下载一种硅片倒角机上的随行清洗槽的技术资料

文档序号:26745889

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本发明公开了一种硅片倒角机上的随行清洗槽,包括矩形的水槽,水槽左侧壁的上端成型有进口,水槽内插设有若干纵向的滚轴,滚轴的两端插接固定在水槽上,滚轴由一组呈倾斜分布的进料滚轴和一组呈水平分布的承托滚轴组成,进料滚轴位于水槽的左侧;所述承托滚轴...
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