薄膜厚度的检测装置制造方法及图纸

本申请提供了一种薄膜厚度的检测装置。该检测装置包括：公共电极部，包括至少一个ITO电极，各ITO电极包括至少一个ITO层；检测电极部，与公共电极部在第一方向上间隔设置，且检测电极部与公共电极部在第一方向上的间隔形成待测膜的检测通道，检测电极部包括至少一个检测电极，第一方向垂直于待测膜的移动方向且平行于各ITO层的厚度方向；检测电路，与检测电极部电连接，用于对检测电极部检测到的电信号转换为待测膜的厚度信息。该检测装置的制备成本低，制备周期短，更适合产业化，且能够广泛地应用在各个领域。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及薄膜厚度的检测领域，具体而言，涉及一种薄膜厚度的检测装置。
技术介绍
目前公开的利用平行板电容器静电感应原理的纸币厚度检测装置，采用的是印制线路板结构的公共电极，即在印制线路板表面设置敷铜层作为公共电极，由于印制线路板的制作较复杂，使得这种形式的公共电极存在制作过程复杂、制作周期长，制作成本高等问题。另外，采用印制线路板结构的公共电极的纸币厚度检测装置，为了走钞顺利，同时兼具防尘及保护电极的作用，通常会在公共电极的表面设置有玻璃基板，由于玻璃基板的厚度一般较大，这就增大了公共电极与检测电极的间距，从而降低纸币厚度检测装置对于纸币厚度信息的检测精度。采用印制线路板结构公共电极的厚度检测装置也存在体积大的问题，不利于金融设备整机的小型化发展。
技术实现思路
本申请的主要目的在于提供一种薄膜厚度的检测装置，以解决现有技术中厚度检测装置中的公共电极制作复杂的问题。为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种薄膜厚度的检测装置，上述检测装置包括：公共电极部，包括至少一个ITO电极，各上述ITO电极包括至少一个ITO层；检测电极部，与上述公共电极部在第一方向上间隔设置，且上述检测电极部与公共电极部在上述第一方向上的间隔形成待测膜的检测通道，上述检测电极部包括至少一个检测电极，上述第一方向垂直于上述待测膜的移动方向且平行于各上述ITO层的厚度方向；检测电路，与上述检测电极部电连接，用于对上述检测电极部检测到的电信号转换为上述待测膜的厚度信息。进一步地，上述公共电极部包括至少一个ITO电极组，各上述ITO电极组包括至少一个ITO电极。进一步地，第二方向与上述待测膜的移动方向相同，上述公共电极部包括至少两个ITO电极组，上述至少两个ITO电极组沿上述第二方向依次间隔排列，且至少两个相邻的上述ITO电极组中的上述ITO电极一一对应。进一步地，第三方向与上述第一方向垂直，且上述第三方向与上述待测膜的移动方向垂直，各上述ITO电极组包括至少两个沿上述第三方向间隔设置的ITO电极，各上述检测电极部包括至少一个检测电极组，各上述检测电极组包括至少两个沿上述第三方向间隔设置的检测电极，上述ITO电极与上述检测电极一一对应，且各上述检测电极在第一平面上的投影落在对应的上述ITO电极在上述第一平面上的投影内，上述第一平面为与上述第一方向垂直的平面。进一步地，上述检测装置还包括：第一基板，上述公共电极部设置在上述第一基板的第一表面上；第二基板，与上述第一基板在上述第一方向上间隔设置，且上述第二基板包括相对设置的第一表面与第二表面，上述第二基板的第二表面朝向上述第一基板的第一表面，上述检测电极部设置在上述第二基板的第二表面上，上述检测电路设置在上述第二基板的第一表面上，上述第一表面与上述第二表面均垂直于上述第一方向。进一步地，上述检测装置还包括：屏蔽电极，设置在上述第一基板的第一表面上，且围绕上述公共电极部设置。进一步地，上述检测装置还包括：保护膜，设置在各上述ITO电极的远离上述第一基板表面上以及上述屏蔽电极的远离上述第一基板的表面，或者设置在各上述ITO电极的裸露的表面上、上述屏蔽电极的裸露的表面上以及上述第一基板的裸露的表面上。进一步地，上述检测装置还包括：第一框体，具有第一容纳空间与第一开口，上述第一基板设置在上述第一容纳空间中，各上述ITO电极设置在上述第一基板的靠近上述第一开口的表面上；第二框体，具有第二容纳空间与第二开口，上述第二基板设置在上述第二容纳空间中，上述第一开口朝向上述第二开口设置，各上述检测电极设置在上述第二基板的靠近上述第二开口的表面上。