一种真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜设备，包括镀膜机；镀膜机底部设有出气管；出气管上设有第一连接套；第一连接套上设有第二连接套；第二连接套中设有顶盖，顶盖与第一连接套之间通过磁吸连接；第二连接套远离镀膜机一侧设有抽气管；抽气管远离第二连接套一侧设有真空泵；抽气管内靠近真空泵一侧设有第一过滤网；抽气管远离镀膜机一侧设有沉降组件；密封性良好，防止镀膜机内真空环境发生变化，保证镀膜过程的正常进行。

A vacuum coating equipment

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备
本技术涉及真空镀膜领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜机要求在真空环境下进行镀膜，在镀膜室进行蒸镀后，镀膜室中残留的部分未蒸馏到薄膜上的蒸汽遇冷会形成粉尘，而粉尘在别真空泵抽走后，会堵塞真空泵，影响真空泵的使用以及容易损坏真空泵。现有的真空镀膜机，在除粉尘时，多利用负压作用将出气口上的顶盖打开，并利用弹簧的弹力盖紧顶盖，但在打开时需要较大的压力才能顶出顶盖，而仅通过弹簧盖紧顶盖，容易出现盖不紧的情况，导致镀膜机内真空度不够，影响镀膜的过程。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种密封性良好且能够除尘的真空镀膜设备。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种真空镀膜设备，包括镀膜机；所述镀膜机底部设有出气管；所述出气管上设有第一连接套；所述第一连接套上设有第二连接套；所述第二连接套中设有顶盖，所述顶盖与所述第一连接套之间通过磁吸连接；所述第二连接套远离所述镀膜机一侧设有抽气管；所述抽气管远离所述第二连接套一侧设有真空泵；所述抽气管内靠近所述真空泵一侧设有第一过滤网；所述抽气管远离所述镀膜机一侧设有沉降组件。进一步地，所述第一连接套远离所述镀膜机一侧设有第一安装位；所述第一安装位位于所述出气管两侧；所述第一安装位内固定有电磁铁；所述顶盖靠近所述镀膜机一侧设有第二安装位；所述第二安装位与所述第一安装位位置相对应；所述第二安装位内固定有磁片。进一步地，所述沉降组件包括沉降管、挤压管、气缸及水箱；所述沉降管安装在所述抽气管上；所述挤压管安装在所述沉降管远离所述真空泵的侧壁上、且所述挤压管与所述沉降管之间连通；所述水箱安装在所述真空泵与所述挤压管中间、且所述水箱与所述挤压管之间连通；所述气缸安装在所述挤压管远离所述沉降管一侧；所述挤压管内设有活塞；所述气缸的伸缩轴穿过所述挤压管并与所述活塞连接。进一步地，所述沉降管远离所述挤压管一侧设有出水口；所述出水口上设有塞盖；所述挤压管靠近所述沉降管处设有第二过滤网。进一步地，所述顶盖侧壁设有第一凸块；所述第二连接套内侧壁靠近所述顶盖处设有第一凹槽；所述第一凸块嵌于第一凹槽中；所述顶盖远离所述镀膜机一侧与所述第一凹槽靠近抽气管一侧通过弹簧连接。进一步地，所述顶盖远离所述镀膜机一侧设有动触点；所述第二连接套内侧壁上设有静触点，所述静触点位于所述第一凹槽与所述抽气管之间；所述动触点与外部电源电性连接；所述静触点与气缸电性连接。进一步地，所述镀膜机靠近所述出气管的侧壁上设有开关及换向器；所述开关分别与所述换向器及所述真空泵电性连接；所述换向器与所述电磁铁电性连接。进一步地，所述顶盖侧壁上设有凹孔。本技术的有益效果在于：通过设置电磁铁与磁片，在进行镀膜机内真空抽气时，按下开关，电磁铁通电产生与磁铁相同的磁极，利用磁铁的原理，配合负压的作用，打开顶盖，使得气体从抽气管排出，随后反方向按下开关，电磁铁在换向器的作用下改变电流方向，磁极改变，与磁片的磁极相反，在弹簧的推动下，顶盖紧紧盖在出气管口上，密封性良好，防止镀膜机内真空环境发生变化，保证镀膜过程的正常进行。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，下面描述中的附图仅仅是本技术的部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图：图1为本实施例中一种真空镀膜设备的主视示意图；图2为本实施例中图1中A处的放大示意图；图3为本实施例中图1中B处的放大示意图；图4为本实施例中顶盖的结构示意图。具体实施方式为了使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术的部分实施例，而不是全部实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。