下载一种防磕碰晶舟单元的技术资料

文档序号:26175931

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本发明公开了一种防磕碰晶舟单元,包括舟体,所述舟体上成型有左右方向设置的槽道,槽道的内壁上成型有多个线性均布的凸筋,凸筋的上端面上成型有两个对称设置的卡槽,每个凸筋上的两个卡槽内套接有隔板,隔板的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起;晶圆插套在...
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