槽(71)内，驱动杆(7)的左端通过铰接轴(9)铰接在支座(8)上，支座(8)固定在水槽(1)的下端面上，驱动杆(7)的右端伸出水槽(1)插接固定有支轴(10)，支轴(10)上插套有滚轮(20)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片倒角机上的随行清洗槽，其特征在于：所述的滚轴(2)上插套有辊套...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏运秀，
申请(专利权)人：赣州市业润自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36