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本实用新型涉及太阳能电池技术领域，提供一种蒸发源分配装置及蒸镀装置，蒸发源分配装置包括盖体与底座，底座包括装配座，装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；盖体包括分配部，分配部内部设分配腔，分配部上间隔地开设多个出气孔，出气孔连通至分配...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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