检测基板表面膜厚的方法技术

本发明专利技术公开了一种检测基板表面膜厚的方法，其使用终点测定传感器检测基板表面膜厚，该终点测定传感器的投光侧到中心通过线的距离及受光侧到中心通过线的距离均为３ｍｍ。其减小ＥＰＳ和基板间的距离，从而减少ＥＰＳ和基板之间的气泡，克服了时间波动较大的缺陷，具有结构简单、成本相对较低等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器制造工艺湿刻设备领域，特别涉及一种。
技术介绍
如图1所示，液晶显示器制造工艺湿刻设备通过终点测定传感器(EndPoint Sensor EPS)检测基板表面的膜厚，EPS传感器检测基板的原理是通过投光侧4的发光二极管(LED)元件发出光线，受光侧5把透过基板的光线的光量转化成电压，根据电压值的大小判断基板表面的膜厚状况，现有的传感器检测基板表面的膜厚时，EPS的投光侧4、受光侧5和中心通过线6的距离都是5mm，存在时间波动较大的缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供了一种。 本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的一种，其使用终点测定传感器检测基板表面膜厚，该终点测定传感器的投光侧到中心通过线的距离及受光侧到中心通过线的距离均为3mm。 本专利技术的积极进步效果在于其减小EPS和基板间的距离，从而减少EPS和基板之间的气泡，克服了时间波动较大的缺陷，具有结构简单、成本相对较低等优点。附图说明图1为常见终点测定传感器的结构示意图。 图2为本专利技术一较佳实施例的结构示意图。具体实施方式下面结合附图给出本专利技术较佳实施例，以详细说明本专利技术的技术方案。 一种，其使用终点测定传感器检测基板表面膜厚，如图2所示，EPS传感器检测基板的原理是通过投光侧1的LED元件发出光线，受光侧2把透过基板的光线的光量转化成电压，根据电压值的大小判断基板表面的膜厚状况。 该终点测定传感器的投光侧1到中心通过线3的距离与受光侧2到中心通过线3的距离均为3mm，从而减少EPS和基板之间的气泡，使EPS的波动得到了很好的改善。 Cr-WET#1改善前后的数据比较从3σ的比较以及上表3可以得出，EPS的波动得到了很好的改善。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测基板表面膜厚的方法，其使用终点测定传感器检测基板表面膜厚，其特征在于，该终点测定传感器的投光侧到中心通过线的距离及受光侧到中心通过线的距离均为３ｍｍ。

【技术特征摘要】
1.一种检测基板表面膜厚的方法，其使用终点测定传感器检测基板表面膜厚，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢宇，
申请(专利权)人：上海广电NEC液晶显示器有限公司，
类型：发明
国别省市：31[]