基板冷热处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及基板处理技术领域，具体为一种基板冷热处理装置，包括支撑杆、下支撑板、上支撑板、框架、水箱、加热器以及空调，所述支撑杆位于下支撑板的下端，所述上支撑板位于下支撑板的上端，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，并且所述上支撑板与下支撑板之间设有连接杆，通过支撑杆支撑下支撑板，通过连接杆使上支撑板固定在下支撑板的上端，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，所述水箱位于框架的底端，所述加热器安装在水箱的上端，所述空调安装在加热器的上端，通过加热器使第二电热管进行加热，通过水箱使冷凝管具有冷却的效果，通过支撑部支撑基板，使基板固定。

【技术实现步骤摘要】
基板冷热处理装置
本技术涉及基板处理
，具体为一种基板冷热处理装置。
技术介绍
众所周知，一般基板在曝光后要进行加热速冷工艺，加热是为了消除驻波效应及进行光酸放大反应，冷却是为了降低光阻温度停止光酸扩散反应，提高制成稳定性。例如公开号为“CN103426793B”专利名称为：“基板冷热处理装置”的专利，专利公开了“本技术涉及对半导体晶片和液晶显示装置用的玻璃基板(以下简称为基板)等基板进行处理的装置，具体地说是一种基板冷热处理装置，包括承载基板的支撑板，该支撑板内埋设有电阻丝并开有供冷却流体流过的冷却槽；所述电阻丝与电源连接，为基板加热；所述支撑板的上表面均布有多个的支撑部，基板支撑在该支撑部上，与所述支撑板的上表面留有间隙。所述支撑板沿高度方向均布有多个贯通孔，每个贯通孔内均插设有支撑杆，所述支撑杆的下端连接在升降机构上，顶端突出于支撑板的上表面。本技术的支撑板集加热、冷却功能于一体，使得在实现多工艺处理的同时减小了设备的尺寸(省略了传统的导轨等部件)”。现有的基板冷热处理装置大多是先将基板放入热盘中加热后再利用导轨将冷盘移动到热盘的上面对基板进行冷却，这样装置的尺寸为热盘加上冷盘的大小，尺寸变得很大，从而使装置的占地面积增加，并且在实际操作中的冷热处理效果一般，实用性低。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种占地面积小，冷热处理一体化，并且处理效率高的基板冷热处理装置。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基板冷热处理装置，包括支撑杆、下支撑板、上支撑板、框架、水箱、加热器、法兰以及空调，所述支撑杆位于下支撑板的下端，所述上支撑板位于下支撑板的上端，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，所述第二电热管以及冷凝管交叉盘绕在下支撑板上，并且下半部分位于下支撑板的内部，所述支撑部位于支撑板的中间部分，并且所述支撑部上用于设置基板，所述上支撑板设有第一电热管以及冷风管，所述第一电热管以及冷风管交叉盘绕在上支撑板上，并且所述第一电热管以及冷风管的上半部分均位于上支撑板的内部，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，所述水箱位于框架的底端，所述加热器安装在水箱的上端，所述空调安装在加热器的上端，所述空调上设有进风管，所述进风管通过法兰连接冷风管，所述冷风管上设有冷风孔，所述加热器上设有导线管，所述导线管的内部设有导线，所述导线管通过导线分别连接第一电热管以及第二电热管。为使得处理效率进一步提高，本技术的改进有，所述上支撑板与下支撑板之间设有连接杆；所述水箱设有制冷器、进水管、回水管以及水泵，所述制冷器安装在水箱的内部。为使得装置结构更加紧凑，本技术的改进有，所述进水管连接冷凝管的一端，所述回水管连接冷凝管的另一端，所述水泵通过螺栓安装在进水管上。为了提高空调、加热器以及水箱的稳定性，本技术的改进有，所述框架上设有存放板，并且设有多个，所述存放板上设有卡槽，所述空调、加热器以及水箱的底端均设有卡块，所述空调、加热器以及水箱通过卡块安装在存放板上。为了使本结构能自由移动，本技术的改进有，所述支撑杆的下端设有底轮，并且所述底轮通过螺栓连接支撑杆。为了提高本结构在移动时的减震性，本技术的改进有，所述底轮为万向轮，并且所述底轮的上端安装有减震弹簧。为了提高本结构的安全系数，本技术的改进有，所述第一电热管以及冷风管的下端设有第一防尘网，所述第二电热管以及冷凝管的上端设有第二防尘网。为了方便拆卸第一防尘网以及第二防尘网，本技术的改进有，所述第一防尘网的两端设有滑块，所上支撑板的内侧设有凹槽，并且所述滑块位于凹槽的内部，所述第二防尘网的下端设有固定块，所述固定块安装在下支撑板的内侧。为了方便控制第一电热管，本技术的改进有，所述导线管上设有开关，所述开关通过螺栓连接在线管上，并且靠近第一电热管。为了提高方便操作，本技术的改进有，所述开关为按钮开关，并且所述开关的内部设有无线接收控制器。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种基板冷热处理装置，具备以下有益效果：该基板冷热处理装置，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，所述第二电热管以及冷凝管交叉盘绕在下支撑板上，并且下半部分位于下支撑板的内部，所述第一电热管以及冷风管交叉盘绕在上支撑板上，并且所述第一电热管以及冷风管的上半部分均位于上支撑板的内部，通过第一电热管以及第二电热管同时加热，提高了基板热处理的效率，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，通过水箱、空调、冷凝管以及冷风管，提高了基板冷处理时的效率，通过第二电热管以及冷凝管交叉盘绕，使基板在冷热处理时，受热以及冷却的更加均匀。