声波装置、滤波器和多路复用器制造方法及图纸

本发明专利技术涉及声波装置、滤波器和多路复用器。该声波装置包括：压电基板；以及位于所述压电基板上的一对梳状电极，所述一对梳状电极中的每个梳状电极均包括多个电极指，所述多个电极指的彼此面对的侧表面具有在所述多个电极指的延伸方向上布置的多个凸部和多个凹部，所述多个凸部和所述多个凹部的端部变窄。

【技术实现步骤摘要】
声波装置、滤波器和多路复用器
本专利技术的特定方面涉及声波装置、滤波器和多路复用器(multiplexer)。
技术介绍
在以移动电话为代表的高频通信系统中，高频滤波器已被用于去除除了用于通信的频带中的信号之外的不必要信号。在高频滤波器中使用包括表面声波(SAW)元件的声波装置。SAW元件是例如在日本特开2016-136712号公报(下文中，被称为专利文献1)公开的其中在压电基板上形成包括一对梳状电极的叉指换能器(IDT)的元件。
技术实现思路
根据本专利技术的第一方面，提供了一种声波装置，该声波装置包括：压电基板；以及位于所述压电基板上的一对梳状电极，所述一对梳状电极中的每个梳状电极均包括多个电极指，所述多个电极指的彼此面对的侧表面具有在所述多个电极指的延伸方向上布置的多个凸部和多个凹部，所述多个凸部和所述多个凹部的端部变窄。根据本公开的第二方面，提供了一种包括以上声波装置的滤波器。根据本公开的第三方面，提供了一种包括以上滤波器的多路复用器。附图说明图1A是第一实施方式中的声波谐振器的平面图，并且图1B是沿着图1A中的线A-A截取的剖视图；图2是第一实施方式中的声波谐振器的放大平面图；图3A和图3B是第一实施方式中的声波谐振器的放大剖视图；图4是第一实施方式的第一变型例中的声波谐振器的放大平面图；图5是按照第一实施方式的第二变型例的声波谐振器的放大平面图；图6是按照第二实施方式的声波谐振器的放大平面图；图7A和图7B是第二实施方式中的声波谐振器的放大剖视图；图8A至图8D是例示了第二实施方式中的声波谐振器的制造方法的剖视图(第一)；图9A至图9C是例示了第二实施方式中的声波谐振器的制造方法的剖视图(第二)；图10是第二实施方式的第一变型例中的声波谐振器的放大剖视图；图11A和图11B分别是按照第二实施方式的第二变型例和第三变型例的声波谐振器的放大剖视图；以及图12A是按照第三实施方式的滤波器的平面图，并且图12B是按照第三实施方式的第一变型例的双工器(duplexer)的电路图。具体实施方式期望减小声波装置的尺寸。下文中，参照附图，将描述本公开的实施方式。第一实施方式将描述声波谐振器作为声波装置的示例。图1A是第一实施方式中的声波谐振器的平面图，并且图1B是沿着图1A中的线A-A截取的剖视图。电极指沿着其布置的方向(电极指的布置方向)被定义为X方向，电极指沿着其延伸的方向(电极指的延伸方向)被定义为Y方向，并且与压电基板正交的方向(压电基板的法线方向)被定义为Z方向。X、Y和Z方向不一定对应于压电基板10的晶体取向。如图1A和图1B中例示的，声波谐振器24包括IDT20和反射器22。IDT20和反射器22位于压电基板10上。压电基板10是例如钽酸锂基板、铌酸锂基板或晶体基板。当压电基板10是旋转的Y切割X传播的钽酸锂基板或旋转的Y切割X传播的铌酸锂基板时，X方向对应于压电基板10的晶体取向的X轴取向。IDT20和反射器22由金属膜12形成。金属膜12主要由例如铝(Al)、铜(Cu)、钼(Mo)、铱(Ir)、铂(Pt)、铼(Re)、铑(Rh)、钌(Ru)、钽(Ta)和钨(W)中的至少一种构成。IDT20包括一对梳状电极18。梳状电极18中的每个均包括多个电极指14和联接到电极指14的汇流条16。梳状电极18中的一个的电极指14和梳状电极18中的另一个的电极指14交替地布置在IDT20的至少部分中。梳状电极18中的一个的电极指14在X方向上面对梳状电极18中的另一个的电极指14的区域是交叠区域25。反射器22形成在X方向上的IDT20的两侧。反射器22反射声波。用λ表示梳状电极18中的一个的电极指14的节距。λ对应于由IDT20激发的表面声波的波长。压电基板10可被结合到诸如但不限于硅基板、蓝宝石基板、氧化铝基板、尖晶石基板、玻璃基板或晶体基板的支撑基板上。诸如但不限于氧化硅膜或氮化铝膜这样的绝缘膜可位于支撑基板和压电基板10之间。诸如但不限于氧化硅膜或氮化硅膜这样的绝缘膜可被设置为覆盖金属膜12。绝缘膜的膜厚度可大于金属膜12的膜厚度，或者可小于金属膜12的膜厚度。图2是第一实施方式中的声波谐振器的放大平面图。例示了交叠区域中的一些电极指。如图2中例示的，在交叠区域25中的电极指14的X方向上的侧表面具有Y方向上的凸部30和凹部32。凸部30在Y方向上以随机间隔定位。在X方向上彼此靠近的凸部30和凹部32之间的距离是随机的。电极指14的Y方向上的侧表面和汇流条16的Y方向上的侧表面在X方向上大体是平坦的。在图2中，用直线例示凸部30和凹部32的外周边，但是凸部30和凹部32的外周边可以是弯曲的。电极指14的节距(电极指14的中心之间的距离)为λ/2。用Dmin表示在Y方向上相邻的凸部30之间的最小间隔(即，凸部30当中的以最窄间隔彼此相邻定位的凸部30之间的间隔)，并且用Dmax表示在Y方向上相邻的凸部30之间的最大间隔(即，凸部30当中的以最宽间隔彼此相邻定位的凸部30之间的间隔)。用2D表示Dmin与Dmax之和(2D＝Dmax+Dmin)。用Lmin表示彼此靠近定位的凸部30和凹部32之间的X方向上的最小距离(即，第一凸部30的顶部和第一凹部32的底部之间的距离，其中，第一凸部30和第一凹部32彼此靠近定位，并且在彼此靠近定位的凸部30和凹部32之间的X方向上的距离当中，第一凸部30的顶部和第一凹部32的底部之间的X方向上的距离最小)。用Lmax表示彼此靠近定位的凸部30和凹部32之间的X方向上的最大距离(即，第二凸部30的顶部和第二凹部32的底部之间的距离，其中，第二凸部30和第二凹部32彼此靠近定位，并且在彼此靠近定位的凸部30和凹部32之间的X方向上的距离当中，第二凸部30的顶部和第二凹部32的底部之间的X方向上的距离最大)。用2L表示Lmin与Lmax之和(2L＝Lmax+Lmin)。这里，当通过显微镜观察在Y方向上连续定位的10个(更优选地，20个，进一步优选地，50个)凸部30和在Y方向上连续定位的10个凹部32的Dmin、Dmax、Lmin和Lmax并且计算2D和2L时，计算出的2D和2L与针对一个电极指14计算出的2D和2L相差不大。因此，测量在Y方向上连续定位的10个凸部30和在Y方向上连续定位的10个凹部32的Dmin、Dmax、Lmin和Lmax对于计算2D和2L是足够的。图3A和图3B是第一实施方式中的声波谐振器的放大剖视图。如图3A中例示的，电极指14的X方向上的侧表面在Z方向上是大体平坦的。如图3B中例示的，电极指14的X方向上的侧表面在Z方向上具有凸部30a和凹部32a。在这种情况下，当通过光学显微镜或电子显微镜从Z方向观察电极指14时，显微镜在Z方向上的聚焦位置位于同一XY平面中。在显微镜在Z方向上的聚焦位置测量Dmin、Dmax、Lmin和Lmax就足够了。如图3A中例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声波装置，该声波装置包括：/n压电基板；以及/n位于所述压电基板上的一对梳状电极，所述一对梳状电极中的每个梳状电极均包括多个电极指，所述多个电极指的彼此面对的侧表面具有在所述多个电极指的延伸方向上布置的多个凸部和多个凹部，所述多个凸部和所述多个凹部的端部变窄。/n

