一种晶圆对中机构制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆对中机构，包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件，本发明专利技术通过优化设置了调控组件，利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置，使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动，结构简单，高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，使用效果好；通过优化设置了遮控组环件，简易的第一半环、阻隔环片配合结构在L架片被带动转动，能够利用简易的第一半环、第二半环配合阻隔局部光源向上传递，内部配合结构配合效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆对中机构
本专利技术涉及半导体零件定位相关领域，具体是一种晶圆对中机构。
技术介绍
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，晶圆对中机构是对晶圆进行定位检测的结构设备。当进行使用时，由于需控制晶圆中心与探测灯发射出的灯体进行照射，而在持续的晶圆检测过程中，测光半径大小固定，难以高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，且内部配合结构配合效果一般。
技术实现思路
(一)解决的技术问题因此，为了解决上述不足，本专利技术在此提供一种晶圆对中机构。(二)技术方案本专利技术是这样实现的，构造一种晶圆对中机构，该装置包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件，所述网板嵌入安装于安装盒右侧面上，所述对中台中心贯穿设有中心孔，所述对中台底端紧固安装于底圆盘上，所述安装盒侧面上转动安装有转动盘，所述转动盘上紧固紧固安装有控本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆对中机构，包括网板(1)、对中台(2)、中心孔(3)、底圆盘(4)、安装盒(5)、转动盘(6)、控制把(7)和按键板(8)，所述网板(1)嵌入安装于安装盒(5)右侧面上，所述对中台(2)中心贯穿设有中心孔(3)，所述对中台(2)底端紧固安装于底圆盘(4)上，所述安装盒(5)侧面上转动安装有转动盘(6)，所述转动盘(6)上紧固紧固安装有控制把(7)，所述按键板(8)嵌套于安装盒(5)侧面上；/n其特征在于：还包括调控组件(9)，所述调控组件(9)装设于安装盒(5)内部，所述调控组件(9)包括架板(901)、传递杆(902)、斜杆(903)、壳体(904)、遮控组环件(905)、三角板...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆对中机构，包括网板(1)、对中台(2)、中心孔(3)、底圆盘(4)、安装盒(5)、转动盘(6)、控制把(7)和按键板(8)，所述网板(1)嵌入安装于安装盒(5)右侧面上，所述对中台(2)中心贯穿设有中心孔(3)，所述对中台(2)底端紧固安装于底圆盘(4)上，所述安装盒(5)侧面上转动安装有转动盘(6)，所述转动盘(6)上紧固紧固安装有控制把(7)，所述按键板(8)嵌套于安装盒(5)侧面上；
其特征在于：还包括调控组件(9)，所述调控组件(9)装设于安装盒(5)内部，所述调控组件(9)包括架板(901)、传递杆(902)、斜杆(903)、壳体(904)、遮控组环件(905)、三角板(906)、探测灯(907)、弹簧(908)、方板(909)、粗杆(910)和灯路板(911)，所述架板(901)上滑动安装有所述传递杆(902)，所述传递杆(902)左侧与所述转动盘(6)紧固连接，所述斜杆(903)与所述三角板(906)铰链连接，所述遮控组环件(905)与所述架板(901)转动连接，所述探测灯(907)嵌套于所述灯路板(911)左侧，所述弹簧(908)与所述方板(909)弹性连接，所述方板(909)与所述粗杆(910)铰链连接。


2.根据权利要求1所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述调控组件(9)还包括镂空槽(912)和散热扇(913)，所述壳体(904)上紧固安装有所述镂空槽(912)，所述镂空槽(912)上锁固安装有所述散热扇(913)。


3.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述遮控组环件(905)包括L架片(9051)、第一半环(9052)和第二半环(9054)，所述L架片...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐权锋，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35