用于控制光带宽的方法和设备技术

一种设备包括：产生光束的光源、带宽测量系统、多个带宽致动系统，以及控制系统。每一个带宽致动系统都包括一个或多个带宽致动器，每一个带宽致动系统都连接到以光学方式耦合到所产生的光束的光学特征，并可操作以修改所连接的光学特征以选择所产生的光束的带宽范围内的一带宽。控制系统被连接到带宽测量系统以及多个带宽致动系统。控制系统被配置成基于所提供的带宽测量值和所选的目标带宽，在激活并操作第一带宽致动系统与激活并操作第二带宽致动系统之间切换，激活并操作第二带宽致动系统和激活并操作第一带宽致动系统是独立的且分开的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
所公开的主题涉及用于控制激光带宽的方法。
技术介绍
对诸如激光器之类的光源的带宽的准确了解在许多科学和工业应用中是重要的，诸如，例如，对于深紫外光(DUV)半导体光刻中的临界尺寸控制，其中，当衬底或晶片沿着光束的光轴轴向地移动时，通过由光源所产生的光束照射衬底或晶片。激光的带宽是从激光器输出的激光的强度谱的宽度，此宽度可以以激光的波长或频率给出。可以使用涉及光源谱的细节的任何合适的尺度或数学结构来估计激光的带宽。例如，可以使用在最大峰值强度的分数(X)时的光谱全宽(被称为FWXM)来估计激光带宽。作为另一个示例，可以使用包含集成光谱强度的分数(Y)的光谱宽度(被称为EY)来估计激 光带宽。
技术实现思路
在一个一般性的方面，一种方法包括产生光束；在第一带宽范围内启用对所产生的光束的带宽的控制，包括启用对第一带宽致动系统的激活和控制，所述第一带宽致动系统连接到第一光学特征，所述第一光学特征以光学方式耦合到所产生的光束；以及，在第二带宽范围内启用对所产生的光束的带宽的控制，包括启用对第二带宽致动系统的激活和控制，所述第二带宽致动系统连接到第二光学特征，所述第二光学特征以光学方式耦合到所产生的光束。第二带宽范围不同于第一带宽范围。各实现可包括下列特征中的一个或多个。例如，该方法也可以包括接收将所产生的光束的带宽从第一带宽范围改变为第二带宽范围的请求。该方法可包括响应于切换命令，在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换。该方法可包括在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换。该切换包括选择第二目标带宽信息；将所述第一带宽致动系统设置为第一固定状态；将带宽测量系统从第一配置切换到第二配置；当在所述第二配置中进行操作时，从所述带宽测量系统接收测量到的带宽信息；确定所述测量到的带宽信息是否匹配于所述第二目标带宽信息；以及，激活所述第二带宽致动系统，以使所述第二光学特征修改所产生的光束的带宽，直到确定所述测量到的带宽信息匹配于所述第二目标带宽信息为止。该方法可包括在将所述第一带宽致动系统设置为所述第一固定状态之前，存储有关所述第一带宽致动系统的一个或多个组件的状态的信息。第一固定状态可以是当接收到将所产生的光束的带宽从第一带宽范围改变为第二带宽范围的请求时所述第一带宽致动系统的状态。第一固定状态可以是根据当接收到将所产生的光束的带宽从第一带宽范围改变为第二带宽范围的请求时所述第一带宽致动系统的状态的函数而确定的。该方法可包括控制所述第二带宽致动系统，以降低所述测量到的带宽信息和所述第二目标带宽信息之间的绝对误差，直到接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围的请求为止。该方法可包括在将所述带宽测量系统从所述第一配置切换到所述第二配置之后，以重置模式来控制所述第二带宽致动系统。该方法可包括在接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围时，在所述第二范围内的带宽控制与所述第一范围内的带宽控制之间切换。