【技术特征摘要】
20181210 JP 2018-2309091.一种声波装置，该声波装置包括：
压电基板；以及
位于所述压电基板上的一对梳状电极，所述一对梳状电极中的每个梳状电极均包括多个电极指，所述多个电极指的彼此面对的侧表面具有在所述多个电极指的延伸方向上布置的多个凸部和多个凹部，所述多个凸部和所述多个凹部的端部变窄。


2.根据权利要求1所述的声波装置，其中，
所述多个凸部当中的以最小间隔彼此相邻定位的凸部的间隔与所述多个凸部当中的以最大间隔彼此相邻定位的凸部的间隔之和等于或小于所述一对梳状电极中的一个梳状电极的所述多个电极指的节距的1/16且等于或大于所述节距的1/1000。


3.根据权利要求2所述的声波装置，其中，
第一凸部的顶部和第一凹部的底部之间的所述多个电极指的布置方向上的距离与第二凸部的顶部和第二凹部的底部之间的所述布置方向上的距离之和等于或小于所述节距的1/16且等于或大于所述节距的1/1000，所述第一凸部和所述第一凹部彼此靠近定位，在所述多个凸部和所述多个凹部中的彼此靠近定位的凸部和凹部之间的所述布置方向上的距离当中，所述第一凸部的顶部和所述第一凹部的底部之间的所述布置方向上的距离最小，所述第二凸部和所述第二凹部彼此靠近定位，彼此靠近定位的所述凸部和所述凹部之间的所述布置方向上的距离当中，所述第二凸部的顶部和所述第二凹部的底部之间的所述布置方向上的距离最大。


4.根据权利要求1至3中的任一项所述的声波装置，其中，
所述多个凸部和所述多个凹部在所述延伸方向上不规则地定位。


5.根据权利要求1至3中的任一项所述的声波装置，其中，
所述一对梳状电极中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：三浦慎平，今须诚士，岩城匡郁，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP