一种真空镀膜机用夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机用夹持装置，包括底座，所述底座上端设有固定板，且底座上设有固定座，并且底座上还设有转动块固定杆，所述固定座上开设有开口，且固定座的开口内设有螺纹杆固定件，所述螺纹杆固定件外圈套设有螺纹杆，且螺纹杆外部套设有固定螺帽，所述转动块固定杆上设有凹口，且转动块固定杆凹口内设置有转动块，所述转动块上连接有压框，且压框上开设有固定通孔，并且压框另一端设有两个定位块，所述固定通孔内壁上开设有半圆形凹槽，且固定通孔凹槽内设有压环，所述定位块上开设有开口。该真空镀膜机用夹持装置操作简单，可以有效的将基板的边缘固定住，防止基板在镀膜的时候出现晃动的情况，提高基板镀膜的效果。

A clamping device for vacuum coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用夹持装置
本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机用夹持装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。现有基板进行镀膜时需要用到真空镀膜机，进行镀膜时需要将基板固定在真空镀膜机上以方便作业，此时一般采用装载夹具将基板固定在真空镀膜机的基座上，一般的转载夹具在使用的时候不能有效的将基板固定住，容易使基板边缘产生晃动的情况，这样可能影响到基板镀膜的质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空镀膜机用夹持装置，以解决
技术介绍
中提出的转载夹具在使用的时候不能有效的将基板固定住，容易使基板边缘产生晃动的情况，这样可能影响到基板镀膜的质量的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机用夹持装置，包括底座，所述底座上端设有固定板，且底座上设有固定座，并且底座上还设有转动块固定杆，所述固定座上开设有开口，且固定座的开口内设有螺纹杆固定件，所述螺纹杆固定件外圈套设有螺纹杆，且螺纹杆外部套设有固定螺帽，所述转动块固定杆上设有凹口，且转动块固定杆凹口内设置有转动块，所述转动块上连接有压框，且压框上开设有固定通孔，并且压框另一端设有两个定位块，所述固定通孔内壁上开设有半圆形凹槽，且固定通孔凹槽内设有压环，所述定位块上开设有开口，且定位块套设在螺纹杆上。优选的，所述固定螺帽的外部直径大于定位块上开口内部直径。>优选的，所述定位块在压框上的位置与螺纹杆的位置相对应。优选的，所述转动块设置有两个，且转动块关于压框的中心线左右对称分布，并且转动块两侧设有圆形凸起，转动块两侧凸起卡在转动块固定杆的凹口内。优选的，所述固定通孔内部形状与固定板的外部形状相匹配。优选的，所述压环采用橡胶材质，且压环形成的外圈直径小于固定板的外部直径。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该真空镀膜机用夹持装置操作简单，可以有效的将基板的边缘固定住，防止基板在镀膜的时候出现晃动的情况，提高基板镀膜的效果。该装置的固定螺帽可以将螺纹杆外圈的定位块压住，以此来将压框固定住，防止压框从固定板上脱离，同时转动块可以在转动块固定杆的凹口内进行转动，以此来使转动块上的压框进行转动，方便将压框从固定板上打开。附图说明图1为本技术一种真空镀膜机用夹持装置结构示意图；图2为本技术一种真空镀膜机用夹持装置压框俯视图；图3为本技术一种真空镀膜机用夹持装置图1中A-A处剖视图；图4为本技术一种真空镀膜机用夹持装置固定座侧视图。图中：1、固定螺帽，2、螺纹杆，3、定位块，4、压框，5、固定板，6、转动块，7、固定座，8、底座，9、转动块固定杆，10、固定通孔，11、压环，12、螺纹杆固定件。