一种柔性挤压式转移晶舟制造技术

本发明专利技术公开了一种柔性挤压式转移晶舟，包括舟体，舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的高压腔、连通半圆槽道与高压腔的多个线性均布的矩形孔，半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板，隔离板包括固定连接的柔性压板和刚性支撑板，柔性压板和刚性支撑板形成一个过渡腔和一个向下凸起的矩形管，矩形管与过渡腔相通，矩形管插套并固定在矩形孔内，柔性压板上成型有多个与过渡腔相通的通孔，通孔内固定有弹性膜；舟体上成型有与高压腔相通的进出气孔，进出气孔内设有进气单向阀。本发明专利技术通过将弹性膜鼓起将晶圆进行夹持，可有效避免相邻两个晶圆发生碰撞，在转移活塞输送过程中可有效保护晶圆。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性挤压式转移晶舟
本专利技术涉及半导体生产
，具体涉及一种柔性挤压式转移晶舟。
技术介绍
现有的一种晶舟一般设置有多个平行排列的卡槽，晶圆插套在卡槽内。然而，这种晶圆的存放方式，在晶圆的传送或加工的过程中相邻两个晶圆件常常会发生碰撞现象，引发晶圆的边缘区域产生缺陷的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种柔性挤压式转移晶舟，它通过将弹性膜鼓起将晶圆进行夹持，可有效避免相邻两个晶圆发生碰撞，在转移活塞输送过程中可有效保护晶圆。本专利技术解决所述技术问题的方案是：一种柔性挤压式转移晶舟，包括舟体，所述舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的高压腔、连通半圆槽道与高压腔的多个线性均布的矩形孔，半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板，所述隔离板包括固定连接的柔性压板和刚性支撑板，柔性压板和刚性支撑板形成一个过渡腔和一个向下凸起的矩形管，矩形管与过渡腔相通，所述矩形管插套并固定在矩形孔内，所述柔性压板上成型有多个与过渡腔相通的通孔，通孔内固定有弹性膜；所述舟体上成型有与高压腔相通的进出气孔，进出气孔内设有进气单向阀。所述矩形管伸入到高压腔的端部成型有左右方向设置的插孔，插孔插套在定位插杆上，定位插杆固定在高压腔内。所述高压腔的右侧壁上成型有定位孔，定位孔的底面上成型有螺纹孔，高压腔的左侧壁上成型有定位通孔；所述插杆的两端分别插套在定位孔和定位通孔内，插杆的右端成型有螺杆，螺杆螺接在螺纹孔上；所述插杆的左端成型有六角沉孔。所述插杆的左端与定位通孔之间设有密封圈。所述六角沉孔的底面上成型有第二螺纹孔。所述刚性支撑板成型有多个向弹性膜凸起的小凸台。所述进出气孔包括由内而外一体成型的长孔、内大外小设置的锥孔、通气孔和连接孔；所述进气单向阀包括压靠在锥孔内的顶珠和固定在长孔内端的支撑环，支撑环和顶珠之间夹持有压簧。本专利技术的突出效果是：与现有技术相比，其通过将弹性膜鼓起将晶圆进行夹持，可有效避免相邻两个晶圆发生碰撞，在转移活塞输送过程中可有效保护晶圆。附图说明图1为本专利技术的结构示意图(图中隐去部分隔离板)；图2为本专利技术的左视图；图3为图2关于A-A的剖视图；图4为图3关于B-B的剖视图；图5为图4关于C-C的剖视图；图6为图3关于D的结构示意图。具体实施方式实施例，见如图1至图6所示，一种柔性挤压式转移晶舟，包括舟体1，所述舟体1上成型有半圆槽道11、设置在半圆槽道11下方的高压腔12、连通半圆槽道11与高压腔12的多个线性均布的矩形孔13，半圆槽道11内设有多个左右方向均布的隔离板2，所述隔离板2包括固定连接的柔性压板21和刚性支撑板22，柔性压板21和刚性支撑板22形成一个过渡腔201和一个向下凸起的矩形管202，矩形管202与过渡腔201相通，所述矩形管202插套并固定在矩形孔13内，所述柔性压板21上成型有多个与过渡腔201相通的通孔203，通孔203内固定有弹性膜23；所述舟体1上成型有与高压腔12相通的进出气孔14，进出气孔14内设有进气单向阀3。更进一步的说，所述矩形管202伸入到高压腔12的端部成型有左右方向设置的插孔204，插孔204插套在定位插杆4上，定位插杆4固定在高压腔12内。更进一步的说，所述高压腔12的右侧壁上成型有定位孔15，定位孔15的底面上成型有螺纹孔16，高压腔12的左侧壁上成型有定位通孔17；所述插杆4的两端分别插套在定位孔15和定位通孔17内，插杆4的右端成型有螺杆41，螺杆41螺接在螺纹孔16上；所述插杆4的左端成型有六角沉孔42。