一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板制造技术

技术编号:24558129 阅读:106 留言:0更新日期:2020-06-17 23:30
本实用新型专利技术公开了一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板,包括挡板本体,镀口一,所述镀口一的边缘设置有加厚区,所述加厚区的高度小于六毫米,所述加厚区的水平方向侧壁设置为斜面且与挡板本体之间形成过度区。本实用新型专利技术中,通过加厚区、过度区的设置,使得挡板本体在蒸镀过程与基膜的活动区存在一定的距离,蒸镀过程不会对基膜的活动区造成热损伤,从而保证提升金属化薄膜耐压值。

A new type of zinc baffle used in evaporation of aluminum zinc high square resistance film

【技术实现步骤摘要】
一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板
本技术涉及金属化薄膜加工
,尤其涉及一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板。
技术介绍
金属化薄膜是薄膜电容器生产制造的重要材料,将高纯度金属在高真空状态下熔化、蒸发、沉淀到介质基膜上,在介质基膜表面形成一层极薄的金属镀层后的薄膜就是金属化薄膜。然而现有的蒸镀所用的挡板本体仍存在一些不足之处,首先,传统的挡板本体表面为平面,在蒸镀过程虽然能够形成锌原子紧贴在基膜表面,但是要求锌蒸发源与基膜的距离较小(小于6mm),因此,极小的距离很容易将基膜热损伤,其次,现有的蒸镀所用的挡板本体缺少调节控制锌蒸发源与基膜之间距离的装置,使得两者距离不好把控,影响镀层的厚度。
技术实现思路
本技术的目的在于:为了解决挡板本体易使基膜热损伤和缺少调节距离装置的问题,而提出的一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板,包括挡板本体,镀口一,所述镀口一的边缘设置有加厚区,所述加厚区的高度小于六毫米,所述加厚区的水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板,包括挡板本体(1),镀口一(2),其特征在于,所述镀口一(2)的边缘设置有加厚区(3),所述加厚区(3)的高度小于六毫米,所述加厚区(3)的水平方向侧壁设置为斜面且与挡板本体(1)之间形成过度区(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板,包括挡板本体(1),镀口一(2),其特征在于,所述镀口一(2)的边缘设置有加厚区(3),所述加厚区(3)的高度小于六毫米,所述加厚区(3)的水平方向侧壁设置为斜面且与挡板本体(1)之间形成过度区(4)。


2.根据权利要求1所述的一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板,其特征在于,所述过度区(4)的中心处两侧开设有镀口二(5)。


3.根据权利要求2所述的一种新型铝锌高方阻膜蒸镀所用的锌挡板,其特征在于,所述镀口二(5)的面积小于镀口一(2)的面积。


4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚松马路遥谭剑
申请(专利权)人:南通新江海动力电子有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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