干涉物镜和光干涉测量装置制造方法及图纸

干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光干涉测量装置，其用于使用由光干涉产生的干涉条纹的亮度信息进行测量，并且，本专利技术还涉及一种用于该光干涉测量装置的干涉物镜。
技术介绍
传统上，已知有一种光干涉测量装置，诸如三维测量装置，用于使用由光干涉产生的干涉条纹的亮度信息，精确地测量测量对象的三维形状。例如，在使用白光光源的光干涉测量装置中，在干涉光路和测量光路的光路长度彼此一致(match)的焦点位置中，波长的干涉条纹的峰值彼此叠加合成的干涉条纹的亮度变大。因此，根据光干涉测量装置，有可能获取干涉图像，其示出在改变参考光路或测量光路的光路长度的同时、干涉光强度在诸如CCD相机的成像器件的成像范围中的分布，并且，有可能通过在成像范围中的每个测量位置中检测干涉光强度处于峰值的焦点位置，来测量测量对象的三维形状。根据作为一种用于光干涉测量装置的干涉系统的mirau型干涉物镜，有必要相对地改变样品表面、以及参考镜的角度和倾斜方向，使得通过测量光路的光和通过参考光路的光产生适于测量的干涉本文档来自技高网...

【技术保护点】
干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述球面形内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。

【技术特征摘要】
2015.01.05 JP 2015-0000321.干涉物镜，包括：
物镜系统；
分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从
物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反
射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；
参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；
镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射
表面通过球面的中心；
支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表
面，其中所述球面形内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及
参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。
2.根据权利要求1所述的干涉物镜，还包括并入了支撑组件的镜筒，其
中
镜保持组件包括从球面形外表面伸出、且在其末梢端被提供有倾斜表面
的伸出部，

【专利技术属性】
技术研发人员：本桥研，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本;JP