状态检测装置及状态检测方法以及状态检测用程序及信息记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术可以提供一种状态检测装置（Ｓ），检测ＬＭ（Ｌｉｎｅａｒ　Ｍｏｔｉｏｎ）系统的现在的动作状态，其具备：ＡＥ传感器（１），检测ＬＭ系统所包含的多个滚珠自转且在循环部内公转时弹性地产生的ＡＥ波，生成检测信号Ｓａｅ；信号处理部（４），基于仅与滚珠的动作频率相对应的检测信号Ｓａｅ，生成表示ＡＥ波的强度的参数，并使用该参数来判定ＬＭ系统的润滑状态的内容。由此，可预知ＬＭ系统的故障发生，并且能提高ＬＭ系统的使用者的维修性，还有助于其长寿命化及使用ＬＭ系统制造的装置或设备的性能保证以及它们的品质提高。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术属于状态检测装置及状态检测方法以及状态检测用程序及 信息记录介质的
，更详细地说，属于检测直线滚动导向装置 的动作中的该直线滚动导向装置的动作状态的状态检测装置及状态检 测方法以及用于该动作状态检测的状态检测用程序及用计算机可读取 并记录该状态检测用的程序的信息记录介质的

技术介绍
目前，包括4九道、在该4九道上沿其纵向方向移动的移动块、介于 该轨道和该移动块之间、其自身旋转(自转)且循环(公转)、在该移 动块中高精度地移动的多个滚珠(转动体)的所谓的直线滚动导向装 置基本上已普遍化，具体地说，工作机械的作业台的三维运动或振动 子电车中的支承振动子运动的部件，直到建筑物的免震结构，实际应 用范围正在扩大。另外，作为该直线滚动导向装置，除由上述的移动 块和轨道构成的直线滚动导向装置以外，还有称作所谓的滚珠丝杠(ball screw)的直线滚动导向装置。而且，随着这种实际应用范围的扩大，对直线滚动导向装置中的 故障预防的要求也在提高，因此，关于动作状态的诊断法，也要求采 用高精度的方法。在此，作为除去直线滚动导向装置的现有一般的机械系统(例如 包含滚珠轴承的旋转用滚动轴承装置等)中的动作状态的诊断方法， 例如有如下方法下述专利文献1等所示，监视其机械系统中的振动 的发生状态来进行动作状态的诊断的振动检测法；取出其机械系统所 使用的润滑油并对其品质进行评价，由此来进行动作状态的诊断的油 评价法；测定其机械系统内经由润滑油驱动的部件间的电阻来进行动 作状态的诊断的电阻法；或采用热电偶等测定其机械系统内经由润滑专利文献1:日本特开2004 - 93357号乂>报但是，将这些诊断方法应用于直线滚动导向装置时存在如下问题。 即，采用振动检测法时，在直线滚动导向装置中作为滚动体的滚 珠自转且在循环部内公转，因此存在振动的发生源多，不能够正确的另外，采用油评价法时，必需分别从其装置自身取出作为诊断对 象的直线滚动导向装置中的使用前的润滑油和使用后的润滑油进行检 查，直到得出诊断结果需要过多的时间，同时，必需使直线滚动导向 装置暂时停止而取出润滑油进行作业，存在工作效率低的问题。此外，采用电阻法及温度测定法时，存在对电噪声都很脆弱，并 且有时在上述移动块的移动速度慢时不能进行测定的问题。因而，目前，对直线滚动导向装置的动作状态在实际时间(即，实时(realtime))正确地进4亍诊断比4交困难。
技术实现思路
于是，本专利技术是鉴于上述问题而开发的，其课题在于提供一种状 态检测装置及状态检测方法以及用于该动作状态检测的状态检测用程 序及记录有用计算机可读取该状态检测用的程序的信息记录介质，其 通过实时且正确地检测直线滚动导向装置的动作状态，达到可预知该 直线滚动导向装置的故障的发生，并且能够提高该直线滚动导向装置 的使用者的维修性，还有助于其长寿命化及组装了该直线滚动导向装 置的装置或设备的性能保证以及它们的品质提高。为了解决上述的课题，本专利技术第一方面的状态检测装置，检测直 线滚动导向装置的现在的动作状态，具备AE ( Acoustic Emission )传 感器等检测单元，检测至少起因于所述直线滚动导向装置所包含的多 个滚动体自转且在循环部内公转时产生的该转动导向装置所包含的转 动运4亍面和所述转动体的冲击、该转动运4于面和该转动体间的接触部 的滑动、或该转动体彼此之间的沖击或该转动体彼此的接触部的滑动、一个而弹性地产生的波动，生成与该4全测出的波动对应的电才企测信号； 信号处理部等抽出单元，从对所述生成的检测信号进行抽样得到的测 量值中仅抽出所述直线滚动导向装置的动作引起的测量值；信号处理 部等生成单元，基于所述抽出的测量值生成表示所述波动的强度的参数；信号处理部等判定单元，对所述生成的参数值和预先对该参数设 定的阈值进行比较，判定所述动作状态是否正常。