一种用于芯片的清洗装置制造方法及图纸

技术编号:24456921 阅读:32 留言:0更新日期:2020-06-10 15:49
本实用新型专利技术公开一种用于芯片的清洗装置,包括立柱和机械臂,机械臂上设置第一伸缩臂,机械臂上还设置立板,立板与第一伸缩臂相对设置,第一伸缩臂的内侧设置弹性抓手,立板内侧设置伸缩装置和开设条形的限位通孔,限位通孔内设置插销,插销能够在限位通孔内上下左右活动,插销的一端固定第二伸缩臂,第二伸缩臂与伸缩装置固定连接,第二伸缩臂上也设置弹性抓手,弹性抓手之间设置载物篮。本实用新型专利技术在载物篮上升出离水面时,伸缩装置向下做功使载物篮的一端向下转动2~15度,利用插销限定载物篮的运行轨迹,载物篮和其内的芯片随之倾斜,载物篮和芯片上的水珠在重力作用下延低处滑落,减少挂水现象,达到提高芯片转换效率和制程稳定性的效果。

A cleaning device for chips

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片的清洗装置
本技术涉及太阳能电池
,具体是一种用于芯片的清洗装置。
技术介绍
对于太阳能电池和半导体的制绒清洗工艺而言,芯片的洁净度直接影响产品的性能,而清洗最后一道工序后需要芯片表面无水汽残留才能很好地抵抗环境杂质的附着。常规的清洗装置采取直上直下的运行方式(如图1),水滴会从载物篮的把手上直接掉落在芯片上和载物篮内,不利于芯片表面和载物篮的脱水。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种用于芯片的清洗装置。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:一种用于芯片的清洗装置,包括立柱和机械臂,所述机械臂上设置第一伸缩臂,其创新点在于:所述机械臂上还设置立板,所述立板与第一伸缩臂相对设置,所述第一伸缩臂的内侧设置弹性抓手,所述立板内侧设置伸缩装置和开设条形的限位通孔,所述限位通孔内设置插销,所述插销能够在限位通孔内上下左右活动,所述插销的一端固定第二伸缩臂,所述第二伸缩臂位于伸缩装置下方,且与伸缩装置固定连接,所述第二伸缩臂上也设置弹性抓手,所述弹性抓手之间设置载物篮。进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片的清洗装置,包括立柱和机械臂,所述机械臂上设置第一伸缩臂,其特征在于:所述机械臂上还设置立板,所述立板与第一伸缩臂相对设置,所述第一伸缩臂的内侧设置弹性抓手,所述立板内侧设置伸缩装置和开设条形的限位通孔,所述限位通孔内设置插销,所述插销能够在限位通孔内上下左右活动,所述插销的一端固定第二伸缩臂,所述第二伸缩臂位于伸缩装置下方,且与伸缩装置固定连接,所述第二伸缩臂上也设置弹性抓手,所述弹性抓手之间设置载物篮。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片的清洗装置,包括立柱和机械臂,所述机械臂上设置第一伸缩臂,其特征在于:所述机械臂上还设置立板,所述立板与第一伸缩臂相对设置,所述第一伸缩臂的内侧设置弹性抓手,所述立板内侧设置伸缩装置和开设条形的限位通孔,所述限位通孔内设置插销,所述插销能够在限位通孔内上下左右活动,所述插销的一端固定第二伸缩臂,所述第二伸缩臂位于伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚庆张蓉李杰刘沉
申请(专利权)人:南通圣威斯特能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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