测量波长很小带宽很窄的高功率激光器的光谱输出带宽的方法和设备技术

本发明专利技术公开于一种控制激光器系统的设备和方法，它可以包括用来测量由激光器发射的激光的光谱未知宽度的光谱仪，该光谱仪可包含光学带宽测量单元，用于提供作为输出的测量参数，其表示被测光谱未知带宽的参数；报道参数计算单元，按照下面的公式来计算被测光谱未知带宽的报道参数：报道参数（“ＲＰ”）＝Ａ＊（测量参数（“ＭＰ”））＋Ｃ，其中ＲＰ和ＭＰ是不同类型的参数，而Ａ和Ｃ的数值则是根据光学带宽测量单元中ＭＰ对已知ＲＰ数值的光的响应的校准来确定的。光学带宽测量单元可以包含诸如标准具的干涉测量的或者色散的光学仪器。ＲＰ可以是在，譬如说ＦＷＸＭ处，而ＭＰ可以在ＦＷＸ’Ｍ处，其中Ｘ≠Ｘ’。ＲＰ可以是在，譬如说ＥＸ％处，而ＭＰ可以是例如在ＦＷＸＭ处。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对光源带宽的精确估计，例如以窄带宽发射激光的激光器发射的激光的带宽。
技术介绍
众所周知可以用光谱仪来测量例如激光器的光源的波长和带宽。例如采用对位置敏感的探测器，如在现有技术中所熟知的光电二极管阵列(“PDA”)，这样一个带宽仪的输出实际上就是测量的结果。带宽仪有其自身的响应函数，它在测量带宽的过程中修改正在被测的光谱。然而，例如，由于对超大规模积成电路(“ULSI”)的集成电路制备中具有更窄的临界尺寸线特征的要求不断增大(临界尺寸减小)，要求在某个特定短波长(深紫外-“DUV”和极端紫外-“EUV”)处的纯激光，且纯度由中心波长周围十分狭窄的可控带宽所限定，用于这种测量的标准具正变得对误差更加敏感，这是因为所需的激光带宽趋近于和实际使用的标准具有同样的带通。例如在Cymer公司(通过本申请的转让成为所有者)近来推出的产品XLA100上，在板(on-board)带宽仪使用了带通约为0.12pm的标准具，不计带宽共振，激光器提供的输出通常是在约0.1pm和0.18pm之间。这种复杂性使被测量的激光发生多方面(例如在带宽方面)畸变，它现在或者不久将会使得对例如半极大值满本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光监控系统，包括：用来测量激光器发射的激光的光谱未知带宽的光谱仪，它包括：　光学带宽测量单元，它用来提供作为输出的测量参数，其表示被测光谱未知带宽的参数；报道参数计算单元，它可以按照如下公式，计算被测光谱未知带 宽的报道参数；报道参数（“ＲＰ”）＝Ａ＊（测量参数（“ＭＰ”））＋Ｃ其中ＲＰ和ＭＰ是不同类型的参数，而Ａ和Ｃ的数值则是根据所述光学带宽测量单元中ＭＰ对已知ＲＰ数值的光的响应的校准来确定的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：RJ拉法克，
申请(专利权)人：西默股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]