一种三维电子散斑干涉仪制造技术

本发明专利技术公开一种三维电子散斑干涉仪，包括仪器框架和安装在框架上的仪器，所述仪器包括：至少一激光器、一第一旋转反射镜、Ｗ场光路、Ｕ场光路、Ｖ场光路、以及一干涉接收机构；其中包括Ｕ场、Ｖ场、Ｗ场光路的出射光互相正交，每个场光路上都设置有用于时间相移的相移器和用于空间相移的载波片及其步进电机。本发明专利技术通过三个场光路分别获得独立的Ｕ场、Ｖ场、Ｗ场位移分量，既简化了程序运算，又能获得更高的精确度，同时可以采用时间相移方法或者空间相移方法测量被测物的三维位移量，实现三维直接测量结果数字化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种三维电子散斑干涉仪，尤其涉及一种同时具有时间相移和空间相移功能的三维电子散斑干涉仪。
技术介绍
电子散斑干涉测量技术是近几十年来发展的一种精确检测物体由于变形导致的表面各点位移的光学测试技术。如图1所示为一种电子散斑干涉仪原理图。激光束由分束镜111透过的一束，被反射镜121反射并经由扩束镜131扩束照明物面14，物面14散射的激光被透镜122成像到摄像机15的接收面上。由分束镜111反射的另一束光被角锥棱镜16反射到反射镜123上，经扩束镜132扩束后，由分束镜113转向，与物光合束到摄像机靶面上，成为参考光R。角锥棱镜16可以前后移动以调节光程，保证两束光直接的相干性。由物表面14散射的激光成像到摄像机靶面上成为主观散斑场与参考光R相干涉，形成散斑干涉场。假如变形前物光束在摄像机靶面某点形成的光振动复振幅为A11＝a11expjφ11，参考光复振幅为A21＝a21expjφ21，则在该点的合成光强为合成光强为I1＝a211+a221+2a11a21cos(φ11-φ21)当物表面14发生形变后，参考光R复振幅A22＝A21没有显著变化。当物光束在物表面发生变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维电子散斑干涉仪，包括仪器框架和安装在框架上的仪器，其特征在于，所述仪器包括：至少一激光器、一第一旋转反射镜、Ｗ场光路、Ｕ场光路、Ｖ场光路、以及一干涉接收机构；所述激光器发出特定波长的单模激光；所述第一旋转反射镜设于所 述激光器光路上，使从激光器发射的激光反射至Ｗ场光路、或Ｕ场光路、或者Ｖ场光路；所述干涉接收机构设于仪器框架中心，与被测物表面正对；所述Ｗ场光路包括：一分光元件，设于第一旋转反射镜反射光路上，将激光分为两束；Ｗ 场的时间相移光路，包括设置在分光元件的透射光路上的第一扩束镜、分光镜以及...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张熹，陆鹏，吴君毅，夏远富，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七一一研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]