基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统及方法技术方案

技术编号:13341517 阅读:262 留言:0更新日期:2016-07-13 17:48
本发明专利技术公开了一种基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,包括CdS薄膜传动系统、计算机及设于上述传动系统上方的光源和拍摄像机;所述计算机内设置有图像采集卡,并具有将CdS薄膜颜色信息转换为厚度信息的功能;当传动系统将CdS薄膜传送至拍摄相机正下方时,拍摄相机采集CdS薄膜的图像,并传送至计算机,计算机获得相应厚度信息。本发明专利技术的系统由于采用的是反射光路,这将减小CdS薄膜底层的影响,也可运用于CdS薄膜底层为不透明的情形,还具有检测速度快、检测精度高的特点;能有效提高太阳电池的生产效率,从而降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,其特征在于,包括CdS薄膜传动系统、计算机及设于上述传动系统上方的光源和拍摄像机;所述计算机内设置有图像采集卡,并具有将CdS薄膜颜色信息转换为厚度信息的功能;当传动系统将CdS薄膜传送至拍摄相机正下方时,拍摄相机采集CdS薄膜的图像,并传送至计算机,计算机获得相应厚度信息。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄勇彪林文宝刘海燕涂代旺郑林芬
申请(专利权)人:深圳市众诚达应用材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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