温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其是一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置，包括安装板，安装板的顶部安装有旋转密封机构，旋转密封机构包括轴承座、储水筒、空心轴和进水组件；轴承座固定安装在安装板的顶部，储水筒固定安装在轴承座的顶部，空心轴的底端...
该专利属于深圳天成真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳天成真空技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。