分配装置及蒸镀装置制造方法及图纸

涉及太阳能电池技术领域，提供一种分配装置及蒸镀装置，分配装置包括进气管以及分配管，所述进气管一端接通至蒸发源，所述进气管另一端与所述分配管连接；所述分配管包括与所述进气管连接的进气端，以及远离所述进气管的封口端；所述分配管为螺旋结构，且由进气端向封口端的外径呈逐步扩大；所述分配管上间隔地开设有多个出气孔。本实施例中分配装置，由蒸发源至被加工面之间采用渐开式螺旋管这种平滑过渡的布管送气方式，可以确保被加工面的单位面积上对应的出气孔分布均匀，从而提高蒸镀加工面的均匀性，提高成品率。

Distribution device and evaporation device

【技术实现步骤摘要】
分配装置及蒸镀装置
本技术涉及太阳能电池
，特别涉及一种分配装置及蒸镀装置。
技术介绍
随着科技的发展，铜铟镓硒(简称：CIGS)太阳能电池板的应用越来越广泛，CIGS太阳能电池板包括CIGS膜层，且通常使用蒸镀装置来制备CIGS膜层。蒸镀装置包括蒸镀腔、分配管、金属源蒸发源以及硒源蒸发源。在制备GIGS膜层的过程中，需要将金属源放入金属源蒸发源、硒源放入硒源蒸发源，并将基板以及该金属源蒸发源和硒源蒸发源放入蒸镀腔内，使得金属源蒸发源以及硒源蒸发源均正对基板，分配管与硒源蒸发源连通。之后加热金属源蒸发源，以使得金属源熔化后向基板辐射金属粒子，并加热硒源蒸发源，以使得硒源蒸发出硒蒸汽，该硒蒸汽会进入分配管，并经分配管分配后到达基板，以使得基板上的金属粒子以及硒蒸汽反应形成GIGS膜层。在真空蒸镀设备中，为了提高蒸发源扩散的均匀性，会采用一些辅助扩散的开孔管状结构，这类管状结构的装置被称作分配器。这类分配器再加工难度大，需要调整蒸发源均匀性时，很难再开孔或封堵孔位。现设备中常见的分配器结构较简单，一般为竖直与水平的管路连接，然本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分配装置(1)，其特征在于，包括进气管(11)以及分配管(12)，所述进气管(11)一端接通至蒸发源，所述进气管(11)另一端与所述分配管(12)连接；/n所述分配管(12)包括与所述进气管(11)连接的进气端(121)，以及远离所述进气管(11)的封口端(122)；所述分配管(12)为螺旋结构，该螺旋结构的外径由进气端(121)向封口端(122)呈逐步扩大；所述分配管(12)上间隔地开设有多个出气孔(123)。/n

【技术特征摘要】
1.一种分配装置(1)，其特征在于，包括进气管(11)以及分配管(12)，所述进气管(11)一端接通至蒸发源，所述进气管(11)另一端与所述分配管(12)连接；
所述分配管(12)包括与所述进气管(11)连接的进气端(121)，以及远离所述进气管(11)的封口端(122)；所述分配管(12)为螺旋结构，该螺旋结构的外径由进气端(121)向封口端(122)呈逐步扩大；所述分配管(12)上间隔地开设有多个出气孔(123)。


2.如权利要求1所述的分配装置，其特征在于，所述分配管(12)的螺旋结构外形呈倒圆锥体。


3.如权利要求2所述的分配装置，其特征在于，所述倒圆锥体的锥度为30度至60度。


4.如权利要求2所述的分配装置，其特征在于，所述倒圆锥体的锥度为45度。


5.如权利要求1所述的分配装置，其特征在于，所述分配管(12)的开孔率由进气端...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，徐义，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11