一种高强度碳化硅悬臂桨及其制备方法技术

本发明专利技术涉及光伏行业的技术领域，特别是涉及一种高强度碳化硅悬臂桨及其制备方法，大大提高碳化硅悬臂桨的强度，提高渗层致密性，提高其使用可靠性；包括悬臂桨本体，悬臂桨本体包括固定区、过渡区以及负载区，所述过渡区左端设置有凸起，所述固定区设置有与凸起滑动配合的凹槽。

【技术实现步骤摘要】
一种高强度碳化硅悬臂桨及其制备方法
本专利技术涉及光伏行业的
，特别是涉及一种高强度碳化硅悬臂桨及其制备方法。
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。在太阳能光伏电池PN结扩散掺杂设备—扩散炉和半导体制造业中对硅晶圆片进行热生长氧化的高温氧化扩散炉中，悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，可以保证晶圆与炉管的同心度，进而使扩散、氧化更均匀。特别是碳化硅悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高强度碳化硅悬臂桨，其特征在于，包括悬臂桨本体，悬臂桨本体包括固定区、过渡区以及负载区，所述过渡区左端设置有凸起，所述固定区设置有与凸起滑动配合的凹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种高强度碳化硅悬臂桨，其特征在于，包括悬臂桨本体，悬臂桨本体包括固定区、过渡区以及负载区，所述过渡区左端设置有凸起，所述固定区设置有与凸起滑动配合的凹槽。


2.如权利要求1所述的一种高强度碳化硅悬臂桨，其特征在于，所述凸起处于过渡区端面的中部，凸起截面积为过渡区端面截面积的50％。


3.如权利要求2所述的一种高强度碳化硅悬臂桨，其特征在于，所述凸起与过渡区以及负载区一体成型。


4.如权利要求1-3任意一项所述的一种高强度碳化硅悬臂桨的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、制作挤出成型模具，挤出成型模具的形状与固定区的形状大小相匹配；
S2、将S1中挤出成型模具安装在挤出机的机头，向挤出机料筒内放入泥料，挤出泥料至挤出成型模具，形成带有凹槽的固定区管坯；
S3、制作过渡区以及负载区模具，过渡区以及负载区模具分别与过渡区以及负载区的形状大小相匹配；
S4、通过过渡区、凸起以及负载区模具制作带有凸起的过渡区以及负载区坯体；
S5、将带有凹槽的固定区管坯以及带有凸起的过渡区以及负载区坯体送入至干燥室烘干，干燥室温度为50-60摄氏度，干燥时间为30-40h；
S6、将S5中带有凹槽的固定区管坯以及带有凸起的过渡区以及负载区坯体的缺陷进行修整；
S7、将凸起滑动插入到凹槽内部，并采用粘结的方式将带有凹槽的固定区管坯以及带有凸起的过渡区以及负载区坯体组合...

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽荣，
申请(专利权)人：福赛特唐山新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13