【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种薄膜厚度的测试方法，其特征在于，包括：将测试掩膜覆盖在基板的表面上，所述测试掩膜具有多个镂空；对所述覆盖有测试掩膜的基板进行溅射镀膜；移除所述测试掩膜，利用探针法进行测量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王灿，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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