【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，属于光学领域。
技术介绍
干涉显微将干涉技术和显微放大技术相结合，可精确地分析物体的三维形貌和相位型物体的位相信息，具有分辨力高、测量速度快等传统干涉技术和显微技术不可替代的优势，是一种比较理想的微小物体三维形貌和位相分布测量的方法。2006年，瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000数字全息显微镜，可用于测量微小物体的三维形貌和位相分布。但需要倾斜参考光以获得足够大载频使干涉图样的零频分量、实像和共轭像在频谱面上分离，进而不能充分利用图像传感器的横向分辨率或空间带 宽积，限制其测量精度的提高；因为采用分离光路干涉，即物光和参考光通过不同路径进行干涉，易受外界振动、温度起伏等影响，降低了实验的可重复性。西安光机所的姚保利等提出利用平行双光栅的同步载频移相干涉显微方法(P. Gao, B. L. Yao, I. Harder, J. Min, R. Guo，J. Zheng, T. Ye. Parallel two-stepphase-shifting digital holograph microscopy based on a g...
【技术保护点】
基于同步载频移相的共光路干涉显微检测装置，它包括光源（1），其特征在于，它还包括线偏振片（2）、准直扩束系统（3）、第一分光棱镜（4）、第二分光棱镜（5）、第一λ/4波片（6）、校正物镜（7）、显微物镜（8）、待测物体（9）、第二λ/4波片（10）、第三λ/4波片（11）、矩形窗口（12）、第一傅里叶透镜（13）、一维周期光栅（14）、第二傅里叶透镜（15）、偏振片组（16）、图像传感器（17）和计算机（18），其中λ为光源（1）发射光束的光波长，光源（1）发射的光束经线偏振片（2）后入射至准直扩束系统（3）的光接收面，经准直扩束系统（3）准直扩束后的出射光束入射至第一分光...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钟志，单明广，郝本功，刁鸣，张雅彬，窦峥，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：
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