切换包括选择第一目标带宽信息；将所述第二带宽致动系统设置为第二固定状态；将所述带宽测量系统从所述第二配置切换到所述第一配置；当在所述第一配置中进行操作时，从所述带宽测量系统接收测量到的带宽信息；确定所述测量到的带宽信息是否匹配于所述第一目标带宽信息；以及激活所述第一带宽致动系统，以使所述第一光学特征修改所产生的光束的所述带宽，直到确定所述测量到的带宽信息匹配于所述第一目标带宽信息为止。 第二固定状态可以是当接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围的请求时所述第二带宽致动系统的所述状态。第二固定状态可以是在校准期间预先确定的状态。该方法也可以包括控制所述第一带宽致动系统，以降低所述测量到的带宽信息和所述第一目标带宽信息之间的绝对误差，直到接收到将所产生的光束的带宽从所述第一带宽范围改变为所述第二带宽范围的请求为止。该方法也可以包括向所述带宽致动系统发送信号以返回到在将所述第一带宽致动系统设置为所述第一固定状态之前所存储的状态。该方法也可以包括在将所述带宽测量系统从所述第二配置切换到所述第一配置之后，以重置模式来控制所述第一带宽致动系统。该方法可包括在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换。在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换可包括将带宽测量系统从第一配置切换到第二配置。将带宽测量系统从第一配置切换到第二配置可包括从第一组校准变量切换到第二组校准变量。所述第一组校准变量可以是预先确定的，并被配置成提供一度量，所述度量被调节以估计所述第一带宽范围上的带宽；以及，所述第二组校准变量是预先确定的，并被配置成提供一度量，所述度量被调节以估计所述第二带宽范围上的带宽。光束可以通过产生激光束而产生。在另一一般性的方面，一种设备包括产生光束的光源；被配置成接收从所述光源输出的光束的一部分并被配置成测量所述光束部分的带宽并提供带宽测量值的带宽测量系统；多个带宽致动系统，每一个带宽致动系统都包括一个或多个带宽致动器，并且每一个带宽致动系统都连接到以光学方式耦合到所产生的光束的光学特征，并且每一个带宽致动系统都可操作以修改所连接的光学特征以选择所产生的光束的带宽范围内的一带宽；以及，连接到所述带宽测量系统以及所述多个带宽致动系统的控制系统。控制系统被配置成基于所提供的带宽测量值和选定的目标带宽，在激活并操作第一带宽致动系统与激活并操作第二带宽致动系统之间切换，激活并操作第二带宽致动系统是与激活并操作第一带宽致动系统独立地且分开地进行的。各实现可包括下列特征中的一个或多个。例如，该设备也可以包括目标带宽选择开关，该目标带宽选择开关被配置成设置在目标带宽，所述目标带宽位于从多个不同的目标带宽范围中选择的目标带宽范围之内。该设备可包括接收所产生的光束的光刻设备。光源可包括激光源，光束可以是激光束。光学特征中的至少一个可包括色散元件。光学特征中的至少一个可包括光束扩展器。在另--般的方面，控制脉冲激光光束的带宽的方法包括产生脉冲激光光束；从带宽测量系统接收所产生的激光束的测量到的带宽信息；以及，基于所述接收到的测量到的带宽信息，将所产生的激光束的带宽控制在多个带宽范围内，包括激活和控制多个带宽致动系统，每一个带宽致动系统都连接到以光学方式耦合到所产生的激光束的光学特征。多个范围中的每一个带宽范围都不同于所述多个范围中的每一个其他带宽范围。这样的带宽控制设备和方法可以被用来允许对较窄的带宽(例如，在低于O. 5微 微米(Pm)的范围内)和较宽的带宽(例如，在O. 5和I. 7pm之间的范围内)的激光带宽进行控制。附图说明图I是向诸如光刻机之类的设备提供输入的光照系统的框图；图2是图I的光照系统的带宽选择系统的框图；图3是可以被用于图I的光照系统中的示例性光源的框图；图4是图I的光照系统的控制系统所使用的控制方案的框图；图5是图I的光照系统中所使用的控制系统的框图；图6是用于在图I的光照系统中选择带宽的过程的流程图；图7是用于操作图I的光照系统的第一带宽致动系统的过程的流程图；图8是用于从图I的光照系统的第一带宽致动系统的主动控制切换到第二带宽致动系统的过程的流程图；图9是用于操作图I的光照系统的第二带宽致动系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.07 US 12/755,7721.