一种化学液处理回收装置，包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块和导流板，所述预处理罐顶端设置有进液装置，预处理罐右侧设置有导管，所述导管上设置有泵体，导管一端与预处理器相通，另一端设置有三通管，所述三通管一端设置有第一输送管，所述第一输送管上设置有第一止回阀，所述三通管另一端设置有第二输送管，第二输送管与第二容器相通，本实用新型专利技术的化学液处理回收装置，可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理，并且在整个处理过程中，化学液均处于密封状态的情况下进行回收，很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问。染和被稀释问。染和被稀释问。
【技术实现步骤摘要】
一种化学液处理回收装置
[0001]本技术涉及化学液回收装置
，具体为一种化学液处理回收装置。
技术介绍
[0002]目前，对于半导体行业中晶片湿法处理工艺经常需要使用化学液，而如何实现化学液的无污染无稀释回收再利用就是一个不可避免的问题。在现有技术中，化学液的回收比较困难，并且回收的化学液会被污染和稀释。
[0003]例如公开号为“CN201110332579.8”专利名称为：“一种化学液回收装置”的专利，其公开了“包括固定及旋转晶片的承片台、CUP、接液槽、气缸、电机及台面板，其中接液槽安装在台面板上，在接液槽内设有由电机驱动的承片台；所述接液槽与承片台之间设有由气缸驱动升降的CUP，接液槽内通过所述CUP分成回收化学液的外槽及回收清洗液的内槽，每个槽各设有一个排出口。所述CUP移动的上限位位于晶片及承片台的上方，下限位位于晶片及承片台的下方；所述电机为中空轴电机，安装在台面板的下方，电机中空的输出轴穿过台面板与所述承片台相连，在电机中空的输出轴端设有压缩空气入口，所述承片台套在输出轴外的部位开有与所述中空的输出轴连通的压缩空气出口；所述CUP为锥台形、内部中空，在CUP的上表面开有供所述承片台穿过的第一通孔；所述CUP上开有凹槽，接液槽内设有第二凸起，该第二凸起容置在所述凹槽内；所述气缸安装在台面板的下表面，活塞杆依次穿过台面板、第二凸起与CUP相连；所述接液槽内由里向外依次设有内部中空的第一凸起、第二凸起，承片台及电机的输出轴由第一凸起穿过；所述第一凸起及第二凸起将接液槽内部分隔成外槽及内槽，第一、二凸起之间为内槽，第二凸起与接液槽外壁之间为外槽，内槽的底部开有回收清洗液的排液口，外槽的底部开有回收化学液的排酸口；所述内槽内，在第一凸起顶端与承片台之间设有挡板；所述接液槽的顶部安装有防护罩；所述防护罩为锥台形，其上表面开有第二通孔”。
[0004]但是现有的化学液处理回收装置，在使用时如何避免化学液在回收过程中被污染和稀释现象的产生，已成为亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种实用性强、结构简单的化学液处理回收装置。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0009]一种化学液处理回收装置，包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块、导流板、阀门、液位传感器和警示灯，所述预处理罐顶端设置有进液装置，预处理罐右侧设置有导管，所述导管上设置有泵体，导管一端与预处理罐相通，另一端设置有三通管，所述三通管一端设置有第一输送管，
第一输送管与第一容器相通，所述第一输送管上设置有第一止回阀，所述三通管另一端设置有第二输送管，第二输送管上设置有第二止回阀，第二输送管与第二容器相通，所述第一容器内壁两侧设置有卡槽，第一容器内部设置有第一滤网，第一容器底端设置有导流板，所述第二容器内部设置有第二滤网，所述第一容器顶端设置有罐盖，所述罐盖一侧设置有连接件，第一容器顶端设置有密封垫，所述第一容器底端设置有第一管路，所述第二容器底端设置有第二管路。
[0010]为了实现更好的回收，本技术改进有，所述第一容器与第二容器内部结构均设置为一样。
[0011]为了实现更好的拆卸，本技术进有，所述第一滤网底端两侧设置有卡块，所述卡块设置在卡槽内部，卡块与卡槽可活动连接。
[0012]为了实现更好的使用，本技术改进有，所述进液装置两侧设置有凹槽，凹槽内部设置有螺栓，螺栓穿过凹槽与预处理罐相连，所述进液装置底部设置为过滤网格。
[0013]为了实现更好的导流，本技术改进有，所述第一容器和第二容器底端设置的导流板设置为锥形样式。
[0014]为了实现更好的密封，本技术改进有，所述第一容器和第二容器顶部设置的密封垫与罐盖相适配。
