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本发明公开了一种柔性挤压式转移晶舟,包括舟体,舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的高压腔、连通半圆槽道与高压腔的多个线性均布的矩形孔,半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板,隔离板包括固定连接的柔性压板和刚性支撑板,柔性压板和刚性支撑...该专利属于赣州市业润自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赣州市业润自动化设备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种柔性挤压式转移晶舟,包括舟体,舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的高压腔、连通半圆槽道与高压腔的多个线性均布的矩形孔,半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板,隔离板包括固定连接的柔性压板和刚性支撑板,柔性压板和刚性支撑...