ー种方法，包括产生光束；在第一带宽范围内启用对所产生的光束的带宽的控制，包括启用对第一带宽致动系统的激活和控制，所述第一带宽致动系统连接到以光学方式耦合到所产生的光束的第一光学特征；以及在第二带宽范围内启用对所产生的光束的带宽的控制，包括启用对第二带宽致动系统的激活和控制，所述第二带宽致动系统连接到以光学方式耦合到所产生的光束的第二光学特征；以及其中，所述第二带宽范围不同于所述第一带宽范围。2.如权利要求I所述的方法，其特征在于，还包括接收将所产生的光束的带宽从所述第一带宽范围改变为所述第二带宽范围的请求。3.如权利要求I所述的方法，其特征在于，还包括响应于切換命令，在所述第一范围内的带宽控制和所述第二范围内的带宽控制之间进行切換。4.如权利要求I所述的方法，其特征在于，还包括在所述第一范围内的带宽控制和所述第二范围内的带宽控制之间进行切換，其中，所述切换包括选择第二目标带宽信息；将所述第一带宽致动系统设置为第一固定状态；将带宽測量系统从第一配置切換到第二配置；从所述带宽测量系统接收測量到的带宽信息；确定所述测量到的带宽信息是否匹配于所述第二目标带宽信息；以及激活所述第二带宽致动系统，以使所述第二光学特征修改所产生的光束的带宽，直到确定所述测量到的带宽信息匹配于所述第二目标带宽信息为止。5.如权利要求4所述的方法，其特征在干，从所述带宽测量系统接收測量到的带宽信息包括当在所述第二配置中进行操作时接收所述测量到的带宽信息。6.如权利要求4所述的方法，其特征在干，还包括在将所述第一带宽致动系统设置为所述第一固定状态之前，存储与所述第一带宽致动系统的一个或多个组件的所述状态有关的信息。7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一固定状态是当接收到将所产生的光束的带宽从所述第一带宽范围改变为所述第二带宽范围的请求时所述第一带宽致动系统的状态。8.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一固定状态是根据当接收到将所产生的光束的带宽从所述第一带宽范围改变为所述第二带宽范围的请求时所述第一带宽致动系统的状态的函数而确定的。9.如权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括控制所述第二带宽致动系统，以降低測量到的带宽信息和所述第二目标带宽信息之间的绝对误差，直到接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围的请求为止。10.如权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括在将所述带宽测量系统从所述第一配置切換到所述第二配置之后，以重置模式控制所述第二带宽致动系统。11.如权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括在接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围的请求时在所述第二范围的带宽控制与所述第一范围内的带宽控制之间切换，切換包括 选择第一目标带宽信息； 将所述第二带宽致动系统设置为第二固定状态； 将所述带宽测量系统从所述第二配置切換到所述第一配置； 当在所述第一配置中进行操作吋，从所述带宽测量系统接收測量到的带宽信息；确定所述测量到的带宽信息是否匹配于所述第一目标带宽信息；以及激活所述第一带宽致动系统，以使所述第一光学特征修改所产生的光束的所述带宽，直到确定测量到的带宽信息匹配于所述第一目标带宽信息为止。12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述第二固定状态是当接收到将所产生...

【专利技术属性】
技术研发人员：K·M·奥布莱恩，F·B·特林特裘克，
申请(专利权)人：西默股份有限公司，
类型：
国别省市：