【技术实现步骤摘要】
蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法本申请是申请日为2013年12月20日、申请号为201380066886.3、专利技术名称为“蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术的实施方式涉及沉积及蒸发碱金属或碱土金属，比如锂。本专利技术的实施方式尤其涉及用于控制蒸发的材料的蒸发装置、沉积设备及所述装置与所述设备的操作方法。特定而言，本专利技术的实施方式涉及用于蒸发包含碱金属或碱土金属的材料及沉积所述材料于基板上的沉积装置、用于蒸发包含碱金属或碱土金属的材料及沉积所述材料于基板上的沉积设备和蒸发包含碱金属或碱土金属的材料的方法，所述碱金属或碱土金属特别是金属锂。
技术介绍
现代薄膜锂电池通常在真空腔室中生产，其中基板提供有数层，包括锂层。锂层例如通过沉积汽态锂于基板上而形成。由于锂具有高反应性，故需提供多种措施以操作及维护此类沉积系统。例如，在打开真空腔室后，应将暴露于空气环境的氧化蒸汽(特别是H2O)及接触人员减至最少。另外，期望以高沉积速率蒸发及提高均匀度。过去已利用许...
【技术保护点】
1.一种沉积装置(100)，所述沉积装置用于蒸发材料及沉积所述材料于基板(4)上，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述装置包含：/n第一腔室(110)，所述第一腔室被配置成用于液化所述材料；/n阀(130)，所述阀与所述第一腔室流体连通且在所述第一腔室下游，其中所述阀被配置成用于控制所液化的材料通过所述阀的流率；其中所述阀经由导管(120)连接至蒸汽分配喷头(112)；/n所述蒸汽分配喷头(112)，包括：/n罩壳；和/n多个喷嘴，所述多个喷嘴用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板，其中所述蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中...
【技术特征摘要】
20121220 EP 12198683.01.一种沉积装置(100)，所述沉积装置用于蒸发材料及沉积所述材料于基板(4)上，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述装置包含：
第一腔室(110)，所述第一腔室被配置成用于液化所述材料；
阀(130)，所述阀与所述第一腔室流体连通且在所述第一腔室下游，其中所述阀被配置成用于控制所液化的材料通过所述阀的流率；其中所述阀经由导管(120)连接至蒸汽分配喷头(112)；
所述蒸汽分配喷头(112)，包括：
罩壳；和
多个喷嘴，所述多个喷嘴用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板，其中所述蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力；和
蒸发区(114)，所述蒸发区设置在所述蒸汽分配喷头内且与所述阀流体连通且在所述阀下游，其中所述蒸发区被配置成用于蒸发所液化的材料；其中所述蒸发区(114)由具有1cm2至10cm2的表面接触面积的表面提供。
2.如权利要求1所述的装置(100)，其中所述蒸汽分配喷头(112)是线形蒸汽分配喷头。
3.如权利要求1或2所述的装置(100)，进一步包含：
控制器(230)，所述控制器连接至所述阀，其中所述控制器被配置成控制所述阀，以用于调整所述基板上的蒸汽沉积速率。
4.如权利要求1所述的装置(100)，其中所述控制器(230)是比例-积分-微分控制器，且其中所述控制器包含信号输入端，所述信号输入端被配置成用于接收沉积速率监测系统的信号。
5.如权利要求1或2所述的装置(100)，其中所述第一腔室(110)包含气体入口(421)，所述气体入口被配置成使保护气体进入所述第一腔室，所述装置进一步包含另一阀(420)，所述另一阀被配置成用于控制所述第一腔室中所述保护气体的流率。
6.如权利要求5所述的装置(100)，其中所述第一腔室(110)进一步包含压力表(422)，所述压力表与所述另一阀(420)连通。
7.如权利要求1或2所述的装置(100)，其中所述材料是金属锂。
8.如权利要求1或2所述的装置(100)，进一步包含：
...
【专利技术属性】
技术研发人员：斯蒂芬·凯勒，乌韦·许斯勒，乔斯·曼纽尔·迭格斯坎波，斯蒂芬·班格特，里奥·库韦克·比安孙，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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