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本发明公开了一种晶圆对中机构，包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件，本发明通过优化设置了调控组件，利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置，使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动，结...
该专利属于芯米(厦门)半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯米(厦门)半导体设备有限公司授权不得商用。

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