一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，包括镀膜机机箱，镀膜机机箱的内部设有真空腔，真空腔的一端外侧设有第一密封垫，第一密封垫的四个拐角处均安装有第一电动伸缩杆，该镀膜机对镀膜件的固定十分牢固，而且能对不同尺寸形状的镀膜进行固定，通过多个触点进行固定，牢固性强，还可以同时对多个五金件进行固定，不会出现脱落的现象；该镀膜机对镀膜件进行镀膜的时候，通过旋转镀膜件固定装置，提高镀膜质量，也提高镀膜的均匀度，从而提高产品质量，镀膜件固定装置另一端围绕轴承旋转，从而提高镀膜件固定装置的整体稳定性；该镀膜机能调节坩埚与电子枪之间的距离，能提高或降低镀膜效率。

A vacuum coating machine for improving the uniformity of coating

【技术实现步骤摘要】
一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机
本技术涉及真空镀膜领域，具体为一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机去实现镀膜的，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，现有的真空镀膜机功能比较单一，尤其在镀膜方面存在很多缺陷，1：现有的镀膜机对镀膜件的固定十分不牢固，尤其是不规则的镀膜件，容易出现脱落的现象；2：现有的镀膜机对镀膜件进行镀膜的时候，镀膜质量差，均匀度低，影响产品质量，而且整体的稳定性能差；3：现有的镀膜机不能调节坩埚与电子枪之间的距离，不能提高或降低镀膜效率。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，包括镀膜机机箱，所述镀膜机机箱的内部设有真空腔，所述真空腔的一端外侧设有第一密封垫，所述第一密封垫的四个拐角处均安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的一端安装有机箱密封门，所述机箱密封门的一侧安装有齿轮箱，所述齿轮箱的顶端安装有电机，所述齿轮箱的底端安装有可视窗，所述机箱密封门的另一侧边缘处安装有第二密封垫，所述齿轮箱的一侧连接有不锈钢固定套，所述不锈钢固定套上固定有第一连接杆，所述第一连接杆的一端焊接有镀膜件固定装置，所述镀膜件固定装置的一端焊接有第二连接杆，所述第二连接杆的一端与轴承相连，所述镀膜件固定装置的两侧均螺纹连接有若干个螺纹杆，所述螺纹杆的一端焊接有螺纹杆把手，另一端焊接有固定块，所述机箱密封门的另一侧底部安装有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的顶端安装有托盘，所述托盘上设有若干个坩埚，所述镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置，所述镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱，另一侧安装有电子枪，所述镀膜机机箱的背面安装有加热器，所述镀膜机机箱的底端安装有控制箱，所述控制箱的一侧上安装有电源开关。作为本技术的一种优选技术方案，所述镀膜机机箱的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，所述第一电动伸缩杆通过螺栓固定在所述镀膜机机箱一端的四个拐角处，所述机箱密封门与所述第一电动伸缩杆通过螺栓固定相连，所述机箱密封门与所述镀膜机机箱通过所述第一密封垫和第二密封垫密封相连。作为本技术的一种优选技术方案，所述齿轮箱通过螺栓固定在所述机箱密封门上，所述电机的转轴与所述齿轮箱内的齿轮啮合相连，所述不锈钢固定套与所述齿轮箱相连，所述第一连接杆和不锈钢固定套上均设有螺纹孔，所述镀膜件固定装置通过第一连接杆和螺栓与不锈钢固定套固定相连。作为本技术的一种优选技术方案，所述轴承通过螺栓固定在真空腔的背面上，所述镀膜件固定装置通过第二连接杆与所述轴承活动相连。