【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，属于光学干涉显微检测
技术介绍
干涉显微将干涉技术和显微 放大技术相结合，可精确地分析物体的三维形貌和相位型物体的位相信息，具有分辨力高、测量速度快等传统干涉技术和显微技术不可替代的优势，是一种比较理想的微小物体三维形貌和位相分布测量的方法。2006年，瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000数字全息显微镜，可用于测量微小物体的三维形貌和位相分布。但因为采用离轴全息光路而不能充分利用图像传感器CCD的分辨率和空间带宽积；同时不能在光路中消除物镜引起的相位畸变，为相位重构带来困难，并引起重构误差。中国专利《基于衍射光栅的物参共路相移数字全息显微装置》，公开号为CN102147233A，公开日为20110810，利用光栅衍射和针孔滤波构建了物参共路的干涉显微装置，降低了环境振动对干涉成像的影响，提高了成像的纵向分辨率，但是该方法需通过移动光栅获得相移，不仅调控困难，而且因为要在不同时间分别完成对多幅干涉图样的记录，因此无法实现待测物体的动态实时测量。西安光机所的姚保利等提出利用平行双光栅和和偏振调制方法相结合构建同步相移干...
【技术保护点】
一种基于正交双光栅的同步移相干涉显微检测装置，它包括光源(1)，其特征在于：它还包括线偏振片(2)、第一偏振分光棱镜(3)、第一准直扩束系统(4)、待测物体(5)、显微物镜(6)、校正物镜(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(9)、第二准直扩束系统(10)、第二偏振分光棱镜(11)、λ/4波片(12)、矩形窗口(13)、第一傅里叶透镜(14)、一维周期幅度光栅(15)、一维周期相位光栅(16)、第二傅里叶透镜(17)、四象限偏振片组(18)、图像传感器(19)和计算机(20)，其中λ为光源(1)发射光束的光波长，一维周期幅度光栅(15)和一维周期相位光栅(16)组成双光栅，...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：单明广，钟志，郝本功，刁鸣，张雅彬，窦峥，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：
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