一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其是一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置，包括安装板，安装板的顶部安装有旋转密封机构，旋转密封机构包括轴承座、储水筒、空心轴和进水组件；轴承座固定安装在安装板的顶部，储水筒固定安装在轴承座的顶部，空心轴的底端与储水筒转动连接、且与储水筒内部接通，进水组件固定安装在空心轴的顶端；安装板的底部安装有冷热转换机构、以对供应水进行加热和冷却。本发明专利技术可以快速实现加热组件和冷却组件的切换，无需对加热组件和冷却组件进行拆装，操作过程简单。单。单。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置


[0001]本专利技术涉及磁控溅射镀膜设备
，尤其涉及一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜设备中，用于放置工件或者工件托盘的转台，一般需要对应的加热装置或冷却装置以实现对工件进行加热或者冷却，传动的技术中加热装置与冷却装置分开设置，当有需要时，要对加热装置与冷却装置进行全部拆卸替换，操作复杂，用时长；
[0003]对此，中国专利申请号为CN202122260295.4中公开了“一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置，包括旋转密封机构、加热机构和冷却机构，所述旋转密封机构可拆卸连接所述加热机构或者所述冷却机构；所述旋转密封机构包括转动组件、轴承座、第一安装板及进出水组件，所述转动组件的一端穿过所述第一安装板可拆卸连接所述加热机构或者所述冷却机构，所述转动组件固定于所述第一安装板上”；
[0004]该专利通过将旋转密封机构与加热机构或者冷却机构中的一个可拆卸连接，使旋转装置在需要实现加热或者冷却功能时；但是，在加热机构或者冷却机构在使用时，需要对加热机构或者冷却机构进行拆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置，包括安装板(1)，其特征在于，所述安装板(1)的顶部安装有旋转密封机构(2)，所述旋转密封机构(2)包括轴承座(21)、储水筒(22)、空心轴(23)和进水组件(24)；所述轴承座(21)固定安装在安装板(1)的顶部，所述储水筒(22)固定安装在轴承座(21)的顶部，所述空心轴(23)的底端与储水筒(22)转动连接、且与储水筒(22)内部接通，所述进水组件(24)固定安装在空心轴(23)的顶端；所述安装板(1)的底部安装有冷热转换机构(5)、以对供应水进行加热和冷却。2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备用旋转装置，其特征在于，所述安装板(1)的底部固定安装有若干支撑座(3)，若干所述支撑座(3)环绕着安装板(1)等距分布，若干所述支撑座(3)的底端固定安装有同一转台(4)。3.根据权利要求1或2所述的磁控溅射镀膜设备用旋转装置，其特征在于，所述旋转密封机构(2)还包括第一带轮(25)、安装架(26)、第一电机(27)、第二带轮(28)和第一对接管件(29)；所述第一带轮(25)固定安装在空心轴(23)上，所述安装架(26)固定安装在安装板(1)的顶部，所述第一电机(27)固定安装在安装架(26)的顶部、且输出轴与第二带轮(28)固定连接，所述第二带轮(28)与第一带轮(25)通过皮带传动连接，所述第一对接管件(29)安装在储水筒(22)的外侧。4.根据权利要求3所述的磁控溅射镀膜设备用旋转装置，其特征在于，所述第一对接管件(29)包括导水管(291)、控制阀(292)、连接板(293)、插接管(294)和若干磁铁块(295)；所述导水管(291)固定安装在储水筒(22)的外侧、且与储水筒(22)内部接通，所述控制阀(292)固定安装在导水管(291)上，所述连接板(293)固定安装在安装板(1)的底部，所述插接管(294)固定安装在连接板(293)的底部、且与导水管(291)接通，若干所述磁铁块(295)均固定安装在连接板(293)的底部、且环绕着连接板(293)等距分布。5.根据权利要求4所述的磁控溅射镀膜设备用旋转装置，其特征在于，所述冷热转换机构(5)包括转轴(51)、转动板(52)、两个第二对接管件(56)、加热组件(57)和冷却组件(58)；所述转轴(51)转动安装在安装板(1)的底部，所述转动板(52)固定安装在转轴(51)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈春奇，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：