更进一步的说，所述插杆4的左端与定位通孔17之间设有密封圈5。更进一步的说，所述六角沉孔42的底面上成型有第二螺纹孔43。更进一步的说，所述刚性支撑板22成型有多个向弹性膜23凸起的小凸台24。更进一步的说，所述进出气孔14包括由内而外一体成型的长孔141、内大外小设置的锥孔142、通气孔143和连接孔144；所述进气单向阀3包括压靠在锥孔142内的顶珠31和固定在长孔141内端的支撑环32，支撑环32和顶珠31之间夹持有压簧33。工作原理：将晶圆插套在两个隔离板2之间，外界高压气源与进出气孔14连接，高压气源从进出气孔14进入到高压腔12内，高压腔12内的高压气体在分别通过每个隔离板2的矩形管202进入到过渡腔201内，过渡腔201内的高压气体将弹性膜23压得向外鼓起，弹性膜23向外鼓起将晶圆推向向另一个相邻的隔离板2的刚性支撑板22上的小凸台24，从而将晶圆夹持在两者之间防止其窜动；然后断开高压气源，顶珠自动将进出气孔14的锥孔堵住，防止高压腔12内的气体外漏；当需要取出晶圆时，则将顶珠31向内顶，将高压腔12内的高压气体放出，弹性模23内缩复位，解除对晶圆的挤压作用。最后，以上实施方式仅用于说明本专利技术，而并非对本专利技术的限制，有关
的普通技术人员，在不脱离本专利技术的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本专利技术的范畴，本专利技术的专利保护范围应由权利要求限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性挤压式转移晶舟，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)上成型有半圆槽道(11)、设置在半圆槽道(11)下方的高压腔(12)、连通半圆槽道(11)与高压腔(12)的多个线性均布的矩形孔(13)，半圆槽道(11)内设有多个左右方向均布的隔离板(2)，所述隔离板(2)包括固定连接的柔性压板(21)和刚性支撑板(22)，柔性压板(21)和刚性支撑板(22)形成一个过渡腔(201)和一个向下凸起的矩形管(202)，矩形管(202)与过渡腔(201)相通，所述矩形管(202)插套并固定在矩形孔(13)内，所述柔性压板(21)上成型有多个与过渡腔(201)相通的通孔(203)，通孔(203)内固定有弹性膜(23)；/n所述舟体(1)上成型有与高压腔(12)相通的进出气孔(14)，进出气孔(14)内设有进气单向阀(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性挤压式转移晶舟，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)上成型有半圆槽道(11)、设置在半圆槽道(11)下方的高压腔(12)、连通半圆槽道(11)与高压腔(12)的多个线性均布的矩形孔(13)，半圆槽道(11)内设有多个左右方向均布的隔离板(2)，所述隔离板(2)包括固定连接的柔性压板(21)和刚性支撑板(22)，柔性压板(21)和刚性支撑板(22)形成一个过渡腔(201)和一个向下凸起的矩形管(202)，矩形管(202)与过渡腔(201)相通，所述矩形管(202)插套并固定在矩形孔(13)内，所述柔性压板(21)上成型有多个与过渡腔(201)相通的通孔(203)，通孔(203)内固定有弹性膜(23)；
所述舟体(1)上成型有与高压腔(12)相通的进出气孔(14)，进出气孔(14)内设有进气单向阀(3)。


2.根据权利要求1所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述矩形管(202)伸入到高压腔(12)的端部成型有左右方向设置的插孔(204)，插孔(204)插套在定位插杆(4)上，定位插杆(4)固定在高压腔(12)内。


3.根据权利要求1所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述高压腔(12)的右侧壁上成型有定位孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏运秀，
申请(专利权)人：赣州市业润自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36