一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘制造技术

本发明专利技术提供了一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘，具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘包括卡榫、动力单元和吸盘本体，动力单元设置有容置凹槽，空心轴上设置有安装孔。卡榫的中部设置有避让轴段，沿着避让轴段的两端延伸设置有固定轴段，固定轴段与避让轴段之间设置有配合轴段，配合轴段的侧面至少对称设置有两个配合平面。卡榫通过配合平面安装在凹槽内，吸盘本体与动力单元之间是为上下套接的状态，吸盘本体由上至下的套接在动力单元的输出轴上。而通过避让轴段可以连通中心孔与吸盘本体上的真空气道，使得吸盘本体的顶面上具有吸附力。利用卡榫与凹槽的配合，以及凹槽、安装孔和吸盘本体顶面相互平行的设置，以保证配合精度，提高晶圆生产的质量。提高晶圆生产的质量。提高晶圆生产的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘


[0001]本专利技术涉及晶圆器件领域，特别涉及卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘。

技术介绍

[0002]晶圆涂布显影过程中，需要吸盘吸住晶圆，同时马达进行高速的旋转，以实现对晶圆的涂布。然而，马达在高速旋转过程中，其本体产生的热量如果过高会传递到吸盘和晶圆上，导致晶圆生产过程中环境温度不稳定，进而导致晶圆涂胶的粘敷力和均匀度等难管控的问题。
[0003]现今，随着集成电路工艺的越发精进，晶圆的生产也朝着大尺寸的方向发展。当晶圆尺寸越大，在进行涂布显影时所产生的离心力越大，对吸盘与中轴马达的要求也相应的提高。
[0004]而吸盘与马达真空中轴为分拆式结构设计，二者的固定极为重要。在生产中必须维持晶圆、吸盘和马达中轴之间的同心度和平行度要非常精准，此工艺是涂布的均匀度和厚度保持一致性的其中一项重要的前提条件。因此，马达高速旋转中，吸盘与中轴的连接配合至关重要。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘，其要解决现有的吸盘与中轴的结构连接配合的精度较低，且使用寿命也较低的问题。
[0006]为实现本专利技术的目的，本专利技术采用的技术方案是：一种卡榫，其特征在于，所述卡榫的中部设置有避让轴段，沿着所述避让轴段的两端延伸设置有固定轴段，所述固定轴段与所述避让轴段之间设置有配合轴段，所述配合轴段的侧面至少对称设置有两个配合平面。
[0007]优选的，所述卡榫的一端端面上设置有一字槽或十字槽。/>[0008]优选的，所述一字槽与配合平面相互平行设置，或者，所述十字槽中的一直槽与所述配合平面相互平行。
[0009]优选的，所述配合轴段为正四面体或正八面体。
[0010]优选的，所述避让轴段的直径小于所述固定轴段的直径，或者，所述避让轴段设置有贯穿孔或贯穿槽，所述贯穿孔或贯穿槽与所述配合平面相互平行设置。
[0011]还提供一种具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘，包括：
[0012]卡榫，其如上述的卡榫；
[0013]动力单元，其输出轴的端面设置有容置所述卡榫的凹槽，所述卡榫的避让轴段位于所述输出轴的中心孔处，且所述避让轴段的直径小于所述中心孔的直径，或者，所述卡榫的贯穿孔或贯穿槽与所述中心孔相导通设置；及
[0014]吸盘本体，其空心轴套设在所述动力单元的输出轴上，所述空心轴上设置有安装孔，所述安装孔、所述凹槽与所述吸盘本体的顶面相互平行设置，所述卡榫的固定轴段与所
述安装孔相密封配合设置。
[0015]优选的，所述卡榫的配合轴段的配合平面与所述凹槽侧面的平面配合精度为0.01mm
‑
0.0001mm。
[0016]优选的，所述固定轴段与所述安装孔过盈配合设置。
[0017]优选的，所述动力单元的输出轴与所述空心轴之间设置有至少一个密封圈，所述密封圈位于所述凹槽与所述动力单元的本体之间。
[0018]优选的，所述动力单元的外侧面上设置有冷却板。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0020]1、卡榫通过配合轴段上的两个配合平面，可以实现避免卡榫转动的问题。且通过配合平面与其它的平面配合，可以提高接触面积，避免接触位置的应力集中问题，提高卡榫的使用寿命。
[0021]2、卡榫中部的避让轴段可以为直径较小的轴段，或者为偏心轴，或者具有通孔的轴段，使得在避让轴段处可以通过流体或气体。实现了，卡榫即可以连接固定，还可以过流液体或气体的效果。
