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涉及太阳能电池技术领域，提供一种分配装置及蒸镀装置，分配装置包括进气管以及分配管，所述进气管一端接通至蒸发源，所述进气管另一端与所述分配管连接；所述分配管包括与所述进气管连接的进气端，以及远离所述进气管的封口端；所述分配管为螺旋结构，且由进...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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