【技术实现步骤摘要】
通过评估成对表面之间产生的干涉图案，能以光学方法测出试样的平直度与厚度变化。表面平直度与一参照表面相比较，厚度变化在试样的两表面之间相比较。成对表面中至少一个表面以不垂直入射角受照射的掠入射干涉仪，可增强镜面反射率并调节测量灵敏度。
技术介绍
薄透射试样的干涉测量有一些特殊问题，因其相对的表面都能参与形成多个干涉图案，例如可在各相对表面与公共参照表面之间以及在相对表面本身之间形成干涉图案。各干涉图案包含试样信息，但当干涉图案相互迭加时，信息就被遮蔽了。在共同转让给Moore的美国专利4,325,637(通过引用包括在这里)提出的掠入射干涉仪中，为排除分离得超过相干性极限的表面间的干涉图案，要限制照射束的空间相干性。从表面反射的准直光横向剪切，它随表面间的间隔而变。旋转的漫射器阻断照射束并减小空间相干性，使干涉条纹不形成在分离得大于原先测试表面与参照表面之间距离的表面之间。然而，减小的空间相干性并不排除干涉条纹形成在薄透射试样的相对表面之间，这种试样的相对表面分开的量相当于该透射光学元件与参照表面的间隔。测量平直度的第一干涉图案形成在参照表面与试样最近的相对测试表...
【技术保护点】
一种用掠入射干涉仪测量透射平面平行板的方法，其特征在于包括步骤：使光束以不垂直掠射角从参照表面和透射板两标称平行表面二者反射，产生至少两个不同的干涉图案；把第一干涉图案重迭在第二干涉图案上，前者形成在参照表面与透射板两标称平 行表面之一之间，后者形成在透射板两标称平行表面之间；将光束的不垂直掠射角改变一角度范围，各重迭干涉图案的局部干涉带强度通过至少一次循环在该角度范围偏移；测定局部干涉带强度在重迭干涉图案之一内偏移的调制频率；和估算在调 制频率下变化的局部干涉带强度，从一个干涉图案中提取相位信息。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：CA李，MJ特罗诺洛恩，AW库拉维克，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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