基于同步载频移相的干涉显微检测装置与检测方法制造方法及图纸

基于同步载频移相的干涉显微检测装置与检测方法，属于光学干涉检测技术领域。它解决了现有同步载频移相干涉显微方法中光利用率低，数据处理复杂的问题。检测装置包括光源、线偏振片、第一偏振分光棱镜、第一准直扩束系统、待测物体、显微物镜、校正物镜、第一反射镜、第二反射镜、第二准直扩束系统、第二偏振分光棱镜、λ/4波片、矩形窗口、第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜、偏振片组、图像传感器和计算机；检测方法为将离焦光栅分光技术和偏振调制技术相结合，通过一次曝光采集获得两幅相移干涉图，并通过差动相减方法消除零频分量实现物体相位恢复。本发明专利技术适用于微小物体形貌检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，属于光学干涉检测

技术介绍
干涉显微将干涉技术和显微放大技术相结合，可精确地分析物体的三维形貌和相位型物体的位相信息，具有分辨力高、测量速度快等传统干涉技术和显微技术不可替代的优势，是一种比较理想的微小物体三维形貌和位相分布测量的方法。 2006年，瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000数字全息显微镜，可用于测量微小物体的三维形貌和位相分布。但需要倾斜参考光以获得足够大载频使干涉图样的零频分量、实像和共轭像在频谱面上分离，因此，不能充分利用图像传感器的横向分辨率或空间带宽积，限制了其测量精度的提高。西安光机所的姚保利等提出利用平行双光栅的同步载频移相干涉显微方法(P. Gao, B. L. Yao, I. Harder, J. Min, R. Guo, J. Zheng, T. Ye. ParalIel two-stepphase-shifting digitalholograph microscopy based on a grating pair. J. Opt. Soc.Am. A2011,28 (3) :434-440)。该方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于同步载频移相的干涉显微检测装置，它包括光源(1)，其特征在于：它还包括线偏振片(2)、第一偏振分光棱镜(3)、第一准直扩束系统(4)、待测物体(5)、显微物镜(6)、校正物镜(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(9)、第二准直扩束系统(10)、第二偏振分光棱镜(11)、λ/4波片(12)、矩形窗口(13)、第一傅里叶透镜(14)、一维周期光栅(15)、第二傅里叶透镜(16)、偏振片组(17)、图像传感器(18)和计算机(19)，其中λ为光源(1)发射光束的光波长，光源(1)发射的光束经线偏振片(2)后入射至第一偏振分光棱镜(3)，第一偏振分光棱镜(3)的反射光束入射至第一准直扩束系统(...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟志，单明广，郝本功，刁鸣，窦峥，张雅彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：