进一步地，上述第一框体包括顺次连接的第一边框、第二边框与第三边框，其中，上述第一边框与上述第三边框平行，上述第二边框与上述第一边框以及上述第三边框垂直，上述第一基板设置在上述第一容纳空间中的靠近上述第二边框的一侧且与上述第二边框平行，各上述ITO电极设置在上述第一基板的远离上述第二边框的表面上。进一步地，上述第二框体包括顺次连接的第四边框、第五边框与第六边框，其中，上述第四边框与上述第六边框平行，上述第五边框与上述第四边框以及上述第六边框垂直，上述第二基板设置在上述第二容纳空间中的靠近上述第五边框的一侧且与上述第五边框平行，各上述检测电极设置在上述第二基板的远离上述第五边框的表面上。进一步地，上述检测装置包括第一导线与第二导线，上述公共电极部还包括：至少一个第一接触部，各上述第一接触部设置在ITO电极的侧面上，上述ITO电极通过上述第一接触部与上述第一导线电连接，上述ITO电极的侧面与上述ITO电极的第一表面相邻且垂直，上述ITO电极的第一表面与上述第一基板的第一表面接触设置；和/或至少一个第二接触部，各上述第二接触部设置在上述屏蔽电极的侧面上，上述屏蔽电极通过上述第二接触部与上述第二导线电连接，上述屏蔽电极的侧面与上述屏蔽电极的第一表面相邻且垂直，上述屏蔽电极的第一表面与上述第一基板的第一表面接触设置。进一步地，上述第一接触部和/或上述第二接触部为金属焊盘，上述第一导线和/或上述第二导线的一端焊接在上述金属焊盘上。进一步地，上述金属焊盘的材料包括导电银浆。进一步地，上述第一接触部为ITO电极延伸部，和/或上述第二接触部为屏蔽电极延伸部。进一步地，上述检测装置包括第一导线与第二导线，上述检测装置还包括：第一电极连接部，一端与上述ITO电极电连接，另一端通过上述第一导线与信号源电连接；第二电极连接部，一端与上述屏蔽电极电连接，另一端通过上述第二导线接地。进一步地，上述第一电极连接部和/或上述第二电极连接部为金属夹，各上述金属夹的一端夹住上述ITO电极或上述屏蔽电极。进一步地，上述第一电极连接部和/或上述第二电极连接部为导电橡胶部，导电橡胶部与上述ITO电极以及上述第一导线电连接，或者导电橡胶部与上述屏蔽电极以及上述第二导线电连接。进一步地，上述检测装置包括第一导线与第二导线，上述检测装置还包括：第一框体，具有第一容纳空间与第一开口，上述第一基板设置在上述第一容纳空间中，各上述ITO电极设置在上述第一基板的靠近上述第一开口的表面上；导线槽，开设在上述第一框体上，上述第一导线的一端与上述ITO电极电连接，上述第一导线的另一端穿过上述导线槽与信号源电连接，和/或上述第二导线的一端与上述屏蔽电极电连接，上述第二导线的另一端穿过上述导线槽接地。应用本申请的技术方案，在ITO电极上施加脉冲信号，检测电极上就会感应出电压信号，当待检测的纸币从检测电极上方通过时，检测电极上的电压就会发生变化，电压的变化大小与所通过的待测膜的性质和厚度有关，由于检测电路与检测电极电连接，并且检测电路23的电路结构能够对将检测电极获得的电信号进行处理，转变成待待测膜的厚度，因此，检测装置能够检测出该纸币的厚度，进而得出纸币的厚度是否异常，其表面是否有异物、缺损或者折叠。相对于现有的印制线路板结构的公共电极，本申请的电极的制作过程一般先通过真空溅射、化学气象沉积或高温烧结等方式设置ITO层，然后通过刻蚀形成ITO电极，其过程简单，制作成本低，制作周期短，更适合产业化，且能够广泛地应用在各个领域。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜厚度的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：公共电极部(12)，包括至少一个ITO电极(121)，各所述ITO电极(121)包括至少一个ITO层；检测电极部(22)，与所述公共电极部(12)在第一方向上间隔设置，且所述检测电极部(22)与公共电极部(12)在所述第一方向上的间隔形成待测膜的检测通道，所述检测电极部(22)包括至少一个检测电极(221)，所述第一方向垂直于所述待测膜的移动方向且平行于各所述ITO层的厚度方向；以及检测电路(23)，与所述检测电极部(22)电连接，用于对所述检测电极部(22)检测到的电信号转换为所述待测膜的厚度信息。