[0022]3、卡榫固定在吸盘本体的安装孔上，通过配合平面与动力单元的凹槽进行配合放置，使得卡榫位于凹槽内。而吸盘本体与动力单元之间是为上下套接的状态，吸盘本体由上至下的套接在动力单元的输出轴上。因此，当动力单元进行转动时，通过卡榫可以带动吸盘本体进行同步的转动。而通过避让轴段可以避免封堵动力单元输出轴上的中心孔，使得中心孔与吸盘本体上的真空气道密封连通，可以通过真空泵使得吸盘本体的顶面上具有吸附力。利用卡榫与凹槽的配合，以及凹槽、安装孔和吸盘本体顶面相互平行的设置，以保证配合精度，提高晶圆生产的质量。
附图说明
[0023]图1为实施例所述的卡榫的结构图；
[0024]图2为实施例所述的具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘的示意图；
[0025]图3为实施例所述的具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘的局部图；
[0026]图4为实施例所述的具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘的局部剖视图。
[0027]附图标记：
[0028]1、卡榫；
[0029]2、动力单元；21、输出轴；22、凹槽；23、中心孔；24、冷却板；
[0030]3、吸盘本体；31、空心轴；32、安装孔；
[0031]4、密封圈；
[0032]10、避让轴段；
[0033]20、固定轴段；
[0034]30、配合轴段；301、配合平面；
[0035]40、一字槽。
具体实施方式
[0036]本专利技术提出新的方案，为更加清楚的表示，下面结合附图对本专利技术做详细的说明。
[0037]实施例一、
[0038]请参见图1，本实施例提供一种卡榫，卡榫1的中部设置有避让轴段10，沿着避让轴段10的两端延伸设置有固定轴段20，固定轴段20与避让轴段10之间设置有配合轴段30，配合轴段30的侧面至少对称设置有两个配合平面301。
[0039]卡榫1是用于连接两个物体，以晶圆的涂布显影机的转盘结构为例，卡榫1用于连接涂布显影机的吸盘和马达主轴，并保证吸盘的水平度，以较高的配合精度提高晶圆涂布的质量，以及提高卡榫1的使用寿命。
[0040]本实施例中卡榫1可以采用304不锈钢制作而成，或者SUS304不锈钢，SUS是日本材料标准，304不锈钢是按照美国ASTM标准生产出来的不锈钢的一个牌号，304不锈钢以其良好的耐热性，而被广泛应用于制作耐腐蚀和成型性的设备和机件，因此在材料的选择上可以保证卡榫1的使用寿命。
[0041]此卡榫结构较之传统卡榫，还体现在其装配方式的改进。本项目卡榫两端20为固定轴段，固定轴段两端一大一小，配合的吸盘固定面孔径亦对应一致。卡榫小端固定轴段从吸盘大固定面之孔位处进入，卡榫放入四分之三后开始密合装配。此装配方式将卡榫的装配行程缩短了3/4，降低了卡榫装配行程太长可能导致吸盘固定面磨损的风险，保障了精密件的装配精度要求。
[0042]具体的，卡榫1的配合轴段30上采用对称的两个平面设计，通过平面与平面的配合，可以提高卡榫1配合的接触面积，避免传统销、轴的弧面与平面配合接触面较小，在应力作用下轴配合面容易发生磨损的问题，继而导致卡榫1使用寿命降低的问题。本实施例通过改变配合平面301的结构，增加接触面积，消除局部应力集中带来使用寿命的问题，即提高了卡榫1的使用寿命。主轴凹槽配合面受传统卡榫圆弧面作用力出现弧面凹痕，从而导致吸盘与马达高速旋转时的同步本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卡榫，其特征在于，所述卡榫的中部设置有避让轴段，沿着所述避让轴段的两端延伸设置有固定轴段，所述固定轴段与所述避让轴段之间设置有配合轴段，所述配合轴段的侧面至少对称设置有两个配合平面。2.根据权利要求1所述的卡榫，其特征在于：所述卡榫的一端端面上设置有一字槽或十字槽。3.根据权利要求2所述的卡榫，其特征在于：所述一字槽与配合平面相互平行设置，或者，所述十字槽中的一直槽与所述配合平面相互平行。4.根据权利要求1所述的卡榫，其特征在于：所述配合轴段为正四面体或正八面体。5.根据权利要求1所述的卡榫，其特征在于：所述避让轴段的直径小于所述固定轴段的直径，或者，所述避让轴段设置有贯穿孔或贯穿槽，所述贯穿孔或贯穿槽与所述配合平面相互平行设置。6.一种具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘，其特征在于，包括：卡榫，其如权利要求1
‑
5中任一项所述的卡榫；动力单元，其输出轴的端面设置有容置所述卡榫的凹槽，所述卡榫的避让轴段位于所述输出轴的...

【专利技术属性】
技术研发人员：许志雄，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：