用于测量台位移的具有波罗棱镜的外差激光干涉仪制造技术

技术编号:2509464 阅读:222 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种用于测量沿第一方向的位移的干涉仪系统,包括:(1)安装到台的测量脊镜(例如波罗棱镜),所述台可以沿所述第一方向平移;(2)偏振束分光器,其具有(a)与所述测量脊镜相对的第一表面和(b)与所述第一表面相反的第二表面;(3)位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第一表面之间的第一波片;和(4)与所述偏振束分光器的所述第二表面相对地定位的重定向镜。通过所述系统的测量路径仅包括基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界定的平面中的部分。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于测量台位移的具有波罗棱镜的外差激光干涉仪
技术介绍
标准的平面镜干涉仪构造可以用于台位移和旋转的多轴测量。但是,此构造对旋转测量具有缺点。当台旋转时,测量束相对于检测器上的参考束位置平移或者偏离。参考束与测量束的重叠量随此偏离而减小。任何减小此偏离的方案都具有优良的动态范围。除了建立偏离外,台绕任意轴的旋转还可以建立参考束和测量束之间的角度(也称为“束指向”)。两种效果都限制了测量的动态范围。已经以多种形式实现角反射器和脊反射器(roof reflector),来最小化束指向并扩展动态范围。在过去已经实现了双程“脊”镜干涉仪设计。美国专利No.6,208,424(“de Groot”)公开了示例性的双程脊镜设计。此de Groot设计要求台上有很大空间来测量一个轴,因为测量束在垂直(Z方向)和水平(Y方向)上都被分开以在四个不同位置处投射到脊镜上。这对晶片光刻是不期望的特征。当台尺寸要求很大时,被测量要求所限制的台更大更重。更重的台可能又限制晶片产量。一般而言,使位移测量所要求的台上空间最小化可以有助于晶片产量。由此,所需要的是在减小台尺寸要求的同时最小化参考本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种系统,用于测量沿第一方向的位移,包括:安装到台的测量脊镜,所述台可以沿所述第一方向平移;偏振束分光器,其包括与所述测量脊镜相对的第一表面和与所述第一表面相反的第二表面;位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第一 表面之间的第一波片,其中所述第一波片至少部分地跨越所述偏振束分光器的所述第一表面而延伸;与所述偏振束分光器的所述第二表面相对地定位的重定向镜,其中通过所述系统的测量路径仅包括基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界 定的平面中的部分。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:W克莱施卢赫特尔L哈克查李
申请(专利权)人:安捷伦科技有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1