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种真空镀膜机用夹持装置，包括底座8，底座8上端设有固定板5，且底座8上设有固定座7，并且底座8上还设有转动块固定杆9，固定座7上开设有开口，且固定座7的开口内设有螺纹杆固定件12，螺纹杆固定件12外圈套设有螺纹杆2，且螺纹杆2外部套设有固定螺帽1，固定螺帽1的外部直径大于定位块3上开口内部直径，此结构的固定螺帽1可以将定位块3卡住，使定位块3可以套在螺纹杆2上，防止定位块3从螺纹杆2上脱离导致压框4无法将基板压住，转动块固定杆9上设有凹口，且转动块固定杆9凹口内设置有转动块6，转动块6上连接有压框4，且压框4上开设有固定通孔10，并且压框4另一端设有两个定位块3，定位块3在压框4上的位置与螺纹杆2的位置相对应，此结构的定位块3可以准确的套设在螺纹杆2上，避免定位块3无法被螺纹杆2上的固定螺帽1卡住，转动块6设置有两个，且转动块6关于压框4的中心线左右对称分布，并且转动块6两侧设有圆形凸起，转动块6两侧凸起卡在转动块固定杆9的凹口内，此结构的转动块6的两侧凸起可以卡在转动块固定杆9的凹口内，这样转动块6可以在转动块固定杆9的凹口内进行转动，使压框4可以在固定板5上方进行转动，方便打开或者关闭压框4，固定通孔10内壁上开设有半圆形凹槽，且固定通孔10凹槽内设有压环11，固定通孔10内部形状与固定板5的外部形状相匹配，此结构的固定通孔10起到容纳固定板5的作用，这样可以将基板卡在固定板5和固定通孔10之间的位置，同时通过压框4上的固定通孔10可以将基板上需要加工的部位裸露出来，压环11采用橡胶材质，且压环11形成的外圈直径小于固定板5的外部直径，此结构的压环11可以将基板压住，防止基板在固定通孔10内出现位移的情况，同时也防止基板受到过大的压力而损坏，定位块3上开设有开口，且定位块3套设在螺纹杆2上。工作原理：在使用该真空镀膜机用夹持装置时，首先将该装置的底座8设置在真空镀膜机内，然后将固定螺帽1从螺纹杆2上拧松，使螺纹杆2可以在固定座7内进行转动，这样便可以将螺纹杆2从定位块3的开口内转出，再打开压框4，使压框4通过转动块6在转动块固定杆9上的凹口内进行旋转，之后将压框4下方的固定板5裸露出来，再将需要加工的基板放置在固定板5上，再重新将压框4关闭，使压框4上的固定通孔10将基板卡住，同时固定通孔10内的压环11会压在基板上，直到定位块3重新设置在螺纹杆2上，再通过固定螺帽1重新将定位块3压住锁紧，这样便通过压框4将基板压在固定板5上，而且压环11具有一定的弹性可以将基板边缘压住，通过固定通孔10可以将基板上需要镀膜加工的部位裸露出来，方便后期进行加工，从而完成一系列工作。尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机用夹持装置，包括底座(8)，其特征在于：所述底座(8)上端设有固定板(5)，且底座(8)上设有固定座(7)，并且底座(8)上还设有转动块固定杆(9)，所述固定座(7)上开设有开口，且固定座(7)的开口内设有螺纹杆固定件(12)，所述螺纹杆固定件(12)外圈套设有螺纹杆(2)，且螺纹杆(2)外部套设有固定螺帽(1)，所述转动块固定杆(9)上设有凹口，且转动块固定杆(9)凹口内设置有转动块(6)，所述转动块(6)上连接有压框(4)，且压框(4)上开设有固定通孔(10)，并且压框(4)另一端设有两个定位块(3)，所述固定通孔(10)内壁上开设有半圆形凹槽，且固定通孔(10)凹槽内设有压环(11)，所述定位块(3)上开设有开口，且定位块(3)套设在螺纹杆(2)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用夹持装置，包括底座(8)，其特征在于：所述底座(8)上端设有固定板(5)，且底座(8)上设有固定座(7)，并且底座(8)上还设有转动块固定杆(9)，所述固定座(7)上开设有开口，且固定座(7)的开口内设有螺纹杆固定件(12)，所述螺纹杆固定件(12)外圈套设有螺纹杆(2)，且螺纹杆(2)外部套设有固定螺帽(1)，所述转动块固定杆(9)上设有凹口，且转动块固定杆(9)凹口内设置有转动块(6)，所述转动块(6)上连接有压框(4)，且压框(4)上开设有固定通孔(10)，并且压框(4)另一端设有两个定位块(3)，所述固定通孔(10)内壁上开设有半圆形凹槽，且固定通孔(10)凹槽内设有压环(11)，所述定位块(3)上开设有开口，且定位块(3)套设在螺纹杆(2)上。


2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用夹持装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴祖森，殷乐，雷鸣，赵鹏，
申请(专利权)人：南阳市万杰光电有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41