蒸发镀膜系统技术方案

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种蒸发镀膜系统，一种蒸发镀膜系统包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置，蒸发镀膜单元设置有多个，多个蒸发镀膜单元分别通过管道与抽真空装置连通；各管道上分别设置有阀门组件，且用于控制蒸发镀膜单元与抽真空装置的连通与否。本申请中蒸发镀膜单元设置有多个，分别通过管道与抽真空装置连接，即利用一个抽真空装置可以同时对多个蒸发镀膜单元抽真空，从而提高蒸发镀膜的效率。另外，相比于现有技术中一个蒸发镀膜单元与一个抽真空装置配套使用，本申请不仅节省了设备成本，而且节省了占地面积。

Evaporation coating system

【技术实现步骤摘要】
蒸发镀膜系统
本申请属于真空镀膜
，尤其是涉及蒸发镀膜系统。
技术介绍
蒸发镀膜装置在进行蒸发镀膜的过程中，首先需要对蒸发镀膜装置进行抽真空处理，现有技术中的蒸发镀膜装置与抽真空装置一一对应配合使用，即一个抽真空装置只为一个蒸发镀膜装置进行抽真空，因此抽真空装置的利用率低；且当设置多个蒸发镀膜装置时，由于每个蒸发镀膜装置配设一个抽真空装置，因此设备成本高、占地面积大。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种蒸发镀膜系统，在一定程度上以解决现有技术中，蒸发镀膜系统的抽真空装置利用率低，且设备成本高、占地面积大的技术问题。本申请提供一种蒸发镀膜系统，包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置；所述蒸发镀膜单元设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通；各所述管道上分别设置有阀门组件，且用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否。在上述方案中，进一步地，多个所述蒸发镀膜单元环绕所述抽真空装置设置。在上述方案中，进一步地，所述蒸发镀膜单元包括镀膜室以及设置在所述镀膜室底部的冷凝泵，所述冷凝泵与所述镀膜室相连通。在上述方案中，进一步地，所述抽真空装置包括旋片泵以及罗茨泵；所述旋片泵的连接端口上设置有第一管接件，所述旋片泵通过所述第一管接件与所述罗茨泵的第一连接端口相连通；所述罗茨泵的第二连接端口上设置有第二管接件，所述第二管接件上设置有多个镀膜室接口，多个所述镀膜室接口一一对应地连通多个所述镀膜室。在上述方案中，进一步地，所述第一管接件上设置有多个管接接口，其中一个所述管接接口通过管道与所述罗茨泵相连通，其余所述管接接口一一对应连通地连通多个所述冷凝泵。在上述方案中，进一步地，所述冷凝泵与所述镀膜室的连接处设置有气动插板阀，所述气动插板阀用于控制所述冷凝泵与所述镀膜室的连通与否。在上述方案中，进一步地，每个所述镀膜室的底部的所述冷凝泵的数量为多个。在上述方案中，进一步地，本申请还包括支撑组件，所述支撑组件设置在所述镀膜室的下方，用于支撑所述镀膜室；所述支撑组件内形成有容纳空间，所述容纳空间用于容纳所述冷凝泵。在上述方案中，进一步地，所述镀膜室内部设置有电子枪、坩埚组件以及加热件；所述坩埚组件用于盛装镀膜物料；所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，用于向所述坩埚组件内的物料发射电子束；所述加热件用于加热所述坩埚组件。在上述方案中，进一步地，所述镀膜室内设置有旋转架，所述旋转架用于承载待铸件并带动待铸件旋转；所述旋转架包括固定轴以及设置在所述固定轴上的承载件，所述待铸件能够悬挂于所述承载件上。与现有技术相比较，本申请的有益效果在于：本申请提供一种蒸发镀膜系统，包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置；所述蒸发镀膜单元设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通；各所述管道上分别设置有阀门组件，且用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否。一方面，本申请中蒸发镀膜单元设置有多个，分别通过管道与抽真空装置连接，即利用一个抽真空装置可以同时对多个蒸发镀膜单元抽真空，从而提供蒸发镀膜的效率，另外，相比于现有技术中，一个蒸发镀膜单元与一个抽真空装置配套使用，本申请不仅节省了设备成本，而且节省了占地面积。另一方面，本申请中在管道上设置有阀门组件，利用阀门组件控制蒸发镀膜单元与抽真空装置的连通与否，从而可以选择性地决定对几个蒸发镀膜室进行抽真空。附图说明为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统第一种结构示意图；图2为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统第二种结构示意图；图3为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统第三种结构示意图；图4为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统在第一种结构的俯视图。