作为本技术的一种优选技术方案，所述第二电动伸缩杆通过螺栓固定在所述机箱密封门的另一侧底部上，所述托盘通过螺栓固定在所述第二电动伸缩杆上。作为本技术的一种优选技术方案，所述抽真空装置、冷凝箱、加热器、电子枪和控制箱均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱上，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，并均与真空腔相连，所述冷凝箱内设有冷凝器、水箱和冷凝管，所述电子枪上设有正负两极。作为本技术的一种优选技术方案，所述电源开关与外接电源相连，所述电源开关分别与所述电机、第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆电性连接，所述控制箱分别与所述抽真空装置、冷凝箱、加热器和电子枪电性连接。本技术的有益效果是：1：该镀膜机对镀膜件的固定十分牢固，而且能对不同尺寸形状的镀膜进行固定，通过多个触点进行固定，牢固性强，还可以同时对多个五金件进行固定，不会出现脱落的现象；2：该镀膜机对镀膜件进行镀膜的时候，通过旋转镀膜件固定装置，提高镀膜质量，也提高镀膜的均匀度，从而提高产品质量，镀膜件固定装置另一端围绕轴承旋转，从而提高镀膜件固定装置的整体稳定性；3：该镀膜机能调节坩埚与电子枪之间的距离，能提高或降低镀膜效率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术机箱密封门的背面结构示意图。图中：1、镀膜机机箱，2、机箱密封门，3、第一电动伸缩杆，4、可视窗，5、齿轮箱，6、电机，7、镀膜件固定装置，8、第一密封垫，9、抽真空装置，10、冷凝箱，11、加热器，12、电子枪，13、控制箱，14、支撑腿，15、电源开关，16、托盘，17、坩埚，18、第二密封垫，19、不锈钢固定套，20、第一连接杆，21、螺纹杆，22、螺纹杆把手，23、固定块，24、第二连接杆，25、轴承，26、第二电动伸缩杆，27、真空腔。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。实施例：请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，包括镀膜机机箱1，镀膜机机箱1的内部设有真空腔27，真空腔27的一端外侧设有第一密封垫8，第一密封垫8的四个拐角处均安装有第一电动伸缩杆3，第一电动伸缩杆3的一端安装有机箱密封门2，机箱密封门2的一侧安装有齿轮箱5，齿轮箱5的顶端安装有电机6，齿轮箱5的底端安装有可视窗4，机箱密封门2的另一侧边缘处安装有第二密封垫18，齿轮箱5的一侧连接有不锈钢固定套19，不锈钢固定套19上固定有第一连接杆20，第一连接杆20的一端焊接有镀膜件固定装置7，镀膜件固定装置7的一端焊接有第二连接杆24，第二连接杆24的一端与轴承25相连，镀膜件固定装置7的两侧均螺纹连接有若干个螺纹杆21，螺纹杆21的一端焊接有螺纹杆把手22，另一端焊接有固定块23，机箱密封门2的另一侧底部安装有第二电动伸缩杆26，第二电动伸缩杆26的顶端安装有托盘16，托盘16上设有若干个坩埚17，镀膜机机箱1的顶端安装有抽真空装置9，镀膜机机箱1的一侧安装有冷凝箱10，另一侧安装有电子枪12，镀膜机机箱1的背面安装有加热器11，镀膜机机箱1的底端安装有控制箱13，控制箱13的一侧上安装有电源开关15。镀膜机机箱1的底端四个拐角处均焊接有支撑腿14，第一电动伸缩杆3通过螺栓固定在镀膜机机箱1一端的四个拐角处，机箱密封门2与第一电动伸缩杆3通过螺栓固定相连，机箱密封门2与镀膜机机箱1通过第一密封垫8和第二密封垫18密封相连，第一电动伸缩杆3可以将机箱密封门2从镀膜机机箱1上伸出，从而将机箱密封门2上的镀膜件固定装置7和托盘16从真空腔27内伸出，便于上料，也便于装入镀膜材料，通过第一密封垫8和第二密封垫18实现镀膜机机箱1与机箱密封门2之间的密封。