下载蒸发镀膜系统的技术资料

文档序号:24651526

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本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种蒸发镀膜系统,一种蒸发镀膜系统包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置,蒸发镀膜单元设置有多个,多个蒸发镀膜单元分别通过管道与抽真空装置连通;各管道上分别设置有阀门组件,且用于控制蒸发镀膜单元与抽真空装置的连...
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