贴膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于贴膜装置移动至切膜装置的拉膜机构；拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、拉膜升降驱动件、以及拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜装置并位于晶圆的正上方，贴膜装置将干膜贴覆于晶圆表面使得晶圆与干膜粘接，拉膜机构将粘接有晶圆的干膜拉动至切膜装置，切膜装置沿晶圆的边界将多余的干膜切除，进而完成晶圆的贴膜，实现了干膜的自动输送、干膜的自动贴覆以及干膜的自动切割，实现了对晶圆进行贴膜处理，并将晶圆边界外的干膜切除的自动化以及连续性。

【技术实现步骤摘要】
贴膜机
本专利技术涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆等产品的生产过程中，需要对产品进行贴膜处理，并将产品边界外的干膜切除。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种贴膜机，旨在解决现有技术中，晶圆等产品的生产过程中，需要对产品进行贴膜处理，并将产品边界外的干膜切除的问题。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：贴膜机，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于所述贴膜装置移动至所述切膜装置的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的拉膜升降驱动件、以及设于所述拉膜升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。进一步地，所述贴膜装置包括贴膜支架、固定设于所述贴膜支架的第一贴膜台、设于所述第一贴膜台的压膜机构、与所述第一贴膜台相对设置的第二贴膜台、用于驱动所述第二贴膜台运动的贴膜升降驱动机构、以及设于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间且用于锁紧所述第一贴膜台与所述第二贴膜台的锁紧组件。进一步地，所述贴膜装置还包括设于所述第二贴膜台且用于与所述第一贴膜台相接触的密封圈、以及用于对所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间进行抽真空的抽真空组件；所述抽真空组件包括真空泵、以及与所述真空泵相连的真空管；所述第一贴膜台和/或所述第二贴膜台开设有与所述真空管相通的真空孔。进一步地，所述压膜机构包括与所述第一贴膜台相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜气囊、以及用于为所述压膜气囊供气的压膜气泵；或者，所述压膜机构包括设于所述第一贴膜台的压膜气缸、与所述压膜气缸的活动端相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜板。进一步地，所述锁紧组件包括设于所述第一贴膜台的第一锁紧块、与所述第二贴膜台滑动连接的第一锁紧杆、以及设于所述第二贴膜台且用于驱动所述第一锁紧杆移动的第一锁紧驱动件；所述第一锁紧块开设有与所述第一锁紧杆相配合的第一锁紧孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一导向块，所述第一导向块开设有以供所述第一锁紧杆通过的第一导向孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一固定块，所述第一固定块开设有与所述第一锁紧杆相对应的第一固定孔，所述第一固定块与所述第一导向块相对且间隔设置。进一步地，所述送膜机构包括原料膜供应组件、与所述原料膜供应组件相配合的分膜辊、底膜收卷组件、以及废膜收卷组件。进一步地，所述原料膜供应组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第一气涨轴、用于驱动所述第一气涨轴转动的第一转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第一张紧辊；所述废膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接的第二气涨轴、用于驱动所述第二气涨轴转动的第二转动驱动件、以及设于所述拉膜固定座的第二张紧辊；所述底膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接第三气涨轴、用于驱动所述第三气涨轴转动的第三转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第三张紧辊。进一步地，所述拉膜升降驱动件的数量大于或等于两个，所述拉膜升降驱动件与所述拉膜滑动座滑动连接，所述拉膜滑动座上设有用于分别驱动各个所述拉膜升降驱动件滑动的拉平驱动组件。进一步地，所述切膜装置包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述切割台的中部设有真空吸盘，所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。进一步地，所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板，所述切刀组件与所述安装板转动连接；所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动的破膜驱动组件；所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具；所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。进一步地，所述刀座上设有第一转动座；所述转动块与所述第一转动座转动连接；所述安装板上设有第二转动座；所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。进一步地，所述切割让位槽的侧壁开设有下刀避让缺口。进一步地，所述切割驱动组件与所述安装板之间设有连接板，所述连接板开设有连接通孔，所述安装板于长度方向开设有若干螺纹孔；所述连接板与所述安装板之间设有连接螺钉，所述连接螺钉贯穿所述连接通孔并与所述螺纹孔螺纹连接。进一步地，所述移动驱动组件包括支撑台、设于所述支撑台的水平驱动模组、以及与所述水平驱动模组的输出端相连的竖直驱动模组；所述切割固定台与所述竖直驱动模组的输出端相连；所述水平驱动模组包括设于所述支撑台的水平电机、与所述水平电机的输出轴相连的水平丝杠轴、套设于所述水平丝杠轴的外部的水平丝杠螺母、以及与所述水平丝杠螺母相连的水平移动板；所述竖直驱动模组包括设于所述水平移动板的竖直电机、与所述竖直电机的输出轴相连的竖直丝杠轴、套设于所述竖直丝杠轴的外部的竖直丝杠螺母、以及与所述竖直丝杠螺母相连的竖直移动板，所述切割固定台与所述竖直移动板相连。进一步地，所述拉膜压块靠近所述拉膜导辊的一侧的表面开设有与所述拉膜导辊相对应的拉膜凹槽；所述拉膜导辊设有与所述拉膜压块相接触的拉膜柔性件。进一步地，贴膜升降驱动机构包括贴膜底座、以及设于所述贴膜底座的升降气缸；所述第二贴膜台与所述升降气缸的活动端相连；所述贴膜升降驱动机构还包括与所述贴膜底座滑动连接的贴膜导轨、以及用于驱动所述贴膜底座沿所述贴膜导轨滑动的贴膜滑动气缸；所述贴膜底座开设有贴膜导向孔，所述贴膜升降驱动机构还包括位于所述贴膜导向孔内的贴膜导向杆，所述贴膜导向杆与所述贴膜底座相连，所述贴膜导向杆于所述贴膜导向孔内与所述贴膜底座滑动连接。进一步地，所述第一贴膜台设有第一加热组件，所述第一加热组件包括第一加热件、与所述第一加热件靠近所述第二贴膜台的一侧相连的第一导热件、以及与所述第一加热件远离所述第一导热件的一侧相连的第一隔热件。进一步地，所述第二贴膜台设有第二加热组件，所述第二加热组件包括第二加热件、与所述第二加热件靠近所述第一贴膜台的一侧相连的第二导热件、以及与所述第二加热件远离所述第二导热件的一侧相连的第二隔热件。进一步地，所述锁紧组件包括设于所述第二贴膜台的第二锁紧块、与所述第一贴膜台滑动连接的第二锁紧杆、以及设于所述第一贴膜台且用于驱动所述第二锁紧杆移动的第二锁紧驱动件；所述第二锁紧块开设有与所述第二锁紧杆相配合的第二锁紧孔；所述锁紧组件还包括设于所述第一贴膜台的第二导向块，所述第二导向块开设有以供所述第二锁紧杆通过的第二导向孔；所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于所述贴膜装置移动至所述切膜装置的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的拉膜升降驱动件、以及设于所述拉膜升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。/n