齿轮箱5通过螺栓固定在机箱密封门2上，电机6的转轴与齿轮箱5内的齿轮啮合相连，不锈钢固定套19与齿轮本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，包括镀膜机机箱（1），其特征在于：所述镀膜机机箱（1）的内部设有真空腔（27），所述真空腔（27）的一端外侧设有第一密封垫（8），所述第一密封垫（8）的四个拐角处均安装有第一电动伸缩杆（3），所述第一电动伸缩杆（3）的一端安装有机箱密封门（2），所述机箱密封门（2）的一侧安装有齿轮箱（5），所述齿轮箱（5）的顶端安装有电机（6），所述齿轮箱（5）的底端安装有可视窗（4），所述机箱密封门（2）的另一侧边缘处安装有第二密封垫（18），所述齿轮箱（5）的一侧连接有不锈钢固定套（19），所述不锈钢固定套（19）上固定有第一连接杆（20），所述第一连接杆（20）的一端焊接有镀膜件固定装置（7），所述镀膜件固定装置（7）的一端焊接有第二连接杆（24），所述第二连接杆（24）的一端与轴承（25）相连，所述镀膜件固定装置（7）的两侧均螺纹连接有若干个螺纹杆（21），所述螺纹杆（21）的一端焊接有螺纹杆把手（22），另一端焊接有固定块（23），所述机箱密封门（2）的另一侧底部安装有第二电动伸缩杆（26），所述第二电动伸缩杆（26）的顶端安装有托盘（16），所述托盘（16）上设有若干个坩埚（17），所述镀膜机机箱（1）的顶端安装有抽真空装置（9），所述镀膜机机箱（1）的一侧安装有冷凝箱（10），另一侧安装有电子枪（12），所述镀膜机机箱（1）的背面安装有加热器（11），所述镀膜机机箱（1）的底端安装有控制箱（13），所述控制箱（13）的一侧上安装有电源开关（15）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，包括镀膜机机箱（1），其特征在于：所述镀膜机机箱（1）的内部设有真空腔（27），所述真空腔（27）的一端外侧设有第一密封垫（8），所述第一密封垫（8）的四个拐角处均安装有第一电动伸缩杆（3），所述第一电动伸缩杆（3）的一端安装有机箱密封门（2），所述机箱密封门（2）的一侧安装有齿轮箱（5），所述齿轮箱（5）的顶端安装有电机（6），所述齿轮箱（5）的底端安装有可视窗（4），所述机箱密封门（2）的另一侧边缘处安装有第二密封垫（18），所述齿轮箱（5）的一侧连接有不锈钢固定套（19），所述不锈钢固定套（19）上固定有第一连接杆（20），所述第一连接杆（20）的一端焊接有镀膜件固定装置（7），所述镀膜件固定装置（7）的一端焊接有第二连接杆（24），所述第二连接杆（24）的一端与轴承（25）相连，所述镀膜件固定装置（7）的两侧均螺纹连接有若干个螺纹杆（21），所述螺纹杆（21）的一端焊接有螺纹杆把手（22），另一端焊接有固定块（23），所述机箱密封门（2）的另一侧底部安装有第二电动伸缩杆（26），所述第二电动伸缩杆（26）的顶端安装有托盘（16），所述托盘（16）上设有若干个坩埚（17），所述镀膜机机箱（1）的顶端安装有抽真空装置（9），所述镀膜机机箱（1）的一侧安装有冷凝箱（10），另一侧安装有电子枪（12），所述镀膜机机箱（1）的背面安装有加热器（11），所述镀膜机机箱（1）的底端安装有控制箱（13），所述控制箱（13）的一侧上安装有电源开关（15）。


2.根据权利要求1所述的一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机机箱（1）的底端四个拐角处均焊接有支撑腿（14），所述第一电动伸缩杆（3）通过螺栓固定在所述镀膜机机箱（1）一端的四个拐角处，所述机箱密封门（2）与所述第一电动伸缩杆（3）通过螺栓固定相连，所述机箱密封门（2）与...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓东，
申请(专利权)人：常州鑫立离子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32