本技术较佳实施例的如图1和图2所示，构造一种真空镀膜设备，包括镀膜机1；镀膜机1底部设有出气管11；出气管11上设有第一连接套12；第一连接套12上设有第二连接套2；第二连接套2中设有顶盖22，顶盖22与第一连接套12之间通过磁吸连接；第二连接套2远离镀膜机1一侧设有抽气管3；抽气管3远离第二连接套2一侧设有真空泵4；抽气管3内靠近真空泵4一侧设有第一过滤网41；抽气管3远离镀膜机1一侧设有沉降组件；在抽真空时，按下开关13，启动真空泵4，电磁铁122通电产生与磁片223相同的磁性，利用磁铁的原理，电磁铁122顶出磁片223，顶盖22离开出气管11口，空气及粉尘从出气管11排出，当顶盖22的动触点224与静触点123接触时，气缸53通电，伸出伸缩轴，利用空气压力将挤压管52中的水喷出，粉尘遇水沉降落入沉降管51底部，镀膜机1内达到相应的真空度时，反方向按下开关13，电磁铁122在换向器的作用下电流改变，磁极改变，产生与磁片223相反的磁极，电磁铁122与磁片223相吸，此时真空泵4断电，动、静触点断开，气缸53断电，顶盖22紧紧地盖在出气管11口上。上述实施例中，开关13为双向开关，往一方向按下时，真空泵4与电磁铁122均通电，往另一方向按下时，真空泵4断电，电磁铁122在换向器的作用下电流方向发生改变，产生相反的磁极。在进一步的实施例中，结合图2可得，第一连接套12远离镀膜机1一侧设有第一安装位121；第一安装位121位于出气管11两侧；第一安装位121内固定有电磁铁122；顶盖22靠近镀膜机1一侧设有第二安装位222；第二安装位222与第一安装位121位置相对应；第二安装位222内固定有磁片223；电磁铁122与磁片223分别通过胶水固定在第一安装位121以及第二安装位222中；利用磁铁“同极相斥、异极相吸”的原理，控制顶盖22的关闭和打开。在进一步的实施例中，结合图1可得，沉降组件包括沉降管51、挤压管52、气缸53及水箱55；沉降管51安装在抽气管3上；挤压管52安装在沉降管51远离真空泵4的侧壁上、且挤压管52与沉降管51之间连通；水箱55安装在真空泵4与挤压管52中间、且水箱55与挤压管52之间连通；气缸53安装在挤压管52远离沉降管51一侧；挤压管52内设有活塞54；气缸53的伸缩轴穿过挤压管52并与活塞54连接；通过挤压活塞54，对挤压管52内的水挤压，使其喷出到沉降管51中，沉降粉尘。在进一步的实施例中，结合图1和图3可得，沉降管51远离挤压管52一侧设有出水口；出水口上设有塞盖511；挤压管52靠近沉降管51处设有第二过滤网521；当沉降管51内水过多时，打开塞盖511排出废水及粉尘，第二过滤网521用于防止粉尘进行挤压管52中污染水源。在进一步的实施例中，结合图2所示，顶盖22侧壁设有第一凸块221；第二连接套2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于：包括镀膜机；所述镀膜机底部设有出气管；所述出气管上设有第一连接套；所述第一连接套上设有第二连接套；所述第二连接套中设有顶盖，所述顶盖与所述第一连接套之间通过磁吸连接；所述第二连接套远离所述镀膜机一侧设有抽气管；所述抽气管远离所述第二连接套一侧设有真空泵；所述抽气管内靠近所述真空泵一侧设有第一过滤网；所述抽气管远离所述镀膜机一侧设有沉降组件。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于：包括镀膜机；所述镀膜机底部设有出气管；所述出气管上设有第一连接套；所述第一连接套上设有第二连接套；所述第二连接套中设有顶盖，所述顶盖与所述第一连接套之间通过磁吸连接；所述第二连接套远离所述镀膜机一侧设有抽气管；所述抽气管远离所述第二连接套一侧设有真空泵；所述抽气管内靠近所述真空泵一侧设有第一过滤网；所述抽气管远离所述镀膜机一侧设有沉降组件。


2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一连接套远离所述镀膜机一侧设有第一安装位；所述第一安装位位于所述出气管两侧；所述第一安装位内固定有电磁铁；所述顶盖靠近所述镀膜机一侧设有第二安装位；所述第二安装位与所述第一安装位位置相对应；所述第二安装位内固定有磁片。


3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述沉降组件包括沉降管、挤压管、气缸及水箱；所述沉降管安装在所述抽气管上；所述挤压管安装在所述沉降管远离所述真空泵的侧壁上、且所述挤压管与所述沉降管之间连通；所述水箱安装在所述真空泵与所述挤压管中间、且所述水箱与所述挤压管之间连通；所述气缸安装在所述挤压管远离所述沉降管一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孟良，梅艳红，王孟仁，高春玲，陈卓，梅洪蕾，陈春奇，许进，周强，孟健，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44