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基于改变频率的干涉测量法制造技术
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下载基于改变频率的干涉测量法的技术资料
文档序号:2509618
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一种干涉测量方法,使用标称为固定的(但未知并改变的)频率和相位角的激光器,例如,由于激光的漂移。以远大于物件相移的频率对干涉图周期性采样。使用相关算法从采样的图形再现波长。使用n桶算法确定相位角。当在全部多倍波长上确定全部复合信息后,使用常...
该专利属于克希瑞克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过克希瑞克斯公司授权不得商用。
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