基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法制造方法及图纸

基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法，属于光学干涉检测领域。它解决了现有同步载频移相干涉检测装置结构复杂及检测方法的数据处理复杂的问题。装置包括光源、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、待测物体、第一反射镜、第二反射镜、第二偏振分光棱镜、λ/4波片、矩形窗口、第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜、偏振片组、图像传感器和计算机；方法为使光源发射的光束经第一偏振分光棱镜后分成物光束和参考光束，再将离焦光栅分光技术和偏振调制技术相结合，通过一次曝光采集获得两幅相移干涉图，并通过差动相减方法消除零频分量达到物体相位恢复的目的。本发明专利技术适用于微小物体的形貌检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，属于光学干涉检测领域。
技术介绍
载频干涉利用具有一定夹角的物光和参考光发生干涉，可从形成的单幅载频干涉图获得待测物体的位相信息，从而适合用于运动物体或动态过程的实时测量，但是该方法为了能够从单幅干涉图样中再现物光的复振幅分布，需要倾斜物光和参考光以获得足够大夹角使干涉图样的零频分量、实像和共轭像在频谱面上分离，因此，不能充分利用图像传感器的横向分辨率或空间带宽积。墨西哥学者C. Meneses-Fabian等提出利用4f■共焦系统和一维光栅相结合实现载频调制方法(C. Meneses-Fabian, G. Rodriguez-Zurita. Carrier fringesin thetwo-aperture common-path interferometer. Optics Letters,2011,36(5)642-644)。该方法将一维光栅置于4f共焦系统频谱面离焦处，通过引入离焦量获得载频干涉图，该方法不需倾斜物光和参考光，调整方便，成本低，但是该方法仍不能充分利用图像传感器的横向分辨率或空间带宽积。西安光机所的姚保利等提出利用平行双光栅的同步载频移本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于同步载频移相的干涉检测装置，它包括光源(1)，其特征在于：它还包括偏振片(2)、准直扩束系统(3)、第一偏振分光棱镜(4)、待测物体(5)、第一反射镜(6)、第二反射镜(7)、第二偏振分光棱镜(8)、λ/4波片(9)、矩形窗口(10)、第一傅里叶透镜(11)、一维周期光栅(12)、第二傅里叶透镜(13)、偏振片组(14)、图像传感器(15)和计算机(16)，其中λ为光源(1)发射光束的光波长，光源(1)发射的光束经偏振片(2)入射至准直扩束系统(3)的光接收面，经该准直扩束系统(3)准直扩束后的出射光束入射至第一偏振分光棱镜(4)，第一偏振分光棱镜(4)的反射光束经待测物体(5)后入射...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟志，单明广，郝本功，窦峥，张雅彬，刁鸣，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：