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基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法制造方法及图纸
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下载基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法的技术资料
文档序号:8386114
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基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法,属于光学干涉检测领域。它解决了现有同步载频移相干涉检测装置结构复杂及检测方法的数据处理复杂的问题。装置包括光源、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、待测物体、第一反射镜、第二反射镜、第二偏振分光...
该专利属于哈尔滨工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。
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