附图说明图1为本技术的正视刨面图；图2为本技术图1中下支撑板的俯视图；图3为本技术图1中进风管的局部放大结构示意图；图4为本技术图1中底轮的局部放大结构示意图；图5为本技术图1中A处的局部放大结构示意图；图中：1、支撑杆；2、下支撑板；3、上支撑板；4、底轮；5、连接杆；6、框架；7、水箱；8、加热器；9、空调；10、进风管；11、第一电热管；12、第二电热管；13、支撑部；14、第一防尘网；15、第二防尘网；16、冷凝管；17、进水管；18、回水管；19、制冷器；20、冷风管；21、冷风孔；22、减震弹簧；23、开关；24、导线管；25、水泵；具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术的一种基板冷热处理装置，包括支撑杆1、下支撑板2、上支撑板3、框架6、水箱7、加热器8、法兰以及空调9。所述支撑杆1位于下支撑板2的下端，并且通过螺栓连接下支撑板2。支撑杆1可以包括竖杆和连接竖杆之间的横杆。下支撑板2连接在相应的所述多个竖杆上端。所述上支撑板3位于下支撑板2的上端，并且所述上支撑板3与下支撑板2之间设有连接杆5。连接杆5保证了上支撑板3位于下支撑板2之间具有相应的空间。所述下支撑板2上设有第二电热管12、支撑部13以及冷凝管16。所述第二电热管12以及冷凝管16交叉盘绕在下支撑板2上，并且第二电热管12以及冷凝管16下半部分位于下支撑板2的内部，所述支撑部13位于下支撑板2的中间部分，支撑部13具有多个(图1中显示两个为代表)，并且所述支撑部13上用于设置基板(图1中未标注)。同时，图2显示了横向截面示意图，显示了下支撑板2的俯视图，显示了冷凝管16和第二电热管12可以是环形设置在下支撑板2。所述上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板冷热处理装置，其特征在于，包括支撑杆(1)、下支撑板(2)、上支撑板(3)、框架(6)、水箱(7)、加热器(8)、法兰以及空调(9)，所述支撑杆(1)位于所述下支撑板(2)的下端，所述上支撑板(3)位于所述下支撑板(2)的上端；所述下支撑板(2)上设有第二电热管(12)、支撑部(13)以及冷凝管(16)，所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)交叉盘绕在所述下支撑板(2)上，并且所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)下半部分位于所述下支撑板(2)的内部，所述支撑部(13)位于所述下支撑板(2)的中间部分，并且所述支撑部(13)上用于设置基板；所述上支撑板(3)设有第一电热管(11)以及冷风管(20)，所述第一电热管(11)以及冷风管(20)交叉盘绕在上支撑板(3)上，并且所述第一电热管(11)以及冷风管(20)的上半部分均位于上支撑板(3)的内部；所述框架(6)、水箱(7)、加热器(8)以及空调(9)均位于下支撑板(2)的左侧，所述水箱(7)位于框架(6)的底端，所述加热器(8)安装在水箱(7)的上端，所述空调(9)安装在加热器(8)的上端，所述空调(9)上设有进风管(10)，所述进风管(10)通过法兰连接冷风管(20)，所述冷风管(20)上设有冷风孔(21)；所述加热器(8)上设有导线管(24)，所述导线管(24)的内部设有导线，所述导线管(24)通过导线分别连接所述第一电热管(11)以及第二电热管(12)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种基板冷热处理装置，其特征在于，包括支撑杆(1)、下支撑板(2)、上支撑板(3)、框架(6)、水箱(7)、加热器(8)、法兰以及空调(9)，所述支撑杆(1)位于所述下支撑板(2)的下端，所述上支撑板(3)位于所述下支撑板(2)的上端；所述下支撑板(2)上设有第二电热管(12)、支撑部(13)以及冷凝管(16)，所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)交叉盘绕在所述下支撑板(2)上，并且所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)下半部分位于所述下支撑板(2)的内部，所述支撑部(13)位于所述下支撑板(2)的中间部分，并且所述支撑部(13)上用于设置基板；所述上支撑板(3)设有第一电热管(11)以及冷风管(20)，所述第一电热管(11)以及冷风管(20)交叉盘绕在上支撑板(3)上，并且所述第一电热管(11)以及冷风管(20)的上半部分均位于上支撑板(3)的内部；所述框架(6)、水箱(7)、加热器(8)以及空调(9)均位于下支撑板(2)的左侧，所述水箱(7)位于框架(6)的底端，所述加热器(8)安装在水箱(7)的上端，所述空调(9)安装在加热器(8)的上端，所述空调(9)上设有进风管(10)，所述进风管(10)通过法兰连接冷风管(20)，所述冷风管(20)上设有冷风孔(21)；所述加热器(8)上设有导线管(24)，所述导线管(24)的内部设有导线，所述导线管(24)通过导线分别连接所述第一电热管(11)以及第二电热管(12)。


2.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述上支撑板(3)与下支撑板(2)之间设有连接杆(5)；所述水箱(7)设有制冷器(19)、进水管(17)、回水管(18)以及水泵(25)，所述制冷器(19)安装在水箱(7)的内部。


3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张存，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35