蒸发镀膜系统技术方案

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种蒸发镀膜系统，一种蒸发镀膜系统包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置，蒸发镀膜单元设置有多个，多个蒸发镀膜单元分别通过管道与抽真空装置连通；各管道上分别设置有阀门组件，且用于控制蒸发镀膜单元与抽真空装置的连通与否。本申请中蒸发镀膜单元设置有多个，分别通过管道与抽真空装置连接，即利用一个抽真空装置可以同时对多个蒸发镀膜单元抽真空，从而提高蒸发镀膜的效率。另外，相比于现有技术中一个蒸发镀膜单元与一个抽真空装置配套使用，本申请不仅节省了设备成本，而且节省了占地面积。

Evaporation coating system

【技术实现步骤摘要】
蒸发镀膜系统
本申请属于真空镀膜
，尤其是涉及蒸发镀膜系统。
技术介绍
蒸发镀膜装置在进行蒸发镀膜的过程中，首先需要对蒸发镀膜装置进行抽真空处理，现有技术中的蒸发镀膜装置与抽真空装置一一对应配合使用，即一个抽真空装置只为一个蒸发镀膜装置进行抽真空，因此抽真空装置的利用率低；且当设置多个蒸发镀膜装置时，由于每个蒸发镀膜装置配设一个抽真空装置，因此设备成本高、占地面积大。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种蒸发镀膜系统，在一定程度上以解决现有技术中，蒸发镀膜系统的抽真空装置利用率低，且设备成本高、占地面积大的技术问题。本申请提供一种蒸发镀膜系统，包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置；所述蒸发镀膜单元设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通；各所述管道上分别设置有阀门组件，且用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否。在上述方案中，进一步地，多个所述蒸发镀膜单元环绕所述抽真空装置设置。在上述方案中，进一步地，所述蒸发镀膜单元包括镀膜室以及设置在所述镀膜室底部的冷凝泵，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发镀膜系统，其特征在于，包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置；/n所述蒸发镀膜单元设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通；各所述管道上分别设置有阀门组件，用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否；/n所述蒸发镀膜单元包括镀膜室以及设置在所述镀膜室底部的冷凝泵，所述冷凝泵与所述镀膜室相连通；/n所述抽真空装置包括旋片泵以及罗茨泵；/n所述旋片泵的连接端口上设置有第一管接件，所述旋片泵通过所述第一管接件与所述罗茨泵的第一连接端口相连通；所述罗茨泵的第二连接端口上设置有第二管接件，所述第二管接件上设置有多个镀膜室接口，多个所述镀膜室接口一一对应地连通多个所述镀...

【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜系统，其特征在于，包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置；
所述蒸发镀膜单元设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通；各所述管道上分别设置有阀门组件，用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否；
所述蒸发镀膜单元包括镀膜室以及设置在所述镀膜室底部的冷凝泵，所述冷凝泵与所述镀膜室相连通；
所述抽真空装置包括旋片泵以及罗茨泵；
所述旋片泵的连接端口上设置有第一管接件，所述旋片泵通过所述第一管接件与所述罗茨泵的第一连接端口相连通；所述罗茨泵的第二连接端口上设置有第二管接件，所述第二管接件上设置有多个镀膜室接口，多个所述镀膜室接口一一对应地连通多个所述镀膜室；
所述第一管接件上设置有多个管接接口，其中一个所述管接接口通过管道与所述罗茨泵相连通，其余所述管接接口一一对应连通地连通多个所述冷凝泵；
所述冷凝泵与所述镀膜室的连接处设置有气动插板阀，所述气动插板阀用于控制所述冷凝泵与所述镀膜室的连通与否；每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，闫超颖，粱惠朋，汪友林，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21