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜厚度的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：公共电极部(12)，包括至少一个ITO电极(121)，各所述ITO电极(121)包括至少一个ITO层；检测电极部(22)，与所述公共电极部(12)在第一方向上间隔设置，且所述检测电极部(22)与公共电极部(12)在所述第一方向上的间隔形成待测膜的检测通道，所述检测电极部(22)包括至少一个检测电极(221)，所述第一方向垂直于所述待测膜的移动方向且平行于各所述ITO层的厚度方向；以及检测电路(23)，与所述检测电极部(22)电连接，用于对所述检测电极部(22)检测到的电信号转换为所述待测膜的厚度信息。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述公共电极部(12)包括至少一个ITO电极组(120)，各所述ITO电极组(120)包括至少一个ITO电极(121)。3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，第二方向与所述待测膜的移动方向相同，所述公共电极部(12)包括至少两个ITO电极组(120)，所述至少两个ITO电极组(120)沿所述第二方向依次间隔排列，且至少两个相邻的所述ITO电极组(120)中的所述ITO电极(121)一一对应。4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，第三方向与所述第一方向垂直，且所述第三方向与所述待测膜的移动方向垂直，各所述ITO电极组(120)包括至少两个沿所述第三方向间隔设置的ITO电极(121)，各所述检测电极部(22)包括至少一个检测电极组(220)，各所述检测电极组(220)包括至少两个沿所述第三方向间隔设置的检测电极(221)，所述ITO电极(121)与所述检测电极(221)一一对应，且各所述检测电极(221)在第一平面上的投影落在对应的所述ITO电极(121)在所述第一平面上的投影内，所述第一平面为与所述第一方向垂直的平面。5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：第一基板(11)，所述公共电极部(12)设置在所述第一基板(11)的第一表面上；以及第二基板(21)，与所述第一基板(11)在所述第一方向上间隔设置，且所述第二基板(21)包括相对设置的第一表面与第二表面，所述第二基板(21)的第二表面朝向所述第一基板(11)的第一表面，所述检测电极部(22)设置在所述第二基板(21)的第二表面上，所述检测电路(23)设置在所述第二基板(21)的第一表面上，所述第一表面与所述第二表面均垂直于所述第一方向。6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：屏蔽电极(13)，设置在所述第一基板(11)的第一表面上，且围绕所述公共电极部(12)设置。7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：保护膜(14)，设置在各所述ITO电极(121)的远离所述第一基板(11)表面上以及所述屏蔽电极(13)的远离所述第一基板(11)的表面，或者设置在各所述ITO电极(121)的裸露的表面上、所述屏蔽电极(13)的裸露的表面上以及所述第一基板(11)的裸露的表面上。8.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：第一框体(15)，具有第一容纳空间与第一开口，所述第一基板(11)设置在所述第一容纳空间中，各所述ITO电极(121)设置在所述第一基板(11)的靠近所述第一开口的表面上；以及第二框体(24)，具有第二容纳空间与第二开口，所述第二基板(21)设置在所述第二容纳空间中，所述第一开口朝向所述第二开口设置，各所述检测电极(221)设置在所述第二基板(21)的靠近所述第二开口的表面上。9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述第一框体(15)包括顺次连接的第一边框(151)、第二边框(152)与第三边框(153)，其中，所述第一边框(151)与所述第三边框(153)平行，所述第二边框(152)与所述第一边框(...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚务昌，宋荣鑫，
申请(专利权)人：威海华菱光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37