【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多层膜参数测量领域，涉及采用衍射仪测量多层膜膜厚技术。
技术介绍
目前，利用X射线衍射仪可以测量等周期多层膜的参数包括周期厚度、界面粗糙度、膜层材料的平均实部折射率。X射线衍射仪包括X射线光源1；样品2；接收器3；X射线衍射仪测量等周期多层膜周期厚度的基本原理当X射线入射到多层膜时，在多层膜的各个界面产生反射，而这些反射光又相互干涉，在每个周期所引入的位相延迟等于2π整数倍时，各个反射光能够干涉加强并得到极大值，此时满足如下的关系式nλ=2dsinθ2δ-δ2sin2θ---(1)]]>m为干涉级次，λ为X射线的波长，d为周期厚度，θ为掠入射角，δ为平均折射率。将(1)式近似处理得到mλ2sinθ=d-dδsin2θ---(2)]]>从(2)式可以看到，对于某一给定周期厚度的等周期多层膜，mλ/2sinθ与1/sin2θ成线性关系。如果能够获得衍射级次m以...
【技术保护点】
用衍射仪测量等周期多层膜膜厚随机变化量的方法，其特征在于：ａ、首先在衍射仪上，利用测量多层膜周期厚度的方法对多层膜进行测量，得到记录有反射率及与其相对应的掠入射角度θ的数据文件；ｂ、寻找步骤ａ中数据文件的一个峰值反射率Ｒ及与其相对应 的掠入射角度θ和衍射级ｍ，然后再根据多层膜制备时确定的比值γ、周期数Ｎ和单界面反射系数ｒ↓［１２］，然后利用公式：α／２＝ｍγπ的得到α／２的数值，将各参数带入公式：Ｒ＝ｒ↓［１２］↑［２］４Ｎ↑［２］ｅ↑［－〈ｍ↑［２］（Δα）↑［２ ］〉］ｓｉｎ↑［４］（α／２），计算得到Δα的值，最后再利用公式：Δｄ＝Δαλ／４πｓｉ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨雄，姚志华，张立超，金卫华，金春水，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]
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