蒸发源分配装置及蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池技术领域，提供一种蒸发源分配装置及蒸镀装置，蒸发源分配装置包括盖体与底座，底座包括装配座，装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；盖体包括分配部，分配部内部设分配腔，分配部上间隔地开设多个出气孔，出气孔连通至分配腔；盖体与装配座装配式连接，装配座能盖合于分配腔的开放面；进气口连通至分配腔。本申请实施例中蒸发源分配装置的盖体与底座为装配式连接结构，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。

Distribution device and plating device of steam source

【技术实现步骤摘要】
蒸发源分配装置及蒸镀装置
本技术涉及太阳能电池
，特别涉及一种蒸发源分配装置及蒸镀装置。
技术介绍
随着科技的发展，铜铟镓硒(简称：CIGS)太阳能电池板的应用越来越广泛，CIGS太阳能电池板包括CIGS膜层，且通常使用蒸镀装置来制备CIGS膜层。蒸镀装置包括蒸镀腔、分配管、金属源蒸发源以及硒源蒸发源。在制备GIGS膜层的过程中，需要将金属源放入金属源蒸发源、硒源放入硒源蒸发源，并将基板以及该金属源蒸发源和硒源蒸发源放入蒸镀腔内，使得金属源蒸发源以及硒源蒸发源均正对基板，分配管与硒源蒸发源连通。之后加热金属源蒸发源，以使得金属源熔化后向基板辐射金属粒子，并加热硒源蒸发源，以使得硒源蒸发出硒蒸汽，该硒蒸汽会进入分配管，并经分配管分配后到达基板，以使得基板上的金属粒子以及硒蒸汽反应形成GIGS膜层。在真空蒸镀设备中，为了提高蒸发源扩散的均匀性，会采用一些辅助扩散的开孔管状结构，这类管状结构的装置被称作分配器。一般分配器包括分配管以及进气管，分配管上开设有多个出气孔。维护清理时需要非常小心避免磕碰，局部部位甚至无法清理到位，更换本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源分配装置(1)，其特征在于，包括盖体(11)与底座(12)，/n所述底座(12)包括装配座(121)，所述装配座(121)设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口(122)；/n所述盖体(11)包括分配部(111)，所述分配部(111)内部设分配腔，所述分配部(111)上间隔地开设多个出气孔(113)，多个所述出气孔(113)连通至所述分配腔；所述盖体(11)与所述装配座(121)装配式连接，所述装配座(121)能盖合于所述分配腔的开放面；所述进气口(122)连通至所述分配腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源分配装置(1)，其特征在于，包括盖体(11)与底座(12)，
所述底座(12)包括装配座(121)，所述装配座(121)设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口(122)；
所述盖体(11)包括分配部(111)，所述分配部(111)内部设分配腔，所述分配部(111)上间隔地开设多个出气孔(113)，多个所述出气孔(113)连通至所述分配腔；所述盖体(11)与所述装配座(121)装配式连接，所述装配座(121)能盖合于所述分配腔的开放面；所述进气口(122)连通至所述分配腔。


2.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述盖体(11)在面向所述底座(12)的一侧还设置有连接部(112)，所述盖体(11)通过所述连接部(112)与所述装配座(121)装配式连接。


3.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述蒸发源分配装置(1)整体呈长条形，所述底座(12)上设两个或两个以上的所述进气口(122)。


4.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述分配部(111)横截面呈半圆形或半椭圆形，各个出气孔(113)的开设方向均与所述分配部(111)外表面垂直。


5.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述底座(12)还包括进气...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，徐义，陆祁兵，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11