【技术特征摘要】
1.贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于所述贴膜装置移动至所述切膜装置的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的拉膜升降驱动件、以及设于所述拉膜升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。


2.根据权利要求1所述的贴膜机，其特征在于，所述贴膜装置包括贴膜支架、固定设于所述贴膜支架的第一贴膜台、设于所述第一贴膜台的压膜机构、与所述第一贴膜台相对设置的第二贴膜台、用于驱动所述第二贴膜台运动的贴膜升降驱动机构、以及设于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间且用于锁紧所述第一贴膜台与所述第二贴膜台的锁紧组件。


3.根据权利要求2所述的贴膜机，其特征在于，所述贴膜装置还包括设于所述第二贴膜台且用于与所述第一贴膜台相接触的密封圈、以及用于对所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间进行抽真空的抽真空组件；所述抽真空组件包括真空泵、以及与所述真空泵相连的真空管；所述第一贴膜台和/或所述第二贴膜台开设有与所述真空管相通的真空孔。


4.根据权利要求2所述的贴膜机，其特征在于，所述压膜机构包括与所述第一贴膜台相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜气囊、以及用于为所述压膜气囊供气的压膜气泵；
或者，所述压膜机构包括设于所述第一贴膜台的压膜气缸、与所述压膜气缸的活动端相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜板。


5.根据权利要求2所述的贴膜机，其特征在于，所述锁紧组件包括设于所述第一贴膜台的第一锁紧块、与所述第二贴膜台滑动连接的第一锁紧杆、以及设于所述第二贴膜台且用于驱动所述第一锁紧杆移动的第一锁紧驱动件；所述第一锁紧块开设有与所述第一锁紧杆相配合的第一锁紧孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一导向块，所述第一导向块开设有以供所述第一锁紧杆通过的第一导向孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建勋，谢军，
申请(专利权)人：广东思沃精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44