[0015]为了实现更好的处理，本技术改进有，所述第一管路和第二管路均与回收池相通。
[0016]为了实现更好的排放，本技术改进有，所述回收池顶端设置警示灯，所述回收池内部设置有液位传感器，所述回收池右侧设置有阀门。
[0017]为了实现更好的控制，本技术改进有，所述警示灯与液位传感器电性连接。
[0018](三)有益效果
[0019]与现有技术相比，本技术提供了一种化学液处理回收装置，具备以下有益效果：
[0020]该化学液处理回收装置，在于所述的预处理器顶端设置的进液装置，进液装置两端设置的凹槽，并通过螺栓穿过凹槽与预处理罐相连，所述的进液装置底部设置为过滤网格，可以使化学液在进入预处理罐时，过滤网格的设置可以将化学液内掺杂的残渣进行过滤，提高化学液的回收率，并且通过螺栓连接可以方便进液装置拆卸进行清理，在使用时，化学液进行预处理罐内部，并通过导管和泵体进行输送，并且使用三通管和止回阀的设置，可以通过不同通道进行回收处理，将第一种需要处理的化学液时，将第一止回阀打开，关闭第二止回阀，使泵体通过导管和第一输送管导入第一容器内部，并通过第一滤网进行过滤处理，最后通过导流板和第一管路流入回收池内部，所述的导流板采用锥形设置，可以使化学液快速排出，然后再处理第二种化学液时，关闭第一止回阀，打开第二止回阀，通过第二输送管将化学液倒入第二容器内部，再通过第二滤网进行过滤后流入回收池内部，所述的第一容器与第二容器内部结构均设置为一样，容器顶端设置的罐盖通过连接件可活动连接，在容器顶部设置的密封垫与罐盖相适配，在长时间的使用后，可以打开罐盖对容器内部进行清洗，并且第一容器与第二容器内部的滤网底端设置的卡块与卡槽可活动连接，使滤网方便拆卸清理，提高了回收装置的实用性，本技术的化学液处理回收装置，可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理，并且在整个处理过程中，化学液均处于密封状态
的情况下进行回收，很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问题。
附图说明
[0021]图1为本技术结构示意图；
[0022]图2为本技术图1中12处的结构示意图；
[0023]图3为本技术图2中A处的放大结构示意图；
[0024]图4为本技术图1中2处的局部放大结构示意图
[0025]图5为本技术图4的俯视结构示意图；
[0026]图中：1.预处理罐；2.进液装置；3.凹槽；4.螺栓；5.导管；6.泵体；7.三通管；8.第一输送管；9.第一止回阀；10.第二输送管；11.第二止回阀；12.第一容器；13.第一滤网；14.第二容器；15.第二滤网；16.回收池；17.第一管路；18.第二管路；19.罐盖；20.连接件；21.密封垫；22.卡块；23.卡槽；24.导流板；25阀门；26；液位传感器；27.警示灯。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学液处理回收装置，其特征在于：包括预处理罐(1)、进液装置(2)、导管(5)、泵体(6)、第一输送管(8)、第二输送管(10)、第一容器(12)、第二容器(14)、第一滤网(13)、回收池(16)、罐盖(19)、连接件(20)、卡块(22)、导流板(24)、阀门(25)、液位传感器(26)和警示灯(27)，所述预处理罐(1)顶端设置有所述进液装置(2)，预处理罐(1)右侧设置有所述导管(5)，所述导管(5)上设置有所述泵体(6)，所述导管(5)一端与所述预处理罐(1)相通，另一端设置有三通管(7)，所述三通管(7)一端设置有所述第一输送管(8)，所述第一输送管(8)与所述第一容器(12)相通，所述第一输送管(8)上设置有第一止回阀(9)，所述三通管(7)另一端设置有所述第二输送管(10)，所述第二输送管(10)上设置有第二止回阀(11)，所述第二输送管(10)与第二容器(14)相通，所述第一容器(12)内壁两侧设置有卡槽(23)，第一容器(12)内部设置有第一滤网(13)，第一容器(12)底端设置有导流板(24)，所述第二容器(14)内部设置有第二滤网(15)，所述第一容器(12)顶端设置有罐盖(19)，所述罐盖(19)一侧设置有连接件(20)，所述第一容器(12)顶端设置有密封垫(21)，所述第一容器(12)底端设置有第一管路(17)，所述第二容器(14)底端设置有第二管路(18)。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐权锋，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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