下载一种三维电子散斑干涉仪的技术资料

文档序号:2509088

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本发明公开一种三维电子散斑干涉仪,包括仪器框架和安装在框架上的仪器,所述仪器包括:至少一激光器、一第一旋转反射镜、W场光路、U场光路、V场光路、以及一干涉接收机构;其中包括U场、V场、W场光路的出射光互相正交,每个场光路上都设置有用于时间相...
该专利属于中国船舶重工集团公司第七一一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国船舶重工集团公司第七一一研究所授权不得商用。

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