基于改变频率的干涉测量法制造技术

一种干涉测量方法，使用标称为固定的（但未知并改变的）频率和相位角的激光器，例如，由于激光的漂移。以远大于物件相移的频率对干涉图周期性采样。使用相关算法从采样的图形再现波长。使用ｎ桶算法确定相位角。当在全部多倍波长上确定全部复合信息后，使用常规干涉技术计算物件的表面。因此，通常被认为起消极作用的激光器的漂移得到了积极使用。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及干涉测量方法，尤其涉及使用例如可调激光器的具有变化波长的照明光源的干涉测量方法。
技术介绍
干涉领域的技术人员都知道相移干涉仪。从康涅狄格，Middlefield的Zygo公司(www.zygo.com)和纽约，Woodbury的Veeco器材有限公司(www.veeco.com)都可以得到示范系统。这些系统通常使用单波长激光器或“白”(即，多色)光。单波长干涉仪一直传统地使用气体激光器，如氦氖(HeNe)激光器。最近，单波长系统已经开始使用二极管激光器，其中通过控制激光器的温度和正向电流可以控制输出波长。因此，单波长系统通常不发生波长漂移和/或抖动。白光系统单独或结合窄带干涉滤光片使用宽带光源。这些系统通常也不发生如波长漂移等退化问题。最近，多波长干涉仪系统已经开始进入市场。这些系统通常包括可调激光器，以达到其多波长性能。现有很多种适合的可调激光器，并且示例中包括染料激光器、掺钛兰宝石激光器、翠绿宝石激光器、分布反馈二极管激光器、分布布拉格反射二极管激光器、以及外腔二极管激光器。现在，可调二极管激光器在商业应用中最具成本效率。不幸地是，二极管激光器的波长输出作为温度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干涉测量方法，包括以下步骤：以照明频率照亮物件，产生干涉图；以物件相移的倍数的取样频率取样干涉图，从而在不同的相位角收集干涉图；根据取样的干涉图的变化再现照明频率的波长和相位角；改变照明频率，重复前面的步 骤；以及根据收集和再现的复合信息的变化生成物件的图像。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：MJ梅特，
申请(专利权)人：克希瑞克斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]