图中：100-蒸发镀膜单元；101-镀膜室；102-冷凝泵；103-镀膜室接口；104-阀门组件；105-气动插板阀；106-第一冷凝泵；107-第二冷凝泵；200-抽真空装置；201-旋片泵；202-罗茨泵；203-第一管接件；204-第二管接件；205-管接接口；300-支撑架；301-脚踏梯；302-电子枪；303-坩埚组件；304-固定轴；305-承载件；306-观察窗。具体实施方式下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。结合图1-图4，其中，图1为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统第一种结构示意图；图2为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统第二种结构示意图；图3为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统第三种结构示意图；图4为本申请实施例提供的蒸发镀膜系统在第一种情况下的俯视图。本申请提供一种蒸发镀膜系统，包括蒸发镀膜单元100以及抽真空装置200；所述蒸发镀膜单元100设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元100分别通过管道与所述抽真空装置200连通；各所述管道上分别设置有阀门组件104，且用于控制所述蒸发镀膜单元100与所述抽真空装置200的连通与否。一方面，本申请中蒸发镀膜单元100设置有多个，分别通过管道与抽真空装置200连接，即利用一个抽真空装置200可以实现同时对多个蒸发镀膜单元100抽真空，从而提高蒸发镀膜的效率，另外，相比于现有技术中，一个蒸发镀膜单元100与一个抽真空装置200配套使用，本申请利用一个抽真空装置200与多个蒸发镀膜单元100配合使用，不仅节省了设备成本，而且节省了占地面积。另一方面，本申请中在管道上设置有阀门组件104，利用阀门组件104控制蒸发镀膜单元100本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发镀膜系统，其特征在于，包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置；/n所述蒸发镀膜单元设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通；各所述管道上分别设置有阀门组件，用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否；/n所述蒸发镀膜单元包括镀膜室以及设置在所述镀膜室底部的冷凝泵，所述冷凝泵与所述镀膜室相连通；/n所述抽真空装置包括旋片泵以及罗茨泵；/n所述旋片泵的连接端口上设置有第一管接件，所述旋片泵通过所述第一管接件与所述罗茨泵的第一连接端口相连通；所述罗茨泵的第二连接端口上设置有第二管接件，所述第二管接件上设置有多个镀膜室接口，多个所述镀膜室接口一一对应地连通多个所述镀膜室；/n所述第一管接件上设置有多个管接接口，其中一个所述管接接口通过管道与所述罗茨泵相连通，其余所述管接接口一一对应连通地连通多个所述冷凝泵；/n所述冷凝泵与所述镀膜室的连接处设置有气动插板阀，所述气动插板阀用于控制所述冷凝泵与所述镀膜室的连通与否；每个所述镀膜室的底部的所述冷凝泵的数量为多个。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜系统，其特征在于，包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置；
所述蒸发镀膜单元设置有多个，多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通；各所述管道上分别设置有阀门组件，用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否；
所述蒸发镀膜单元包括镀膜室以及设置在所述镀膜室底部的冷凝泵，所述冷凝泵与所述镀膜室相连通；
所述抽真空装置包括旋片泵以及罗茨泵；
所述旋片泵的连接端口上设置有第一管接件，所述旋片泵通过所述第一管接件与所述罗茨泵的第一连接端口相连通；所述罗茨泵的第二连接端口上设置有第二管接件，所述第二管接件上设置有多个镀膜室接口，多个所述镀膜室接口一一对应地连通多个所述镀膜室；
所述第一管接件上设置有多个管接接口，其中一个所述管接接口通过管道与所述罗茨泵相连通，其余所述管接接口一一对应连通地连通多个所述冷凝泵；
所述冷凝泵与所述镀膜室的连接处设置有气动插板阀，所述气动插板阀用于控制所述冷凝泵与所述镀膜室的连通与否；每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，闫超颖，粱惠朋，汪友林，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21