由此，生成表示由于直线滚动导向装置的动作而弹性地产生的上 述波动的强度的参数，通过其值和与之对应的阈值的比较来判定直线 滚动导向装置的动作状态是否正常，所以，不用在该直线滚动导向装 置的动作中实时地对该直线滚动导向装置进行分解，而且可以排除相 应动作引起的振动或外部驱动装置引起的振动等的影响，检测其动作 状态是否正常。为了解决上述课题，本专利技术第二方面的状态检测装置，在本专利技术第一方面的基础上构成为所述抽出单元具备对通过所述抽样得到的测量值的每一个分别进行傅里叶变换，并生成变换测量值的信号处理 部等变换单元，只抽出所述生成的变换测量值中相当于与所述直线滚 动导向装置的动作频率相对应的频率的该变换测量值，并输出到所述生成单元。由此，从傅里叶变换后的变换测量值中只抽出与直线滚动导向装 置的动作频率相对应的变换测量值，并输出到生成单元，所以，能够 以简单的结构抽出必要的变换测量值。为了解决上述课题，本专利技术第三方面的状态检测装置，在本专利技术第一方面的基础上构成为所述抽出单元具备对通过所述抽样得到的 测量值的每一个分别进行傅里叶变换并生成变换测量值的变换单元， 将除去了所述生成的变换测量值中相当于比所述直线滚动导向装置的 动作频率高出预先设定的频宽的频率以上的频宽的该变换测量值后 的、剩余的该变换测量值，输出到所述生成单元。由此，从傅里叶变换后的变换测量值中，将除去了相当于比直线 滚动导向装置的动作频率高出预先设定的频宽的频率以上的频宽的该 变换测量值后的、剩余的该变换测量值，输出到生成单元，所以，能 够以简单的结构抽出必要的变换测量值。为了解决上述课题，本专利技术第四方面的状态检测装置，在本专利技术 第一方面的基础上构成为所述抽出单元具备对通过所述抽样得到的 测量值的每一个分别进行傅里叶变换并生成变换测量值的变换单元， 将除去了所述生成的变换测量值中相当于比所述直线滚动导向装置的 动作频率低出预先设定的频宽的频率以下的频宽的该变换测量值后的、剩余的该变换测量值，输出到所述生成单元。由此，从傅里叶变换后的变换测量值中，将除去了相当于比所述 直线滚动导向装置的动作频率低出预先设定的频宽的频率以下的频宽 的该变换测量值后的、剩余的该变换测量值，输出到所述生成单元， 所以，能够以简单的结构抽出必要的变换溯'J量值。为了解决上述课题，本专利技术第五方面的状态检测装置，在本专利技术第一至第四任一方面的基础上构成为所述判定单元在所述生成的参数值小于所述阈值时，判定所述动作状态为润滑良好状态。由此，在参数值小于阈值时，则判定直线滚动导向装置的动作状 态为润滑良好状态，所以，不用在该直线滚动导向装置的动作中实时 地对该直线滚动导向装置进行分解，而且可以排除相应动作引起的振 动或外部驱动装置引起的振动等的影响，检测该动作状态是否是润滑 良好状态为了解决上述课题，本专利技术第六方面的状态检测方法，检测直线滚动导向装置的现在的动作状态，其中，包括检测工序，检测至少 起因于所述直线滚动导向装置所包含的多个滚动体自转且在循环部内 公转时产生的该转动导向装置所包含的转动运行面和所述转动体的冲击、该转动运4于面和该转动体间的4妻触部的滑动、或该转动体纟皮此之 间的沖击或该转动体彼此的接触部的滑动、或者所述转动体或所述转 动运行面的至少任一个中产生的裂紋的任何一个而弹性地产生的波 动，生成与该4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种状态检测装置，检测直线滚动导向装置的现在的动作状态，其特征在于，具备：　检测单元，检测至少由以下任一个现象引起并弹性地产生的波动，生成与该检测出的波动对应的电检测信号，其中，上述现象指所述直线滚动导向装置所包含的多个滚动体自转且在循环部内公转时产生的该直线滚动导向装置所包含的转动运行面与所述转动体的冲击、该转动运行面和该转动体间的接触部的滑动、或该转动体彼此之间的冲击或该转动体彼此的接触部的滑动、或者所述转动体或所述转动运行面的至少任一个中产生的裂纹；　抽出单元，从对所述生成的检测信号进行抽样得到的测量值中，仅抽出所述直线滚动导向装置的动作引起的测量值；　生成单元，基于所述抽出的测量值，生成表示所述波动的强度的参数；以及　判定单元，将所述生成的参数值与预先对该参数设定的阈值进行比较，判定所述动作状态是否正常。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：本所善之，
申请(专利权)人：THK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]